所得到的玻璃基板的外径为65mm、内径为20mm、板厚为0. 635mm。
[0181] 如此得到本实施例（实施例A)的磁盘用玻璃基板。
[0182] 另外，在实施研磨处理的玻璃基板的周围，在主要研磨玻璃基板的一个倒角面和 侧壁面的位置配置1台上述构成的磁产生单元，在主要研磨玻璃基板的另一个倒角面和侧 壁面的位置配置另1台上述构成的磁产生单元，进行该玻璃基板的端面研磨，除此以外与 上述实施例A同样地得到磁盘用玻璃基板（实施例B)。
[0183] 另外，作为相对于上述实施例的比较例（比较例A)，使用1台磁产生单元，在与其 磁力线的方向正交的方向插入玻璃基板，进行该玻璃基板的端面研磨（与图5的（a)的状 态相同），除此以外与上述实施例同样地得到磁盘用玻璃基板。需要说明的是，本比较例中， 延长时间至玻璃基板端面的侧壁面与倒角面的表面粗糙度达到同等，进行研磨加工。
[0184] 需要说明的是，在上述比较例中，关于使研磨时间为与实施例相同的时间的情况， 进行试制，分别利用激光显微镜计测所得到的磁盘用玻璃基板的侧壁面与倒角面的粗糙度 (Rz)，将倒角面与侧壁面的粗糙度（Rz)之差与实施例相比，结果确认到实施例的上述差更 小。
[0185] 对于与上述实施例?比较例同样地分别制作的100枚玻璃基板，关于上述端面研 磨终止后的基板的外周端面的倒角面与侧壁面之间的边缘角度的偏差、和上述端面研磨终 止后的基板的外周端面的主表面与倒角面之间的边缘角度偏差，通过与上述同样的评价方 法进行评价，将其结果示于表3。
[0186] [表 3]
[0187]
[0188] 由上述表3的结果可知以下内容。
[0189] 1.在按照玻璃基板端面的倒角面与侧壁面的加工速率同等的方式使用磁力线的 方向不同的3个磁产生单元对玻璃基板的端面进行研磨处理的实施例A中，可以将端面研 磨处理后的、玻璃基板的倒角面与侧壁面的边缘的曲率半径的偏差、和玻璃基板的主表面 与倒角面的边缘的曲率半径的偏差均控制在〇.〇3_以内，得到了良好的形状精度。另外， 关于使用了 2个磁产生单元的实施例B，也得到了与实施例A同样的结果。
[0190] 2.与此相对，在以图5的（a)的状态配置1个磁产生单元而进行玻璃基板的端面 研磨的比较例A中，玻璃基板的倒角面与侧壁面的边缘的曲率半径的偏差、和玻璃基板的 主表面与倒角面的边缘的曲率半径的偏差均变大，未得到良好的形状精度。如上文中所说 明的那样，认为这是因为：在倒角面和侧壁面的加工速率不同，进行加工至使倒角面和侧壁 面两者加工为相同的品质，因此形状精度发生劣化。
[0191] 另外，关于将倒角面和侧壁面两者加工成品质相同的镜面为止的时间，相对于实 施例A中的加工时间，比较例A中需要约2倍的时间。本发明中，倒角面和侧壁面的加工速 率同等，能够以基本上相同的加工时间将倒角面和侧壁面两者加工成相同的品质，但是在 上述比较例中，在倒角面和侧壁面，加工速率不同，无法在相同的加工时间内将倒角面和侧 壁面两者加工成相同的品质，将加工速率慢的倒角面加工成镜面为止的加工时间变长。
[0192] (磁盘的制造）
[0193] 对上述实施例3中得到的磁盘用玻璃基板实施以下的成膜工序，得到垂直磁记录 用磁盘。
[0194] 即，在上述玻璃基板上依次成膜由Ti系合金薄膜构成的附着层、由CoTaZr合金薄 膜构成的软磁性层、由Ru薄膜构成的底层、由CoCrPt合金构成的垂直磁记录层、碳保护层、 润滑层。保护层用于防止磁记录层因与磁头接触而劣化的情况，因此由氢化碳构成，可得到 耐磨损性。另外，润滑层是将醇改性全氟聚醚的液体润滑剂通过浸渍法形成的。
[0195] 对于所得到的磁盘，组装到具有DHl磁头的HDD中，在80 °C、80 % RH的高温高湿环 境下一边使Dra功能工作一边进行1个月的加载卸载耐久性试验，结果没有特别的起因于 颤动或腐蚀的障碍，得到了良好的结果。
[0196] 符号说明
[0197] 1 磁盘用玻璃基板
[0198] 10圆盘状玻璃基板（玻璃盘）
[0199] 11玻璃基板的主表面
[0200] 12玻璃基板的外周侧端面
[0201] 12a侧壁面
[0202] 12b倒角面
[0203] 20端面研磨装置
[0204] 21，22 磁铁
[0205] 23间隔物
[0206] 24外装部件
[0207] 25磁力线
[0208] 26磁性浆料的块
【主权项】
1. 一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其为包括对具有主表面的圆盘状的玻璃基板的端 面进行加工的端面加工处理的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于， 所述端面加工处理包括下述端面研磨处理： 使用由相对配置的一对磁铁构成的磁产生单元来形成磁力线，将包含磁性颗粒和研磨 磨粒的磁性浆料保持于所述磁力线，从而沿着所述磁力线形成所述磁性浆料的块， 在使所述玻璃基板的主表面相对于与所述磁力线的方向正交的表面方向倾斜的状态 下，使所述玻璃基板的端面与所述磁性浆料的块接触，从而对所述玻璃基板的端面的侧壁 面、以及该玻璃基板的主表面与所述侧壁面之间的至少一个倒角面这两个面同时进行研 磨。2. 如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述玻璃基板的倾 斜角度为10度~45度的范围内。3. 如权利要求1或2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在加工的过程中 改变所述玻璃基板的倾斜角度。4. 如权利要求1或2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，以所述玻璃基板 的加工部为中心，连续或阶段性地改变所述玻璃基板的倾斜角度。5. -种磁盘用玻璃基板的制造方法，其为包括对圆盘状的玻璃基板的端面进行加工的 端面加工处理的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于， 所述端面加工处理包括下述端面研磨处理：使用由相对配置的一对磁铁构成的磁产生 单元来形成磁力线，将包含磁性颗粒和研磨磨粒的磁性浆料保持于所述磁力线，从而沿着 所述磁力线形成所述磁性浆料的块，使所述玻璃基板的端面与所述磁性浆料的块接触，对 所述玻璃基板的端面的侧壁面、以及该玻璃基板的主表面与所述侧壁面之间的至少一个倒 角面这两个面进行研磨， 使用主要对所述玻璃基板的侧壁面进行研磨的第1磁产生单元、和主要对所述玻璃基 板的倒角面进行研磨的第2磁产生单元，所述第1磁产生单元和所述第2磁产生单元按照 各自的磁力线的方向不同的方式进行配置。6. -种磁盘用玻璃基板的制造方法，其为包括对圆盘状的玻璃基板的端面进行加工的 端面加工处理的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于， 所述端面加工处理包括下述端面研磨处理：使用由相对配置的一对磁铁构成的磁产生 单元来形成磁力线，将包含磁性颗粒和研磨磨粒的磁性浆料保持于所述磁力线，从而沿着 所述磁力线形成所述磁性浆料的块，使所述玻璃基板的端面与所述磁性浆料的块接触，对 所述玻璃基板的端面的侧壁面、以及该玻璃基板的主表面与所述侧壁面之间的至少一个倒 角面这两个面进行研磨， 使用主要对所述玻璃基板的一个倒角面和侧壁面进行研磨的第1磁产生单元、和主要 对所述玻璃基板的另一个倒角面和侧壁面进行研磨的第2磁产生单元，所述第1磁产生单 元和所述第2磁产生单元按照各自的磁力线的方向不同的方式进行配置。7. 如权利要求5所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，所述第2磁产生单元 具备主要对所述玻璃基板的一个主表面与侧壁面之间的倒角面进行研磨的磁产生单元、和 主要对另一个主表面与侧壁面之间的倒角面进行研磨的磁产生单元，按照各自的磁力线的 方向不同的方式进行配置。8. 如权利要求1~7中任一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，在所 述端面研磨处理之前，进行在所述玻璃基板的端面形成倒角面和侧壁面这两个面的磨削处 理，该磨削处理包括下述磨削处理：在使磨削研磨石的旋转轴相对于与所述玻璃基板的主 表面正交的轴倾斜的状态下，使该磨削研磨石与所述玻璃基板的端面抵接，对该玻璃基板 的端面进行磨削。9. 一种磁盘的制造方法，其特征在于，在通过权利要求1~8中任一项所述的磁盘用玻 璃基板的制造方法所制造的磁盘用玻璃基板上至少形成磁记录层。10. -种磁盘用玻璃基板的端面研磨装置，其为用于下述端面研磨处理的磁盘用玻璃 基板的端面研磨装置：使用由相对配置的一对磁铁构成的磁产生单元来形成磁力线，将包 含磁性颗粒和研磨磨粒的磁性浆料保持于所述磁力线，从而沿着所述磁力线形成所述磁性 浆料的块，使圆盘状的玻璃基板的端面与所述磁性浆料的块接触，对所述玻璃基板的端面 的侧壁面、以及该玻璃基板的主表面与所述侧壁面之间的至少一个倒角面这两个面进行研 磨，其特征在于， 该磁盘用玻璃基板的端面研磨装置具备主要对所述玻璃基板的侧壁面进行研磨的第1 磁产生单元、和主要对所述玻璃基板的倒角面进行研磨的第2磁产生单元，所述第1磁产生 单元和所述第2磁产生单元按照各自的磁力线的方向不同的方式进行配置。11. 一种磁盘用玻璃基板的端面研磨装置，其为用于下述端面研磨处理的磁盘用玻璃 基板的端面研磨装置：使用由相对配置的一对磁铁构成的磁产生单元来形成磁力线，将包 含磁性颗粒和研磨磨粒的磁性浆料保持于所述磁力线，从而沿着所述磁力线形成所述磁性 浆料的块，使圆盘状的玻璃基板的端面与所述磁性浆料的块接触，对所述玻璃基板的端面 的侧壁面、以及该玻璃基板的主表面与所述侧壁面之间的至少一个倒角面这两个面进行研 磨，其特征在于， 该磁盘用玻璃基板的端面研磨装置具备主要对所述玻璃基板的一个倒角面和侧壁面 进行研磨的第1磁产生单元、和主要对所述玻璃基板的另一个倒角面和侧壁面进行研磨的 第2磁产生单元，所述第1磁产生单元和所述第2磁产生单元按照各自的磁力线的方向不 同的方式进行配置。
【专利摘要】本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法能够提高玻璃基板的端面的形状精度，能够高品质地抛光。本发明中，使用由相对配置的一对磁铁构成的磁产生单元来形成在玻璃基板的厚度方向前进的直线状的磁力线，将包含磁粘性流体和研磨磨粒的磁性浆料保持于上述磁力线，从而沿着上述磁力线形成上述磁性浆料的块。另外，在使玻璃基板的水平面相对于与上述磁力线的方向正交的表面方向倾斜的状态下，使玻璃基板的端面与上述磁性浆料的块接触，从而对玻璃基板的端面的侧壁面和倒角面这两个面同时进行研磨。
【IPC分类】G11B5/84, B24B9/06, B24B9/08, B24B31/112
【公开号】CN105164752
【申请号】CN201480024064
【发明人】东修平, 舆水修
【申请人】Hoya株式会社
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2014年4月30日
【公告号】WO2014178417A1