一种mems流量计流道结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及燃气计量装置领域，特别是一种MEMS流量计流道结构。
【背景技术】
[0002]随着天然气等清洁、高效能源的飞速发展，天然气正在进入千家万户，越来越多的城镇居民开始使用天然气，而天然气用量的计量结算是天然气使用的必需步骤，目前使用的家用燃气表基本是基于容积式原理的皮膜表，该表是输入机械式表，靠里面的皮膜的震动运动进行计量，计量精度有限，而且皮膜在天然气里面的水、油和灰尘的影响下，会逐渐老化，因此计量精度会逐渐变差，且皮膜表受本身原理限制，不能进行小型化。
[0003]除机械传动计量的膜式燃气表之外，目前市场上还出现了一种以超声波计量的电子式燃气表，它采用超声波技术实现燃气表的燃气计量，它没有可动的机械部件，可长期保持高精度；。但是，该表的超声波流量计的测量线路比一般流量计复杂，须有完善的测量线路才能实现，设计难度较大。而实际使用中，被测流体中的污染物(如被测燃气中的固体颗粒、水分和油气)会慢慢沉淀在测量流道本体下部，这就导致设置在测量流道本体下部的换能器发射口被堵塞，这无疑会影响到超声波换能器的计量精度和计量稳定性。
[0004]而目前性价比较好的MEMS流量燃气表，都没有防止燃气中含有的如四氧化三铁，硫化物等粉尘杂质附着于测量部件上的防尘结构，很容易因粉尘杂质的附着而影响燃气表的计量精度，严重时甚至会导致测量部件损坏，降低燃气表的使用寿命。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的发明目的在于针对现有的用于燃气测量的MEMS流量计大多没有防污染的结构，导致燃气表器件易损坏的问题，提供一种具有防污染功能的流量计流道结构。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为:
[0007]—种MEMS流量计流道结构，包括燃气表壳体、进气管、流量检测管以及出气管；所述进气管与燃气表壳体的进口连接，所述出气管与所述燃气表壳体的出气口连接，所述流量检测管一端与所述出气管连接并竖直悬空在壳体中；所述流量检测管的自由端设置有侧向开口的整流部，同时，所述流量检测管中设置有MEMS燃气流量传感器，其用于测量燃气流量。
[0008]进一步的，所述进气管的出口为竖直设置或水平设置，其高度高于或低于所述流量检测管的整流部。
[0009]进一步的，所述进气管上设置有开关阀。
[0010]进一步的，燃气表壳体为气密性壳体，同时所述出气管与燃气表壳体的出气口之间设置有密封圈，所述进气管与燃气表壳体的进气口之间设置有密封圈。
[0011]进一步的，所述流量检测管的主气道中设置有用于分流的分流装置。
[0012]进一步的，所述分流装置为轴向设有多个气流通道的圆柱体，该圆柱体通过螺钉固定或粘结固定在流量检测管的主气道圆管内。
[0013]进一步的，所述分流装置为轴向设置的多个气流通道呈同心圆形状贯通圆柱体。
[0014]进一步的，所述流量检测管中还集成有无线通信模块，其用于将MEMS流量计的计量结果通过无线网络传出。
[0015]进一步的，所述整流部的开口处均匀设置有向整流部轴心倾斜的挡板。
[0016]综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是:
[0017]由于采用了上述方案，将燃气表壳体设为具有气密性容腔的壳体，输气管分为独立的进气管，以及连接在一起的流量检测管和出气管，流量检测管上端与出气管连接并垂直悬空在壳体中，使进入气密性容腔壳体的燃气不直接流入流量检测管，而是先流入截面积大于进气管的燃气表壳体内，气流截面积显著增大，流速大幅度减缓，待气体充满容腔后才流入流量检测管，所述流量检测管垂直设置从而使得一些较大的污染物(如粉尘)不易由下向上进入，这样可以让燃气中含有的微量粉尘等杂质，因流速降低而沉于腔底，使进入流量检测管的燃气纯洁度提高，从而避免了燃气中的粉尘等杂质附着于测量部件，影响燃气表的计量精度和使用寿命。所述MEMS式流量计量计采用具有信号传感模块的热式质量流量传感器，这种具有信号传感模块的热式质量流量传感器能够通过测量燃气的质量流速而获得燃气的质量流量。与膜式然气表的计量结构相比，该计量方式具有量程比宽，计量准确度高，直接电信号输出等独特优点；与以超声波计量的电子式燃气表相比，这种热式质量流量传感器得到的是质量流量，而非现有超声波计量的体积流量，使用户与供气公司之间得到更公平的计量。
[0018]此外，由于在居民家庭应用场合，燃气通过复杂庞大的燃气管网后，其流向已经紊乱无章，因热式质量流量传感器对气流的方向性和稳定性要求高，对管道中燃气的紊流非常敏感，所以本发明在流量检测管的主气道下端下端设置有侧向开口的整流部，使紊乱的气流在通过用于调整紊流的装置时得到调整，燃气形成有序的流动的方向和稳定的流动状态，有利于热式质量流量传感器的信息采集，同时，一些实施例中，该整流部设置有向轴心倾斜的挡板，可以进一步的起到阻挡部分粉尘杂质进入流量检测管的作用，进一步提高被检测气流的纯洁度。
[0019]本发明电子式质量流量燃气计量表的结构简单，利于制造和装配，并且具有瞬时流量信号输出功能，利用瞬时流量信号，可以监控燃气泄露或者管道破裂预警，有效提高燃气系统的安全性。
【附图说明】
[0020]图1是本实用新型实施例1的结构示意图。
[0021]图2是本实用新型实施例2的结构示意图。
[0022]图3是本实用新型实施例3的结构示意图。
[0023]图4是本实用新型实施例4的结构示意图。
[0024]图5是本实用新型实施例1中流量检测管示意图。
[0025]图6是本实用新型实施例2中流量检测管示意图。
[0026]图7是是本实用新型流量检测管中分流装置的截面图示例。
[0027]图中标记:1_燃气表壳体，2-进气管，