静态随机存储器的制造方法_2

文档序号:10081227阅读:来源:国知局
或256列,64、128、256或512行的第二晶胞21,同样的,可以形成512w*32b第二单元20的存储器。所述第三晶胞31分别连接第η条字线WLn、第k条第一位线BLk以及第k条第二位线BLBk,其中,η = 1,……,N,k = Μ2+1,……,M3,从而,j<k ^ Mo 在本实用新型中,N 为 64、128、256 或 512,(M3-M2)为 32、64、128 或 256,从而,所述第三单元30包括第一方向排列32、64、128或256列,64、128、256或512行的第三晶胞31,例如,可以形成512w*32b第三单元30的存储器。本领域技术人员可以理解的是,第一晶胞11、第二晶胞21以及第三晶胞31的个数可以根据实际需要使用情况进行设置,以使得测试结果更接近实际情况,保证测试准确。
[0040]继续参考图6所示,在本实施例中,所述第一晶胞11包括两个第一传输栅晶体管pg1、两个第一上拉晶体管pui(图中未示出)以及两个第一下拉晶体管roi(图中未示出),其中,第一传输栅晶体管PG1、第一上拉晶体管HJ1以及第一下拉晶体管roi的连接关系为现有技术中的图1所示的6T的存储单元的电路结构相同,两个第一上拉晶体管PU1以及两个第一下拉晶体管PD1分别形成两个反相器电路,两个反相器电路的输入端和输出端交叉互连,形成锁存电路,其中一个反相器电路的输出端连接一第一传输栅晶体管PG1的漏极,该第一传输栅晶体管PG1的栅极连接一条字线WL,源极连接邻近的一条第一位线BL,另一个反相器电路的输出端连接另一个第一传输栅晶体管PG1的漏极,该第一传输栅晶体管PG1的栅极连接同一条字线WL,源极连接邻近的一条第二位线BLB。本实施例中,形成第一晶胞11的版图结构可以采用如图2中所示的版图设计,从而使得第一传输栅晶体管PG1和第一下拉晶体管PD1均为单鳍结构,形成单鳍结构的静态随机存储器。
[0041 ] 所述第二晶胞21包括两个第二传输栅晶体管PG2、两个第二上拉晶体管PU2 (图中未示出)以及两个第二下拉晶体管Η)2(图中未示出),其中,第二传输栅晶体管PG2、第二上拉晶体管PU2以及第二下拉晶体管TO2的连接关系为现有技术中的图1所示的6T的存储单元的电路结构相同,此为本领域技术人员公知的,在此不作赘述。并且,形成第二晶胞21的版图结构可以采用图3中所示的结构,使得第二传输栅晶体管PG2和第一下拉晶体管PD2均为双鳍结构,形成双鳍结构的静态随机存储器,从而,第二晶胞21的第一方向(X方向)上的宽度大于第一晶胞11的宽度。
[0042]所述第三晶胞31包括两个第三传输栅晶体管PG3、两个第三上拉晶体管PU3 (图中未示出)以及两个第三下拉晶体管Η)3(图中未示出),其中,第三传输栅晶体管PG3、第三上拉晶体管PU3以及第三下拉晶体管PD3的连接关系为现有技术中的图1所示的6T的存储单元的电路结构相同此为本领域技术人员公知的,在此不作赘述。并且,形成第三晶胞31的版图结构可以采用图4中所示的结构,使得第三传输栅晶体管PG3和第三下拉晶体管PD3均为三鳍结构,从而第三晶胞31的第一方向(X方向)上的宽度大于第二晶胞21以及第一晶胞11的宽度。
[0043]由于第一晶胞11、第二晶胞21以及第三晶胞31的X方向上的宽度不同,从而分别与第一晶胞11、第二晶胞21以及第三晶胞31相连的相邻的第一位线BL和第二位线BLB之间的的宽度进行相应的匹配设置。然而,第一晶胞11、第二晶胞21以及第三晶胞31在Y方向上的宽度相同,从而相邻的字线WL的之间的宽度均相同。
[0044]此外,本实用新型中,参考图6所示,第m条所述第一位线与第m条第二位线之间连接第一 PM0S晶体管P1、第二 PM0G晶体管P2以及第三PM0S晶体管P3,所述第m条第一位线BLm上连接一第一 PM0S晶体管P1的漏极,所述第m条第二位线BLBm上连接一第二 PM0S晶体管P2的漏极,所述第m条第一位线BLm与所述第m条第二位线BLBm之间连接一第三PM0S晶体管P3,其中,m = 1,……,M。所述第一 PM0S晶体管P1的源极连接一工作电压,所述第二 PM0S晶体管P2的源极连接另一工作电压,所述第一 PM0S晶体管P1的栅极、所述第二 PM0S晶体管P2的栅极以及所述第三PM0S晶体管P3的栅极相连,并连接一电源电压,用于测试时为SRAM单元提供电压。
[0045]需要说明的是,将单鳍结构、双鳍结构以及三鳍结构三种不同结构的存储晶胞集成在一个存储器中,可以节省制备的工艺成本,并且,同时测试不同的存储器结构可以节省测试成本。
[0046]在本实用新型中,所述第一传输栅晶体管PG1为单鳍结构,所述第二传输栅晶体管PG2为双鳍结构,所述第三传输栅晶体管PG3为三鳍结构。然而,本领域技术人员可以理解的是,在本实用新型的其他实施例中,还可以是:所述第一传输栅晶体管PG1为双鳍结构,所述第二传输栅晶体管PG2为单鳍结构,所述第三传输栅晶体管PG3为三鳍结构;或所述第一传输栅晶体管PG1为双鳍结构,所述第二传输栅晶体管PG2为三鳍结构,所述第三传输栅晶体管PG3为单鳍结构,只要使得静态随机存储器中同时包括单鳍结构、双鳍结构以及三鳍结构,实现对不同的存储单元的同时测试,亦在本实用新型保护的思想范围之内。
[0047]综上所述,本实用新型的静态随机存储器,包括第一单元、第二单元、第三单元,其中,第一单元、第二单元、第三单元中分别包括单鳍结构、双鳍结构以及三鳍结构的传输栅晶体管,从而,可以在一个静态随机存储器上同时测试几种不同结构的存储单元,从而提高测试效率。
[0048]显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种静态随机存储器,其特征在于,包括: N条沿第一方向排列的字线; Μ条沿第二方向排列的第一位线; Μ条沿第二方向排列的第二位线,所述第一位线与所述第二位线交替排列; 依次沿第一方向排列的第一单元、第二单元以及第三单元,所述第一单元包括若干个阵列分布的第一晶胞,所述第二单元包括若干个阵列分布的第二晶胞,所述第三单元包括若干个阵列分布的第三晶胞,所述第一晶胞分别连接第η条字线、第i条第一位线以及第i条第二位线、所述第二晶胞分别连接第η条字线、第j条第一位线以及第j条第二位线,所述第三晶胞分别连接第η条字线、第k条第一位线以及第k条第二位线,其中,n=l,……,N,且i〈 j〈k彡M,N、Μ均为正整数; 其中,所述第一晶胞、所述第二晶胞以及所述第三晶胞均为6Τ结构,所述第一晶胞包括两个第一传输栅晶体管,所述第二晶胞包括两个第二传输栅晶体管,所述第三晶胞包括两个第三传输栅晶体管; 其中,所述第一传输栅晶体管为单鳍结构,所述第二传输栅晶体管为双鳍结构,所述第三传输栅晶体管为三鳍结构;或 所述第一传输栅晶体管为双鳍结构,所述第二传输栅晶体管为单鳍结构,所述第三传输栅晶体管为三鳍结构;或 所述第一传输栅晶体管为双鳍结构,所述第二传输栅晶体管为三鳍结构,所述第三传输栅晶体管为单鳍结构。2.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第一晶胞中还包括两个第一上拉晶体管和两个第一下拉晶体管,两个所述第一传输栅晶体管、两个所述第一上拉晶体管以及两个所述第一下拉晶体管形成6Τ结构,两个所述第一上拉晶体管和两个所述第一下拉晶体管形成交叉连接的两个反相器电路,两个所述反相器电路的输出端分别连接两个所述第一传输栅晶体管的漏极,两个所述第一传输栅晶体管的栅极均连接所述字线,源极分别连接所述第一位线或所述第二位线。3.如权利要求2所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第一单元包括第一方向排列32、64、128或256列的第一晶胞。4.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第二晶胞中还包括两个第二上拉晶体管和两个第二下拉晶体管。5.如权利要求4所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第二单元包括第一方向排列的32、64、128或256列的第二晶胞。6.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第二晶胞中还包括两个第三上拉晶体管和两个第三下拉晶体管。7.如权利要求6所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第三单元包括第一方向上排列的32、64、128或256列的第三晶胞。8.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,Ν为64、128、256或512。9.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,所述第一方向与所述第二方向垂直。10.如权利要求1所述的静态随机存储器,其特征在于,第m条所述第一位线上连接一第一 PMOS晶体管的漏极,第m条所述第二位线上连接一第二 PM0S晶体管的漏极,第m条所述第一位线与第m条所述第二位线之间连接一第三PM0S晶体管,所述第一 PM0S晶体管的源极连接一工作电压,所述第二 PM0S晶体管的源极连接另一工作电压,所述第一 PM0S晶体管的栅极、所述第二PM0S晶体管的栅极以及所述第三PM0S晶体管的栅极相连,并连接一电源电压,其中,m=l,......,Μ。
【专利摘要】本实用新型的静态随机存储器,包括字线、第一位线、第二位线、第一单元、第二单元以及第三单元,第一单元、第二单元和第三单元分别包括阵列分布的第一晶胞、第二晶胞和第三晶胞,第一晶胞、第二晶胞以及第三晶胞分别包括两个第一传输栅晶体管、两个第二传输栅晶体管以及两个第三传输栅晶体管,其中,第一传输栅晶体管为单鳍结构,第二传输栅晶体管为双鳍结构,第三传输栅晶体管为三鳍结构;或第一传输栅晶体管为双鳍结构,第二传输栅晶体管为单鳍结构,第三传输栅晶体管为三鳍结构;或第一传输栅晶体管为双鳍结构,第二传输栅晶体管为三鳍结构,第三传输栅晶体管为单鳍结构。本实用新型可同时对单鳍结构、双鳍结构和三鳍结构的存储单元进行测试。
【IPC分类】G11C11/413
【公开号】CN204991152
【申请号】CN201520431866
【发明人】张弓
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年6月20日
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1