一种玻璃母盘基片的制造工艺的制作方法_2

文档序号:8300087阅读:来源:国知局
磨机,磨料采用粒度W14金刚砂,粗磨底模采用铸铁底板,压力采用先轻压,压力为100kg,保持5分钟,磨盘的转速为15RPM,再重力,压力为300kg,保持30分钟,磨盘的转速为30RPM,然后再轻压,压力为80kg,保持10分钟,磨盘的转速为10RPM ;
[0026]进行初抛工序时,采用双面精密抛光机,磨料采用粒度小于l.0ym的氧化铈抛光粉,抛光垫的材料采用聚氨酯抛光皮,压力采用先轻压,压力为100kg,保持5分钟,磨盘的转速为10RPM,再重力,压力为280kg,保持60分钟,磨盘的转速为25RPM,然后再轻压,压力为80kg,保持15分钟,磨盘的转速为10RPM ;
[0027]进行精抛工序时,采用双面精密抛光机,磨料采用粒度小于0.5 ym的氧化铈抛光粉,抛光垫的材料采用黑色阻尼布,压力采用先轻压,压力为50kg,保持5分钟,再重力,压力为80kg,保持20分钟,然后再轻压,压力为50kg,保持10分钟,磨盘的转速为25RPM ;
[0028]进行化学强化工序时,先预热强化炉,预热温度为380±10°C,预热时间为100分钟,接着在所述强化炉内加入添加剂,该添加剂为硅酸和硝酸钾的组合物,其中硅酸的含量为0.33 %,再将工件送入强化炉内强化,并将强化炉的温度加热到410 ± 5°C,保持强化时间为4小时土 10分钟,出强化炉之前,将冷却炉的温度加热至390±5°C,然后将工件放入冷却炉内进行缓冷,直至工件温度为50°C以下方可移出冷却炉,最后工件冷却至常温后方可对工件进行清洗。
[0029]本发明的玻璃母盘基片的制造工艺,在进行磨边工序时,采用精密镜片研磨的芯取机,在进行精磨工序、初抛工序和精抛工序,采用特殊的磨料,并配合特定的工艺参数,使产品的表面粗糙度达到纳米级指标,在进行化学强化工序时,采用特制的添加剂配方及特定的工艺参数完成整个强化过程,使玻璃表面形成压缩应力层。经此强化过程,能大大提高玻璃的致密度和预应力,增加玻璃表面的硬度和耐冲击性能,并能保持玻璃表面的光洁度(精抛度)和平整度,且不改变外形尺寸,使玻璃不易刮伤和破碎,提高产品的安全性和可靠性,使产品的各项性能指标能满足蓝光技术光盘的要求。
[0030]以上实施例仅供说明本发明之用,而非对本发明的限制,有关技术领域的技术人员,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,还可以作出各种变换或变型,因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴,应由各权利要求所限定。
【主权项】
1.一种玻璃母盘基片的制造工艺,包括下列依次进行的工序:成型工序、磨边工序、筛选面型工序、手工面型修正工序、精磨工序、初抛工序、精抛工序、超声波净化工序、化学强化工序及表面净化处理工序,其特征在于, 进行所述成型工序时,采用手工圆镜机,根据图纸要求进行划圆; 进行所述磨边工序时,采用芯取机,一次完成工件的外形和倒角加工; 进行所述筛选面型工序时,根据产品的大小选择相应规格的O级刀口尺,对完成磨边工序的工件进行面型筛选,面型合格品进入所述精磨工序,面型不合格品流入所述手工面型修正工序; 进行所述手工面型修正工序时,采用单轴精磨机,磨料采用W14金刚砂,先手工轻压工件进行面型修正,再用所述刀口尺进行面型检测,面型合格品进入所述精磨工序; 进行所述精磨工序时,采用双面精磨机,磨料采用粒度W14金刚砂,粗磨底模采用铸铁底板,压力采用先轻压,压力为100kg,保持5分钟,磨盘的转速为15RPM,再重力,压力为300kg,保持30分钟,磨盘的转速为30RPM,然后再轻压,压力为80kg,保持10分钟,磨盘的转速为10RPM ; 进行所述初抛工序时,采用双面精密抛光机,磨料采用粒度小于1.0 μ m的氧化铈抛光粉,抛光垫的材料采用聚氨酯抛光皮,压力采用先轻压,压力为100kg,保持5分钟,磨盘的转速为10RPM,再重力,压力为280kg,保持60分钟,磨盘的转速为25RPM,然后再轻压,压力为80kg,保持15分钟,磨盘的转速为10RPM ; 进行所述精抛工序时,采用双面精密抛光机,磨料采用粒度小于0.5 μπι的氧化铈抛光粉,抛光垫的材料采用黑色阻尼布,压力采用先轻压,压力为50kg,保持5分钟,再重力,压力为80kg,保持20分钟,然后再轻压,压力为50kg,保持10分钟,磨盘的转速为25RPM ; 进行所述化学强化工序时,先预热强化炉,预热温度为380±10°C,预热时间为100分钟,再将工件送入强化炉内强化,并将强化炉的温度加热到410±5°C,保持强化时间为4小时±10分钟,出强化炉之前,将冷却炉的温度加热至390±5°C,然后将工件放入冷却炉内进行缓冷,直至工件温度为50°C以下方可移出冷却炉,最后工件冷却至常温后方可对工件进行清洗。
2.根据权利要求1所述的玻璃母盘基片的制造工艺,其特征在于,进行所述成型工序时,所述划圆采用金刚石刀头。
3.根据权利要求1所述的玻璃母盘基片的制造工艺,其特征在于,进行所述磨边工序时,磨料采用水溶性冷却液,磨轮采用380号金刚石砂轮,磨轮的驱动电机的转速为2500转/分钟。
4.根据权利要求1所述的玻璃母盘基片的制造工艺,其特征在于,进行所述化学强化工序时,先要在所述强化炉内加入添加剂,再将工件送入强化炉内强化。
5.根据权利要求4所述的玻璃母盘基片的制造工艺,其特征在于,所述添加剂为硅酸和硝酸钾的组合物,其中硅酸的含量为0.33%。
【专利摘要】本发明公开了一种玻璃母盘基片的制造工艺,包括下列依次进行的工序:成型工序、磨边工序、筛选面型工序、手工面型修正工序、精磨工序、初抛工序、精抛工序、超声波净化工序、化学强化工序及表面净化处理工序。本发明的玻璃母盘基片的制造工艺,采用精密镜片研磨的芯取机进行磨边工序,采用特殊的磨料,并配合特定的工艺参数进行精磨工序、初抛工序和精抛工序,采用特制的添加剂配方及特定的工艺参数完成整个化学强化工序,不仅使产品的表面粗糙度达到纳米级指标,还能大大提高玻璃的致密度和预应力,增加玻璃表面的硬度和耐冲击性能,并能保持玻璃表面的光洁度和平整度,且不改变外形尺寸,使玻璃不易刮伤和破碎,提高产品的安全性和可靠性。
【IPC分类】B24B1-00, G11B7-26
【公开号】CN104616672
【申请号】CN201510032562
【发明人】高为标
【申请人】上海光和光学制造股份有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2015年1月22日
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