一种压电陶瓷执行器控制台的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明是一种实验用控制台，特别是涉及一种采用了压电陶瓷执行器的实验用控 制台。
【背景技术】
[0002] 国外在超精密平台的设计研究起步的比较早。这促进了国外发达国家对精密平 台及其相关科学的研究美国国家关键技术委员会将纳米技术列为政府重点支持的22项关 键技术之一，美国国家基金会亦将纳米技术列为优先支持的关键技术之一，美国许多著名 大学都设有纳米技术研究机构，如北卡罗莱纳大学的精密工程中心，康乃尔大学的国家纳 米加工实验室，路易斯安那大学的微米制造中心等等。日本把纳米技术作为ERATO计划中 6项优先高技术探索项目之一，投资2亿美元发展纳米技术；筑波科学城的交叉学科研究中 心把纳米技术列入2个主要发展方向之一。英国国家纳米技术（NION)计划已开始实行，在 英国的Cranfield大学成立了以纳米技术为研究目标的精密工程中心。欧洲的其它国家也 不示弱，把纳米技术列入了"尤里卡计划"。
[0003] 在上世纪80年代中后期，国内学者相继提出了宏微双重驱动技术，纷纷发表学术 论文展开研究讨论，目前它是实现大行程、高精度定位的一种有效手段。例如清华大学教授 吴鹰飞、周兆英（清华大学精密仪器与机械学系）的《压电驱动柔性铰链机构传动实现超精 密定位》一文中就详细介绍了压电元件和柔性铰链的概念与特点，列举压电元件与柔性铰 链机构结合实现超精密定位的典型例子，包括超精密测量、超精密加工、光学自动聚焦和大 行程超精密定位。为使超精密定位工作台的结构紧凑，还提出了单驱动多自由度运动机构， 应用蠕动式的运动原理可合成机构上的多自由度运动，并实现大行程运动。设计了对称结 构的柔性铰链机构实现导向功能。
[0004] 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所的叶树亮，谭久彬博士的《具有纳米 分辨力二维超精密定位系统的研制》一文针对传统超精密定位系统存在位移灵敏度、系统 频响及重复定位精度难以兼顾的问题，设计并研制了一种具有纳米分辨力的二维超精密定 位系统。系统集成平行四连杆结构双柔性二维工作台无间隙传动、双极性可伸缩压电陶瓷 微位移驱动和纳米精度电容位移监测等先进技术，在微处理器控制下可实现纳米量级的定 位。为改善传统PID控制方法存在的精度低、实时性差等缺陷，提出了一种结合定位过程中 各阶段系统不同响应特性的比例、积分和微分（PID)参数自适应控制算法。
[0005] 哈尔滨理工大学机械动力工程学院的孟兆新，胡乃文两位在《三维精密定位工作 台的控制系统的研究》一文中对三维精密工作台快速定位系统的控制原理及结构组成进行 了研究，并对系统进行理论和实验分析。为了实现高精度的快速定位，系统采用了独立伺 服控制技术以及变结构的PID自适应控制算法，达到了满意的定位精度。
[0006] 综上所述，从国内外的研究现状来看使用宏微结合的模式再配合陶瓷压电执行 器。采用两级传动机构的超精密平台是比较容易实现和切合实际的一种超精密平台设计方 法。这种方案在学校中为学生精密试验、实验都能提供足够的帮助。
【发明内容】
[0007] 本发明的目的是为解决目前的技术方案供学生使用的精密实验平台不足，精密实 验台价格太高的问题，提供一种简单方便，成本低廉的压电陶瓷执行器控制台。
[0008] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种压电陶瓷执行器控制台，由电 源供电，包括平台、平台传动器、平台电机、平台电机驱动器、平台位移检测装置、平台控制 器、通讯电路、控制电脑、D/A转换器、驱动电路、压电陶瓷执行器、执行器位移检测装置和 A/D转换器，所述平台控制器通过通讯电路与控制电脑电连接，所述平台控制器通过平台电 机驱动器与平台电机连接，所述平台电机的输出轴通过平台传动器与平台机械连接，所述 平台位移检测装置配设在所述平台电机的输出轴上，平台位移检测装置的输出端与平台控 制器电连接，所述控制电脑通过D/A转换器与驱动电路的输入端连接，驱动电路的输出端 与压电陶瓷执行器连接，对应压电陶瓷执行器配设有执行器位移检测装置，执行器位移检 测装置通过A/D转换器与控制电脑电连接。上位机采用PC机，下位机采用AT89C51单片机 为核心设计，测量系统采用的是光栅尺电路，宏平台采用直流电机驱动滚珠丝杠带动原理 设计。
[0009] 硬件系统是实现精密定位的基础。本精密定位系统采用宏-微相结合的两级模式 来实现大行程、高精度、高速的定位，其硬件系统由宏平台进给系统、位移测量系统、微位移 定位系统以及控制系统组成。首先介绍了精密定位系统硬件的总体构成，然后分别对宏平 台伺服进给系统、光栅位移测量计数系统、微位移精密定位系统以及控制系统的硬件构成 进行了详细的分析。精密定位系统硬件总体结构X-Y精密定位平台采用了宏平台和微平台 相结合的模式，微位移平台固定安装在宏平台的上底板上，两平台的运动中心重合。宏平台 完成高速、大行程、微米级定位，微位移定位平台用以完成对宏平台定位误差的补偿。通过 两级机构的组合，共同实现了大行程高精度的定位动作。
[0010] 作为优选，所述控制电脑为配设有误差变换模块、自适应控制模块和迟滞控制模 块的控制电脑，所述误差变换模块的输入量为给定量和执行器位移检测装置的反馈值，所 述误差变换模块的输出至与自适应控制模块的输入值连接，所述自适应控制模块的输出至 迟滞控制模块，迟滞控制模块的输出值输出对压电陶瓷执行器进行控制。
[0011] 作为优选，所述迟滞控制模块包括迟滞模块、迟滞算子模块和神经网络模块，迟 滞模块、迟滞算子模块的输入端均与自适应控制模块的输出端连接，神经网络模块的输入 端与迟滞算子模块的输出端连接，神经网络模块的输入端还与自适应控制模块的输出端连 接，迟滞模块输出正反馈值与神经网络模块输出的负反馈值共同输入神经网络模块的反馈 端。
[0012] 作为优选，所述神经网络为包含若干个神经元模块的两层结构，所述两层结构为 一个隐层和一个输出层，所述每个神经元模块均包括激励函数模块和权值模块；误差变换 模块是将系统误差通过变换处于预先设定在期望的误差范围内；自适应控制模块输入信号 为误差变换后的误差，对转换的误差进行实时控制和调整，神经网络输出端输出控制信号 对压电陶瓷执行器进行控制。
[0013] 作为优选，所述平台控制器为51单片机，所述通讯电路包括MX232芯片和九针接 口，所述51单片机的通讯串口依次通过MX232芯片和九针接口与控制电脑电连接。
[0014] 作为优选，所述平台电机驱动器包括PffM波形产生电路和信号处理电路构成，所 述PWM波形产生电路由74LS373芯片和8253芯片组成的，所述平台控制器通过74LS373芯 片与8253芯片的输入端连接，8253芯片的输出端通过信号处理电路与所述平台电机电连 接。8253内部具有三个功能完全相同相互独立的计数器（0, 1，2)，每一个计数器都可工作 于6种方式中的任一种，整个8253只有一个控制寄存器，它的内容决定了计数器的操作 方式，8253内部具有三个功能完全相同相互独立的计数器（0, 1，2)，每一个计数器都可工 作于6种方式中的任一种，整个8253只有一个控制寄存器，它的内