石英砂自动分料的控制系统的制作方法

文档序号:6270548阅读:504来源:国知局
专利名称:石英砂自动分料的控制系统的制作方法
技术领域
本发明涉及石英坩埚的制备技术领域,尤其是涉及一种石英砂自动分料的控制系统。
背景技术
石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。其主要的工艺流程为:尤尼明高纯石英砂一高纯石墨模具一真空装料成型一真空电弧熔制一自然冷却脱模一石英坩埚初步检测一冷加工喷砂、切断、倒角一石英坩埚二次检测一超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干一石英坩埚三次检验一真空包装一成品入库。目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成致密层,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。但是传统的人工手动加料,往往对工人的要求很高,必须是熟练工,否则会造成加料不均匀,生产出的坩埚不符合质量要求,而且人工加料还会造成生产效率低下,制造的坩埚重复性差,以及对人的依赖性高等缺点。

发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种石英砂自动分料的控制系统,其结构简单,设计合理,实现方便,实现成本低,可靠性高,控制精度高,智能化程度高,对人的依赖性低,生产效率高,能够生产处质量较高的石英砂锅,实用性强,推广应用价值高。为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:包括用于带动锥形侧壁自动分料系统中放置有石英坩埚模具的旋转台旋转运动的第一电机、用于带动锥形侧壁自动分料系统中分料槽下模具侧壁进行分料的第二电机、用于带动球形底部自动分料系统中石英坩埚模高速旋转的第三电机、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽在Z方向做直线运动并将分料槽送入模具内部分料位置处的第四电机、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽做X方向运动并进行分料的第五电机和用于带动球形底部自动分料系统中输送螺旋运动的第六电机,与第一电机、第二电机、第三电机、第四电机、第五电机和第六电机相接并用于控制各电机运转的电机运动控制卡,以及与电机运动控制卡相接的工业控制计算机。上述的石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:所述第二电机、第五电机和第六电机均为速度可调电机。上述的石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:所述工业控制计算机配置有工业液晶显不器和PCI插槽。上述的石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:所述电机运动控制卡通过PCI插槽与工业控制计算机相接。
本发明与现有技术相比具有以下优点:1、本发明采用模块化、集成化的设计,结构简单,设计合理,实现方便,实现成本低。2、本发明中的电机运动控制卡通过PCI插槽与工业控制计算机相接,无需接线,连接方便,数据传输速度快、可靠性高,有助于提高控制精度。3、本发明中的工业控制计算机配置有工业液晶显示器,能够用于对石英砂自动分料的工作状态进行实时显示,方便工作人员的观察。4、本发明的智能化程度高,对人的依赖性低,生产效率高,制造的坩埚重复性好。5、本发明能够生产处质量较高的石英砂锅,实用性强,推广应用价值高。综上所述,本发明结构简单,设计合理,实现方便,实现成本低,可靠性高,控制精度高,智能化程度高,对人的依赖性低,生产效率高,能够生产处质量较高的石英砂锅,实用性强,推广应用价值高。下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。


图1为本发明的电路原理框图。附图标记说明:1-第一电机; 2-第二电机; 3-第三电机;4-第四电机; 5-第五电机; 6-第六电机;7-电机运动控制卡;8-工业控制计算机;9_工业液晶显示器。
具体实施例方式如图1所示,本发明包括用于带动锥形侧壁自动分料系统中放置有石英坩埚模具的旋转台旋转运动的第一电机1、用于带动锥形侧壁自动分料系统中分料槽下模具侧壁进行分料的第二电机2、用于带动球形底部自动分料系统中石英坩埚模高速旋转的第三电机
3、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽在Z方向做直线运动并将分料槽送入模具内部分料位置处的第四电机4、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽做X方向运动并进行分料的第五电机5和用于带动球形底部自动分料系统中输送螺旋运动的第六电机6,与第一电机1、第二电机2、第三电机3、第四电机4、第五电机5和第六电机6相接并用于控制各电机运转的电机运动控制卡7,以及与电机运动控制卡7相接的工业控制计算机8。如图1所示,本实施例中,所述第二电机2、第五电机5和第六电机6均为速度可调电机。所述工业控制计算机8配置有工业液晶显示器9和PCI插槽。所述电机运动控制卡7通过PCI插槽与工业控制计算机8相接。如图1所示,本发明的工作原理及工作过程是:首先完成石英坩埚模具锥形侧壁的分料系统,将坩埚模具置于倾斜位置的旋转台上,工业控制计算机8通过电机运动控制卡7控制第一电机I和第二电机2运转,旋转台在第一电机I的带动下做高速旋转运动,第二电机2带动分料槽沿着侧壁作直线运动,并且向侧壁进行分料,分料槽再做高速旋转运动,分料后的石英砂在离心作用下可附着在侧壁上;然后进行球形底部的分料系统,将坩埚的位置置于水平位置,工业控制计算机8通过电机运动控制卡7控制第三电机3、第四电机4、第五电机5和第六电机6运转,第三电机3带动球形底部自动分料系统中石英坩埚模高速旋转,第四电机4带动球形底部自动分料系统中分料槽在Z方向做直线运动并将分料槽送入模具内部分料位置处第五电机5带动球形底部自动分料系统中分料槽做X方向运动并进行分料,第六电机6带动球形底部自动分料系统中输送螺旋运动,完成分料。其中,电机运动控制卡7还能采集第二电机2、第五电机5和第六电机6的运转速度并将所采集到的速度反馈给工业控制计算机8,实现对第二电机2、第五电机5和第六电机6的闭环调速,实现对分料速度及流量的控制。同时,通过工业液晶显示器9能够实时地显示石英砂自动分料的工作状态。以上所述,仅是本发明的较佳实施例,并非对本发明作任何限制,凡是根据本发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化,均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
权利要求
1.一种石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:包括用于带动锥形侧壁自动分料系统中放置有石英坩埚模具的旋转台旋转运动的第一电机(I)、用于带动锥形侧壁自动分料系统中分料槽下模具侧壁进行分料的第二电机(2)、用于带动球形底部自动分料系统中石英坩埚模高速旋转的第三电机(3)、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽在Z方向做直线运动并将分料槽送入模具内部分料位置处的第四电机(4)、用于带动球形底部自动分料系统中分料槽做X方向运动并进行分料的第五电机(5)和用于带动球形底部自动分料系统中输送螺旋运动的第六电机(6),与第一电机(I)、第二电机(2)、第三电机(3)、第四电机(4)、第五电机(5)和第六电机(6)相接并用于控制各电机运转的电机运动控制卡(7),以及与电机运动控制卡(7)相接的工业控制计算机(8)。
2.按照权利要求1所述的石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:所述第二电机(2)、第五电机(5)和第六电机(6)均为速度可调电机。
3.按照权利要求1或2所述的石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:所述工业控制计算机(8)配置有工业液晶显示器(9)和PC I插槽。
4.按照权利要求1或2所述的石英砂自动分料的控制系统,其特征在于:所述电机运动控制卡(7)通过PCI插槽与工业控制计算机(8)相接。
全文摘要
本发明公开了一种石英砂自动分料的控制系统,包括用于带动放置有石英坩埚模具的旋转台旋转运动的第一电机、用于带动分料槽下模具侧壁进行分料的第二电机、用于带动石英坩埚模高速旋转的第三电机、用于带动分料槽在Z方向做直线运动并将分料槽送入模具内部分料位置处的第四电机、用于带动分料槽做X方向运动并进行分料的第五电机和用于带动输送螺旋运动的第六电机,与各个电机相接并用于控制各电机运转的电机运动控制卡,以及与电机运动控制卡相接的工业控制计算机。本发明结构简单,设计合理,实现成本低,可靠性高,控制精度高,智能化程度高,对人的依赖性低,生产效率高,能够生产处质量较高的石英砂锅,实用性强,推广应用价值高。
文档编号G05B19/418GK103149882SQ20111040011
公开日2013年6月12日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者王 琦, 胡焕性, 宋毅 申请人:西安金诺光电科技有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1