磨而构成反射部32，反射部32将从径向外侧入射的光向基端侧反射，并且将从基端侧入射的光向径向外侧反射。
[0031]另外，反射部32的圆锥形状的母线相对于中心轴线9为45度。由此，从径向外侧朝向中心轴线9入射的光在反射部32沿中心轴线9从末端侧向基端侧反射，并且不在棒状透镜3的外周面反射而朝向棒状透镜3的基端侧端部。
[0032]另外，在本实施方式中，对棒状透镜3的凹部31的表面进行了镜面加工。由此能够提高在反射部32处的反射率。并且，在本实施方式中，反射部32配置于内表面检查设备10的最末端侧。由此，即使在被检查部件的孔在轴向较长时，也能够检查至尽头。
[0033]棒状透镜3的基端侧的端部为研磨成平面状的基端面33。基端面33相对于中心轴线9垂直配置。
[0034]棒状透镜3的基端侧的端部被基端盖24支承。基端盖24安装于外壳2的圆筒部22的基端侧的端部。基端盖24具有覆盖圆筒部22的基端侧的开口的呈板状的圆板部241，以及从圆板部241向末端侧突出的呈圆环状的基端安装部242。基端安装部242的外周面嵌插固定于圆筒部22的内周面。并且，棒状透镜3的基端侧的端部附近的外周面通过嵌插固定而安装于基端安装部242的内周面。由此，基端安装部242保持棒状透镜3的基端侧的端部。
[0035]另外，外壳2和基端盖24可以通过压入而相固定，也可以通过粘结等其他方法相固定。并且，基端盖24和棒状透镜3可以通过压入而相固定，也可以通过粘结等其他方法相固定。并且，在外壳2和基端盖24之间以及基端盖24和棒状透镜3之间也可以介入有O型环等密封件。
[0036]在本实施方式中，在外壳2的内部，基端部21内部的空间和圆筒部22的内部的空间的连通被基端盖24切断。S卩，基端盖24在外壳2的内部将基端侧和末端侧的连通切断。由此，防止了气体从后述的第一气体通道61的基端侧的端部泄露。
[0037]并且，基端盖24也可以与棒状透镜3—体形成。S卩，棒状透镜3也可以具有相当于基端盖24的、相对于外壳而被固定的固定部。
[0038]棒状透镜3的末端侧嵌插固定于外壳2的末端部23的末端孔231的内部。棒状透镜3和末端部23可以通过压入而相固定，也可以通过粘结等其他方法相固定。并且，在棒状透镜3和末端部23之间，也可以介入有O型环等密封件。在本实施方式中，在棒状透镜3与末端部23的固定处，外壳2的圆筒部22的内部的空间和外部空间的连通被切断。因此，防止了气体从后述的第一气体通道61的末端侧的端部泄漏。
[0039]棒状透镜3的末端侧的端部比外壳2的末端侧的端部向末端侧突出。因此，反射部32的至少一部分配置成比外壳2的末端侧的端部靠末端侧。由此，如图2中用双点划线示出那样，在比外壳2的末端侧的端部靠末端侧的位置，反射部32将从径向外侧入射的光向基端侧反射。
[0040]棒状透镜3的内部为光通道30的一部分，其将从轴向末端侧朝向基端侧的光从反射部32传递向基端面33，并且将从光源5向基端面33输入的光从轴向基端侧传递向末端侧。
[0041 ] 在本实施方式中，第一气体通道61设置于外壳2的内部。并且，第二气体通道62、气体导入部63、以及排气口 64设置于外壳2。
[0042]第一气体通道61是棒状透镜3的外周面和外壳2的圆筒部22的内周面之间的空间。第一气体通道61在外壳2的内部沿轴向呈大致圆筒状延伸。
[0043]第二气体通道62由从圆筒部22的内表面贯通至外表面的贯通孔形成。第二气体通道62配置于圆筒部22的末端侧端部附近。本实施方式的圆筒部22具有两个第二气体通道62。如图2所示那样，两个第二气体通道62配置于轴向的同一位置。并且，如图3所示那样，一个第二气体通道62与另一个第二气体通道62配置于相关于中心轴线9对称的位置。
[0044]第二气体通道62从第一气体通道61的末端侧的端部附近朝向径向外侧相对于轴向大致垂直地延伸。由此，第二气体通道62将第一气体通道61的末端侧的端部附近与外壳2的外部的空间连通。
[0045]气体导入部63由从圆筒部22的内表面贯通至外表面的贯通孔形成。气体导入部63配置于圆筒部22的基端侧端部附近。供气部13连接于气体导入部63。由此，能够从供气部13经由气体导入部63向第一气体通道61的内部提供气体。
[0046]第二气体通道62的径向外侧的端部的开口分别作为从第二气体通道62向外部排出气体的排气口 64。如之前所述，因为第二气体通道62配置于圆筒部22的末端侧的端部附近，所以排气口 64也配置于内表面检查设备10的末端侧的端部附近。
[0047]通过上述结构，气体被导入气体导入部63时，该气体从气体导入部63向第一气体通道61输送。然后该气体沿轴向在第一气体通道61中从基端侧向末端侧推进，经由两个第二气体通道62从两个排气口 64分别朝向径向外侧排出。
[0048]在本实施方式中，外壳2、棒状透镜3、以及基端盖24都由玻璃形成。由于玻璃的加工精度好，耐热性高，并且不易膨胀，因此适合构成内表面检查设备10的各部件。
[0049]因为利用同一材料形成，所以外壳2、棒状透镜3、以及基端盖24的膨胀系数相同。因此，不受环境温度影响，能够确保外壳2、棒状透镜3、以及基端盖24的同轴性。由此，能够确保棒状透镜3内的光通道30和第一气体通道61的同轴性。
[0050]并且，通过由同一材料形成外壳2、棒状透镜3、以及基端盖24，在各部件间不容易产生间隙。在本实施方式的内表面检查设备10中，因为第一气体通道61配置于外壳2的内部，所以如果部件间产生间隙则有气体从第一气体通道61向基端部21的内部或向末端孔231的外部泄露的危险。因此，各部件由同一材料形成在本实施方式中特别有效果。
[0051]摄像单元4为具有镜头41的CXD相机。摄像单元4相对于反射部32配置于基端侧，且对来自反射部32的轴向的光进行摄像。在本实施方式中，摄像单元4的镜头41配置于光源5的后述开口部51的轴向基端侧。S卩，镜头41隔着开口部51与棒状透镜3的基端面33在轴向对置。由此，摄像单元4能够经由基端面33和开口部51对映射于棒状透镜3的反射部32的反射部32的径向外侧的影像进行摄像。
[0052]光源5形成为环状，且在中央具有开口部51。由此，光源5与棒状透镜3在轴向不重叠。因此，从棒状透镜3的内部朝向轴向基端侧的光穿过基端盖24、穿过包含开口部51的外壳2的基端部21内的空间而朝向摄像单元4的镜头41。由此，光通道30在反射部32与摄像单元4的镜头41之间沿轴向延伸。S卩，棒状透镜3的内部、基端盖24、以及基端部21的内部空间构成光通道30。像这样，在内表面检查设备10中，光通道30以及第一气体通道61都配置于外壳2的内部。
[0053]光源5朝向末端侧照射光。如图2中虚线所示，从光源5照射的光经由基端盖24入射至棒状透镜3，且一边在棒状透镜3的外周面反射，一边朝向末端侧推进，且通过反射部32向径向外侧反射。由此，从光源5照射的光的一部分朝向反射部32的径向外侧照射被检查部件8的孔81的内表面。其结果是，在基端侧，能够借助反射部32对孔81的内表面的影像进行摄像。
[0054]如图1所示，在本实施方式中，控制部11是由个人电脑构成。控制部11与摄像单元4、光源5、台12、供气部13、以及监视器14电连接。控制部11控制光源5、台12、以及供气部13的驱动。并且，将从摄像单元4输出的影像S4以及从供气部13的压力/电压变换部132输出的气压信息S