专利名称：用于刻蚀设备的金属盘绕圈及其组装方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造领域，特别地，涉及一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈及 其组装方法。
背景技术：
在半导体制造过程中，刻蚀工艺是必不可少的环节。而刻蚀设备在使用了一段 时间以后，需要将其拆开以对各部件作维护保养，以使其保持较好的工艺性能。在现有刻蚀设备中，金属盘绕圈是其必要的组成部分之一。所述金属盘绕圈一 般又可以拆分为三个圆形的组成部件，即上部件、中部件和下部件。图1为现有技术中 的金属盘绕圈的中部件和下部件的纵截面位置示意图。如图所示，在对金属盘绕圈的维护保养完毕以后，需要将其拆分开的三个组成 部件重新组装起来，所述下部件104包括圆环形的下部件本体116、位于所述下部件本体 116中的圆管形的下部件轴118以及从所述下部件轴118中穿过的进气管108，所述下部 件本体116、下部件轴118以及进气管108三者同轴线。但是，在金属盘绕圈的组装过程 中，尤其是中部件102和下部件104的组装过程中，由于中部件102的进气口 106与下部 件104的进气管108的轴线很难完全对准，因此所述中部件102的进气口 106与与之相配 合的所述下部件104的进气管108的管口四周存在不均勻的间隙110，所述不均勻的间隙 110最多可能达到0.9mm。由于上述不均勻的间隙110的存在，使得金属盘绕圈的下部件104的进气管108 中的混合气体进入中部件102的盆形腔体112的气流变得不均勻、不稳定。图2为现有 技术中中部件的进气口与下部件的进气管的管口四周存在不均勻的间隙后，进入刻蚀腔 体中的气流状态(作为对比，图3为现有技术中原来进入刻蚀腔体中的均勻、稳定的气流 状态)，这给实际的生产过程的顺利进行带来很大的影响。因此，迫切需要一种能够使进入刻蚀腔体中的气流均勻、稳定的金属盘绕圈及 其组装方法。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈及其组装方 法，使进入刻蚀腔体中的工艺气体的气流均勻、稳定。本发明提供一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈，包括中部件和下部件，与所述中 部件的进气口相配合的所述下部件的进气管管口处设置有定心套。可选地，所述下部件包括下部件本体和下部件轴，所述下部件本体与所述下部 件轴之间设置有定心套。可选地，所述定心套为纵截面呈直角三角形或直角梯形的圆环。可选地，所述定心套的四周设置有朝向定心套径向方向的固定螺丝。可选地，所述固定螺丝的数目为2 8个。
可选地，所述固定螺丝在定心套四周以均勻的间隔排列。本发明还提供一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈的组装方法，包括在与所述中部 件的进气口相配合的所述下部件的进气管管口处设置定心套。可选地，所述下部件包括下部件本体和下部件轴，所述组装方法还包括在下部 件本体和下部件轴之间设置定心套。可选地，在所述定心套的四周设置有朝向定心套径向方向的固定螺丝，通过调 节固定螺丝使所述定心套以适当的松紧程度套装在其所套入的零件上。与现有技术相比，本发明具有以下优点本发明通过在与中部件的进气口相配 合的下部件的进气管管口处设置定心套，使得金属盘绕圈的中部件和下部件在组装过程 中，能够很容易地将中部件的进气口与下部件的进气管的轴线对准，这样使得中部件的 进气口与下部件的进气管的管口四周留有均勻的间隙，使得进入刻蚀腔体中的工艺气体 的气流变得均勻、稳定，优化了实际的工艺过程。本发明还可以在下部件本体与下部件轴之间设置定心套，使得在对下部件作完 维护保养后，也能容易地将下部件本体与下部件轴的轴线对准，使得下部件本体与下部 件轴四周留有均勻的空隙，进一步优化、稳定进入刻蚀腔体中的工艺气体的气流。本发明的定心套可以为纵截面呈直角三角形或直角梯形的圆环，使得中部件的 进气口与下部件的进气管在组装过程中，中部件的进气口顺着定心套的纵截面坡度容易 地以四周留有均勻间隙地套装在下部件的进气管的管口外面。本发明的定心套的四周可以设置有朝向定心套径向方向的固定螺丝，使得可以 根据实际的组装需要，调节固定螺丝，以适当的松紧程度将定心套套装在相应的零件 上。
图1为现有技术中的金属盘绕圈的中部件和下部件的纵截面位置示意图；图2为现有技术中金属盘绕圈的中部件的进气口与下部件的进气管的管口四周 存在不均勻的间隙后，进入刻蚀腔体中的气流状态；图3为现有技术中原来进入刻蚀腔体中的均勻、稳定的气流状态；图4为本发明的一个实施例的金属盘绕圈的中部件和下部件的纵截面位置示意 图；图5为本发明的另一个实施例的金属盘绕圈的中部件和下部件的纵截面位置示 意图。
具体实施例方式下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步的说明，但不应以此限制本发明 的保护范围。图4为本发明的一个实施例的金属盘绕圈的中部件和下部件的纵截面位置示意 图。如图所示，在本实施例中，所述金属盘绕圈包括中部件202和下部件204。所述中 部件202大体上呈圆盆形，其内形成有盆形腔体212，所述盆形腔体212的底部具有中部 件202的进气口 206。所述下部件204包括圆环形的下部件本体216、位于所述下部件本体216中的圆管形的下部件轴218以及从所述下部件轴218中穿过的进气管208，所述下 部件本体216、下部件轴218以及进气管208三者同轴线。所述下部件204的进气管208 的管口与中部件202的进气口 206相配合，用于向中部件202的盆形腔体212内通入混合 的工艺气体。在本实施例中，所述金属盘绕圈的下部件204的进气管208管口处设置有定心套 220。在本实施例中，所述定心套220可以为纵截面呈直角三角形或直角梯形的圆 环，所述定心套220壁厚较薄的一端迎着中部件202的进气口 206的组装方向，使中部件 202的进气口 206顺着定心套220由薄变厚的纵截面坡度以四周留有均勻间隙地套装在下 部件204的进气管208的管口外面，使中部件202的进气口 206与下部件204的进气管 208的轴线对准。在本实施例中，所述定心套220的四周可以设置有朝向定心套220径向方向的固 定螺丝222，所述固定螺丝222的数目可以为2 8个，均勻地间隔排列在定心套220的 四周。通过调节各固定螺丝222，可以以适当的松紧程度将定心套220套装在下部件204 的进气管208管口处。图5为本发明的另一个实施例的金属盘绕圈的中部件和下部件的纵截面位置示 意图。如图所示，在本实施例中，所述金属盘绕圈下部件204的的下部件本体216与下 部件轴218之间也可以设置有定心套224。在本实施例中，所述定心套224可以为纵截面呈直角三角形或直角梯形的圆 环，所述定心套224壁厚较薄的一端迎着下部件本体216的组装方向，使下部件本体216 顺着定心套224由薄变厚的纵截面坡度以四周留有均勻间隙地套装在下部件轴218的外 面，使下部件本体216与下部件轴218的轴线对准。在本实施例中，所述定心套224的四周可以设置有朝向定心套224径向方向的固 定螺丝226，所述固定螺丝226的数目可以为2 8个，均勻地间隔排列在定心套224的 四周。通过调节各固定螺丝226，可以以适当的松紧程度将定心套224套装在下部件轴 218的外面合适位置处。本发明还提供一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈的组装方法，包括在与中部件202 的进气口 206相配合的下部件204的进气管208管口处设置定心套220。在本实施例中，所述组装方法还包括在下部件本体216和下部件轴218之间设置 定心套224。
在本实施例中，在所述定心套220、224的四周设置有朝向定心套220、224径向 方向的固定螺丝222、226，通过调节各固定螺丝222、226使所述定心套220、224以适当 的松紧程度将套装在下部件204的进气管208管口处或者下部件轴218外面合适位置处。本发明通过在与中部件的进气口相配合的下部件的进气管管口处设置定心套， 使得金属盘绕圈的中部件和下部件在组装过程中，能够很容易地将中部件的进气口与下 部件的进气管的轴线对准，这样使得中部件的进气口与下部件的进气管的管口四周留有 均勻的间隙，使得进入刻蚀腔体中的工艺气体的气流变得均勻、稳定，优化了实际的工 艺过程。本发明还可以在下部件本体与下部件轴之间设置定心套，使得在对下部件作完维护保养后，也能容易地将下部件本体与下部件轴的轴线对准，使得下部件本体与下部 件轴四周留有均勻的空隙，进一步优化、稳定进入刻蚀腔体中的工艺气体的气流。本发明的定 心套可以为纵截面呈直角三角形或直角梯形的圆环，使得中部件的 进气口与下部件的进气管在组装过程中，中部件的进气口顺着定心套的纵截面坡度容易 地以四周留有均勻间隙地套装在下部件的进气管的管口外面。本发明的定心套的四周可以设置有朝向定心套径向方向的固定螺丝，使得可以 根据实际的组装需要，调节固定螺丝，以适当的松紧程度将定心套套装在相应的零件 上。本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域 技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明 的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1.一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈，包括中部件和下部件，其特征在于，与所述中 部件的进气口相配合的所述下部件的进气管管口处设置有定心套。
2.根据权利要求1所述的金属盘绕圈，其特征在于，所述下部件包括下部件本体和下 部件轴，所述下部件本体与所述下部件轴之间设置有定心套。
3.根据权利要求1或2所述的金属盘绕圈，其特征在于，所述定心套为纵截面呈直角 三角形或直角梯形的圆环。
4.根据权利要求1或2所述的金属盘绕圈，其特征在于，所述定心套的四周设置有朝 向定心套径向方向的固定螺丝。
5.根据权利要求4所述的金属盘绕圈，其特征在于，所述固定螺丝的数目为2 8个。
6.根据权利要求5所述的金属盘绕圈，其特征在于，所述固定螺丝在定心套四周以均 勻的间隔排列。
7.—种根据权利要求1所述的用于刻蚀设备的金属盘绕圈的组装方法，其特征在于， 包括在与所述中部件的进气口相配合的所述下部件的进气管管口处设置定心套。
8.根据权利要求7所述的组装方法，其特征在于，所述下部件包括下部件本体和下部 件轴，所述组装方法还包括在下部件本体和下部件轴之间设置定心套。
9.根据权利要求7或8所述的组装方法，其特征在于，在所述定心套的四周设置有朝 向定心套径向方向的固定螺丝，通过调节固定螺丝使所述定心套以适当的松紧程度套装 在其所套入的零件上。
全文摘要
本发明提供一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈，包括中部件和下部件，与所述中部件的进气口相配合的所述下部件的进气管管口处设置有定心套。本发明还提供一种用于刻蚀设备的金属盘绕圈的组装方法，包括在与所述中部件的进气口相配合的所述下部件的进气管管口处设置定心套。本发明通过在与中部件的进气口相配合的下部件的进气管管口处设置定心套，使得金属盘绕圈的中部件和下部件在组装过程中，能够很容易地将中部件的进气口与下部件的进气管的轴线对准，这样使得中部件的进气口与下部件的进气管的管口四周留有均匀的间隙，使得进入刻蚀腔体中的工艺气体的气流变得均匀、稳定，优化了实际的工艺过程。
文档编号H01L21/00GK102013387SQ20091019522
公开日2011年4月13日 申请日期2009年9月4日 优先权日2009年9月4日
发明者杨俊彦, 陈建兴, 陈薇宇, 龚伟平 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司