外部排出。S卩，外壳2A的内部的空间构成第一气体通道61A。
[0080]像这样，在图5的不例中，光通道30A和第一气体通道61A是外壳2A的内部的同一空间。内表面检查设备也可以不如图3所示那样具有棒状透镜。
[0081]图6为其他变形例所涉及内表面检查设备1B的剖视图。内表面检查设备1B具有外壳2B、反射镜3B、摄像单元4B、以及光源5B。并且，内表面检查设备1B的外壳2B由玻璃等透明材料形成。外壳2B的内表面除反射镜3B的径向外侧以外被实施了镜面加工。
[0082]反射镜3B在基端侧的表面具有反射部32B。反射部32B为从基端侧朝向末端侧扩径的呈圆锥形状的面。如虚线所示，从光源5B照射并朝向末端侧的光被反射镜3B的反射部32B反射，且经由外壳2B而朝向径向方向。另一方面，如双点划线所示，从外壳2B的径向外侧朝向反射镜3B入射的光被反射镜3B反射而朝向轴向基端侧。
[0083]如图6所示例那样，通过由透明材料形成外壳2B，不需要将支承反射镜3B的透明支承部与外壳2B分开设置。
[0084]图7为其他变形例所涉及的内表面检查设备1C的剖视图。图8为从图7所例示的内表面检查设备1C的末端侧观察的侧视图。内表面检查设备1C具有外壳2C、基端盖24C、末端盖26C、棒状透镜3C、摄像单元4C、以及光源5C。内表面检查设备1C具有代替外壳的末端部的末端盖26C。
[0085]末端盖26C安装于外壳2C的末端侧的开口。并且，末端盖26C具有固定棒状透镜3C的固定孔261C。外壳2C和末端盖26C可以通过压入而相固定，也可以通过粘结等其他方法相固定。并且，末端盖26C和棒状透镜3C可以通过压入而相固定，也可以通过粘结等其他方法相固定。
[0086]并且，在外壳2C和末端盖26C之间以及在末端盖26C和棒状透镜3C之间也可以介入有O型环等密封件。在图7和图8的示例中，在外壳2C和末端盖26C的固定处、以及在末端盖26C和棒状透镜3C的固定处，外壳2C和外部空间的连通被切断。
[0087]如图7和图8所例示那样，内表面检查设备也可以具有代替外壳的末端部的末端至
ΠΠ O
[0088]并且，在上述实施方式中，在反射部实施了镜面加工，但是本实用新型并不限于此。只要反射部将从径向外侧入射的光以规定以上的反射率(例如，60%)反射，则也可以不进行镜面加工。
[0089]光源也可以不配置于光通道的基端侧。作为光源也可以使用配置于外壳的末端附近的LED灯、或者卷绕于外壳的周围的柔性有机EL片材等代替配置于光通道的基端侧的灯。
[0090]另外，关于内表面检查设备的细微部的形状，也可以与本申请的各附图不同。并且，在不产生矛盾的范围内，也可以将在上述实施方式或者变形例中出现的各构件适当地组合。
【主权项】
1.一种内表面检查设备，其从基端向末端沿轴向延伸，且至少将所述末端配置于被检查部件的孔的内部，来检查所述被检查部件的形成所述孔的内表面的状态， 所述内表面检查设备的特征在于，包括: 反射部，所述反射部配置于所述末端侧，且将从径向外侧入射的光向所述基端侧反射； 摄像单元，所述摄像单元相对于所述反射部配置于所述基端侧，且对来自所述反射部的光进行摄像； 光通道，所述光通道在所述反射部与所述摄像单元之间沿轴向延伸； 第一气体通道，所述第一气体通道沿轴向延伸； 第二气体通道，所述第二气体通道从所述第一气体通道的所述末端侧朝向径向； 气体导入部，所述气体导入部向所述第一气体通道导入气体； 排气口，所述排气口配置于所述末端侧，且将所述气体从所述第二气体通道向外部排出；以及 测量部，所述测量部测量被导入至所述第一气体通道中的所述气体的流量或者压力， 所述光通道的轴向范围和所述第一气体通道的轴向范围重叠。2.根据权利要求1所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述内表面检查设备还具有沿轴向延伸的筒状的外壳， 所述光通道和所述第一气体通道配置于所述外壳的内部。3.根据权利要求2所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述内表面检查设备还具有容纳于所述外壳的内部、且沿轴向延伸的棒状透镜， 所述棒状透镜在所述末端侧的端部具有所述反射部， 所述棒状透镜的内部为所述光通道。4.根据权利要求3所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述第一气体通道为所述棒状透镜的外周面和所述外壳的内周面之间的空间。5.根据权利要求3或者4所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述外壳的包围所述棒状透镜的内周面为圆筒状， 所述棒状透镜为圆柱状。6.根据权利要求5所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述棒状透镜具有从所述末端侧的端面向所述基端侧凹陷的凹部， 所述凹部为所述反射部。7.根据权利要求3所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述棒状透镜的所述末端侧的端部比所述外壳的所述末端侧的端部向所述末端侧突出， 所述反射部的至少一部分配置成比所述外壳的所述末端侧的端部靠所述末端侧。8.根据权利要求3所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述外壳和所述棒状透镜利用同一材料而形成。9.根据权利要求8所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述外壳和所述棒状透镜利用玻璃而形成。10.根据权利要求3或者4所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述内表面检查设备还具有安装于所述外壳的所述基端侧的开口的基端盖， 所述基端盖具有安装所述棒状透镜的基端安装部。11.根据权利要求10所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述基端盖和所述棒状透镜利用同一材料而形成。12.根据权利要求3所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述内表面检查设备还具有安装于所述外壳的所述末端侧的开口的末端盖， 所述末端盖具有固定所述棒状透镜的固定孔。13.根据权利要求2所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述光通道和所述第一气体通道为所述外壳的内部的同一空间。14.根据权利要求13所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述内表面检查设备还具有: 反射镜，所述反射镜在所述基端侧的表面具有所述反射部；以及支承部，所述支承部透明且呈圆筒状，所述支承部配置于所述外壳的所述末端侧的端部，且支承所述反射镜。15.根据权利要求1所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述反射部为从所述基端侧朝向所述末端侧扩径的圆锥形状。16.根据权利要求1所述的内表面检查设备，其特征在于， 所述内表面检查设备具有两个所述排气口， 一个所述排气口向与另一个所述排气口相反的方向排出所述气体。
【专利摘要】本实用新型涉及一种内表面检查设备，其为将末端配置于被检查部件的孔的内部来检查孔的内表面的状态的设备。其包括：配置于末端侧，且将从径向外侧入射的光向基端侧反射的反射部；对来自反射部的光进行摄像的摄像单元；在反射部与摄像单元之间沿轴向延伸的光通道；沿轴向延伸的第一气体通道；从第一气体通道朝向径向的第二气体通道；向第一气体通道导入气体的气体导入部；配置于末端侧，且将所述气体从第二气体通道向外部排出的排气口；以及测量被导入至第一气体通道的气体的流量或者压力的测量部。光通道的轴向范围和第一气体通道的轴向范围重叠。因此，检查内表面和测量内径时，相对于设备设置被检查部件的工序仅一次即可，能够提高作业效率。
【IPC分类】G01N21/954
【公开号】CN204924982
【申请号】CN201520328121
【发明人】野村昭, 天野阳一
【申请人】日本电产东测有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年5月20日