骤S806中进一步地对纳米碳材层222表面进行疏水处理。更具体而言，将形成于探针本体110的末端IlOa表面的纳米碳材层222与氟硅烷高分子进行反应约30分钟，使纳米碳材层222表面的氧原子与氟硅烷高分子的硅原子形成-O-Si键，而在纳米碳材层222的表面形成疏水层124，其中，纳米碳材层222位于探针本体110的末端IlOa与疏水层124之间。虽然在本实施例中，疏水层124是在纳米碳材层122形成之后才形成，然而，也可以视需要，先对纳米碳材122a的表面进行疏水处里，形成疏水层124，再将表面有疏水层124的纳米碳材122a与探针本体110的末端IlOa进行反应。值得注意的是，在本实施例中，由于涂布探针20的末端IlOa表面的披覆层220是包括纳米碳材层222与疏水层124的双层结构，因此涂布探针20除了可同时具备良好的耐磨性与导电性之外，还可降低锡球沾黏，进而可提高IC测试的准确度。
[0061]类似地，除了上述图8的步骤S802至S806之外，为了强化纳米碳材层222的机械强度以及其与探针本体110的末端I 1a之间的接着强度，还可以添加反应性交联物质(未绘示)，使纳米碳材122a与探针本体110的末端IlOa交联在一起，或使纳米碳材122a彼此交联在一起。在本实施例中，反应性交联物质可以包括两种以上的反应性官能基，其中，反应性官能基例如选自由-OH、-SH、-C00H、-SiH, -S1R及-NH2所组成的族群。更具体而言，反应性交联物质例如是1，2-双(三氯甲娃烧基)乙焼(I, 2-bis (trichlorosilyl) ethane)或 1,6-双(三氯甲娃烧基)己烧(1,6-bis (trichlorosilyl)hexane) ?
[0062]图9是依照本发明的第三实施例的涂布探针的侧视示意图。图10是图9中虚线区域的局部放大图。本实施例的涂布探针30与图6的实施例的涂布探针20相似，其主要差异在于披覆层320的组成，更具体地说，相比于披覆层220具有纳米碳材层222，披覆层320则是包括金属氮化物层322，以下将参照附图详细说明本实施例。首先，请回去参照图1与图2,类似地,本实施例的无涂布探针包括探针本体110,而探针本体110具有一个末端110a，如图2所示，探针本体110的末端IlOa包括四个凸部112、114、116与118，且末端IlOa呈莲花形，但本发明不限于此，探针本体110的末端IlOa只要可使探针与测试样品接触即可。探针本体110的材料例如是金属、合金或其组合，更具体地说，上述金属是选自由Cu、Pd、Ag、Au、Re以及W所组成的族群，但本发明也不限制探针本体110的材料，只要可使探针具有导电性即可。
[0063]接着，请同时参照图9与图10，依照本发明的第三实施例的涂布探针30包括探针本体110以及披覆层320。探针本体110具有一个末端110a。披覆层320覆盖探针本体110的末端IlOa的表面。在本实施例中，如图10所示，披覆层320包括金属氮化物层322以及疏水层124。披覆层320的厚度例如是50nm至I μ m，优选为50nm至0.5 μ m，但本发明不限于此。以下将参照附图，详细说明本实施例的涂布探针30。
[0064]在本实施例中，金属氮化物层322的金属氮化物322a例如是TiN或CrN，但本发明不限于此。值得注意的是，本实施例的涂布探针30的金属氮化物322a可以通过蒸镀方式而直接沉积于探针本体110的末端IlOa的表面。由于本实施例中的金属氮化物322a与探探针本体110的末端IlOa之间直接接触，因此作用力较强而可以牢固地披覆于探针本体110的末端IlOa的表面。此外，本实施例的涂布探针30的表面具有金属氮化物层322，因此可提高探针的耐磨性，并增加其导电性。
[0065]类似地，在本实施例中，披覆层320还可以包括疏水层124，其中金属氮化物层322位于探针本体I1的末端IlOa与疏水层124之间。类似地，披覆层320的疏水层124包括含氟硅烷基，含氟硅烷基可由-Si (CHF)nF表示，其中η为正整数，且I SnS 10。值得注意的是，由于本实施例的涂布探针30的表面具有疏水层124，因此可降低锡球沾黏，进而可提高IC测试的准确度。
[0066]如上文所述，可通过蒸镀的方式，使金属氮化物322a直接沉积于探针本体110的末端I 1a表面，且由于金属氮化物322a与探针本体110的末端I 1a表面直接接触，因此能在探针本体110的末端IlOa表面形成不易脱落的金属氮化物层322。本发明不限定蒸镀的方式，其可以例如是电子束蒸镀、等离子体蒸镀或其类似方式。此外，金属氮化物322a通过其表面的金属氮氧化物的氧原子与氟硅烷高分子的硅原子形成-O-Si键，使氟硅烷高分子可以牢固地接着于金属氮化物层322表面而形成疏水层124，从而与金属氮化物层322 —起构成披覆层320的双层结构。但本发明不限于此，在其他实施例中，披覆层320也可以是单层结构，也就是，仅包括金属氮化物层322。值得注意的是，在本实施例中，由于涂布探针30的末端IlOa表面的披覆层320为包括金属氮化物层322与疏水层124的双层结构，因此涂布探针30除了可同时具备良好的耐磨性与导电性之外，还可降低锡球沾黏于探针本体110的末端110a，进而可提高测试的准确度。
[0067]类似地，在本实施例中，披覆层320还可以包括反应性交联物质(未绘示)，其中反应性交联物质与金属氮化物322a之间构成网状结构。具体而言，反应性交联物质可以使金属氮化物322a与探针本体110的末端IlOa交联在一起，或可以使金属氮化物322a彼此交联在一起。通过反应性交联物质，可强化金属氮化物层322的机械强度以及金属氮化物层322与探针本体110的末端IlOa的接着强度，进而增加本发明的涂布探针30的使用寿命。
[0068]在本实施例中，反应性交联物质可以包括两种以上的反应性官能基，其中反应性官能基例如选自由-OH、-SH、-C00H、-SiH, -S1R及-NH2所组成的族群。更具体而言，反应性交联物质例如是I，2-双(三氯甲娃烧基)乙焼(I, 2-bis (trichlorosilyl) ethane)或1，6-双(三氯甲娃烧基)己烧(l,6-bis(trichlorosilyl)hexane)。以下将参照附图详细说明本实施例的涂布探针30的制作方法。
[0069]图11是依照本发明的第三实施例的涂布探针的制作方法流程图。应注意，本实施例是以蒸镀的方式为例作说明，但本发明不限于此。首先，在步骤S1102中，提供具有末端IlOa的探针本体110，探针本体100的材料例如包括金属、合金或其组合。接着，在步骤S1104中，通过蒸镀的方式,将金属氮化物322a直接沉积于探针本体110的末端IlOa的表面，以在探针本体110的末端IlOa的表面形成金属氮化物层322。蒸镀的方式例如是电子束蒸镀、等离子体蒸镀或其类似方式，但本发明不限于此。此外，本发明也不限定蒸镀的时间，视需要，可调整蒸镀的时间，来决定所沉积的金属氮化物层322的厚度。
[0070]最后，在本实施例中，为了降低锡球沾黏于探针本体110的末端IlOa上，可在步骤S1106中进一步地对金属氮化物层322表面进行疏水处理。更具体而言，将形成于探针本体110的末端IlOa表面的金属氮化物层322与氟硅烷高分子进行反应约30分钟，使金属氮化物层322表面的氮原子与氟硅烷高分子的硅原子形成-N-Si键，而在金属氮化物层322的表面形成疏水层124，其中，金属氮化物层322位于探针本体110的末端IlOa与疏水层124之间。虽然在本实施例中，疏水层124是在纳米碳材层122形成之后才形成，然而，也可以视需要，先对金属氮化物322a的表面进行疏水处里，形成疏水层124，再将表面有疏水层124的金属氮化物322a与探针本体110的末端IlOa进行反应。值得注意的是，在本实施例中，由于涂布探针30的末端IlOa表面的披覆层320是包括金属氮化物层322与疏水层124的双层结构，因此涂布探针30除了可同时具备良好的耐磨性与导电性之外，还可降低锡球沾黏，进而可提高IC测试的准确度。
[0071]类似地，除了上述图11的步骤S1102至S1106之外，为了强化金属氮化物层322的机械强度以及其与探针本体I1的末端IlOa之间的接着强度，还可以添加反应性交联物质(未绘示)，使金属氮化物322a与探针本体110的末端IlOa交联在一起，或使金属氮化物322a彼此交联在一起。在本实施例中，反应性交联物质可以包括两种以上的反应性官能基，其中，反应性官能基例如选自由-OH、-SH、-C00H、-SiH, -S1R及-NH2所组成的族群。更具体而言，反应性交联物质例如是1，2-双(三氯甲娃烧基)乙烧(I, 2-bis (trichlorosilyl)ethane)或 1,6-双(三氯甲娃烧基)己烧(I, 6_bis (trichlorosilyl)hexane)。
[0072]以下是通过实验例进一步说明本发明的特点与功效，但并不是用于限制本发明的范畴。
[0073]实验例一
[0074]<多壁纳米碳管涂布探针的制作>
[0075]此实验例是根据本发明第一实施例的探针的制作方法(请参照图5)所进行。首先，对多壁纳米碳管(multiwall carbon nanotube,MWCNT)进行酸化改质后,将适量的经酸化改质的多壁纳米碳管与2-胺基乙硫醇(2-aminoethaneth1l)加入N, N-二甲基甲酰胺(DMF)溶剂中，并置于超声波震荡器中，在60°C下进行脱水反应24小时。接着，将钨针的末端置于上述混合溶液中进行反应5分钟，并抽真空干燥，从而在钨针的末端表面形成纳米碳材层。最后，进一步使纳米碳材层与氟硅烷高分子进行反应，以在纳米碳材层表面镀上一层包括含氟硅烷基的疏水层，以降低探针的锡球沾黏。
[0076]<多壁纳米碳管涂布探针的电性与寿命分析>
[0077]探针的电性分析:利用纳米探针量测系统进行单一探针的电阻测试，此电性分析中所使用的原探针是钨针。分析结果示于图9。图9是依照本发明的一实施例的探针与现有探针的电流-电压测试曲线图。