专利名称：可控双向交叉循环通风装置及操作方法
技术领域：
本发明涉及一种通风装置，更具体地涉及一种可控双向交叉循环通风装置及操作
方法。
背景技术：
随着科学技术的迅猛发展，近年来薄膜半导体市场蓬勃发展，使薄膜半导体应用 领域逐渐深入，其趋势朝向大面积扩展，如采用玻璃基板的薄膜太阳能电池器件以发展为 llOOmmX 1400mm尺寸为普遍尺寸，再有有机发光显示器件(OLED)面板也由传统手机屏到 大面积的电视、便携电脑显示屏的应用扩展，其尺寸也达到了 370mmX470mm以上，诸如此 类的薄膜半导体产品都需要经过许多不同的镀膜制程或其集成，在许多工序中往往涉及到 利用通风装置对玻璃等薄膜基板进行加热的环节，现有的通风装置利用热风循环对玻璃等 薄板进行加热，但该加热技术只能局限在单向循环的加热，加热过程容易导致被加热物件 出现温度沿热风流向产生梯度变化，不能实现均匀加热的目的。 因此，有必要提供一种能够实现双向交叉循环，温度处理均匀的可控双向交叉循 环通风装置及操作方法。
发明内容
本发明的目的之一是提供一种能够实现双向交叉循环，温度处理均匀的可控双向 交叉循环通风装置。 本发明的另一目的是提供一种能够实现双向交叉循环，温度处理均匀的可控双向 交叉循环通风装置的操作方法。 为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种可控双向交叉循环通风装置，包 括左通风管、右通风管、中空密闭的腔室以及设置在所述腔室外的进风风道、出风风道、风 机，所述左通风管、右通风管分别伸入所述腔室内并位于所述腔室内的两侧，所述左通风管 与右通风管相对应的侧壁上分别开设有通风孔，所述进风风道与所述出风风道并联设置， 所述进风风道包括相互连通的左进风风道与右进风风道，所述出风风道包括相互连通的左 出风风道与右出风风道，所述左进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述左通 风管连通，所述右进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述右通风管连通，所 述风机具有出风口与进风口 ，所述风机的进风口与所述进风风道连通并位于所述左进风风 道与所述右进风风道之间，所述风机的出风口与所述出风风道连通并位于所述左出风风道 与所述右出风风道之间，所述风机的进风口与所述进风风道之间设有进风阀门组件，所述 风机的出风口与所述出风风道之间设有出风阀门组件，所述腔室、左通风管、左进风风道、 风机、右出风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路，所述腔室、右通风管、右进风风 道、风机、左出风风道、左通风管相互连通形成逆时针循环回路。 较佳地，所述风机的进风口朝下安装在所述进风风道中央处，所述风机的出风口 侧装在出风风道的中央处，将所述左进风风道与右进风风道、左出风风道与右出风风道对称分割形成，使通路匀称气流流通更均匀。 作为本发明的一实施例，所述进风阀门组件为两开闭式阀门，所述开闭式阀门分
别设置在所述左进风风道与风机的进风口之间、右进风风道与风机的进风口之间；所述出
风阀门组件为一导向阀门，所述导向阀门设置在所述风机的出风口处，通过改变所述开闭
式阀门与所述导向阀门的状态，选择连通不同的风道，实现通风的双向交叉循环。 作为本发明的另一实施例，所述进风阀门组件为两开闭式阀门，所述开闭式阀门
分别设置在所述左进风风道与风机的进风口之间、右进风风道与风机的进风口之间；所述
出风阀门组件为两开闭式阀门，所述开闭式阀门分别设置在所述左出风风道与风机的出风
口之间、右出风风道与风机的出风口之间，通过改变所述开闭式阀门的组合状态，选择连通
不同的风道，实现通风的双向交叉循环。 较佳地，所述可控双向交叉循环通风装置还包括电路控制单元，所述进风风阀组 件、出风风阀组件及风机分别与所述电路控制单元电连接，通过特定的电路控制，可定时控 制通风装置的双向交叉循环。 较佳地，所述通风孔的孔径沿通风管的伸入方向逐渐增大，实现沿通风管出风流
量、压力均匀，进一步提高用于温度处理的气流的均匀性，提高产品加工质量。 较佳地，所述左通风管与右通风管位于同一平面，使左通风管与右通风管上的所
述通风孔相向且正对，左通风管与右通风管之间形成处理区。 较佳地，所述风机的出风口设有加热丝或充有冻水的盘管，气流经过风机的出风 口的加热丝的加热或冻水盘管的冷却，形成相应的热气流或冷气流，从而实现对腔室内需 处理物件的热处理或冷处理。 相应地，本发明还提供了如上所述的可控双向交叉循环通风装置的操作方法，包
括以下步骤控制进风阀门组件使左进风风道与风机的进风口连通，并控制出风阀门组件
使右出风风道与风机的出风口连通，使得所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出风风
道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路；控制进风阀门组件使右进风风道与风机的进
风口连通，并控制出风阀门组件使左出风风道与风机的出风口连通，使得所述腔室、左通风
管、左进风风道、风机、右出风风道、右通风管相互连通形成逆时针循环回路。 与现有技术相比，由于本发明的可控双向交叉循环通风装置采用风机作为进出风
动力源，出风风道与进风风道并联设置且两端通过风道接口连通，所述风机的进风口与所
述进风风道之间设有进风阀门组件，所述风机的出风口与所述出风风道之间设有出风阀门
组件，通过控制所述进风阀门组件、出风阀门组件，使所述腔室、左通风管、左进风风道、风
机、右出风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路，控制所述进风阀门组件、出风阀
门组件使其处于另一状态，使所述腔室、右通风管、右进风风道、风机、左出风风道、左通风
管相互连通形成逆时针循环回路，通过选择进风阀门组件与出风阀门组件的状态实现可控
双向交叉循环，从而达到进行均匀温度处理的目的。相应地，本发明的可控双向交叉循环通
风装置的操作方法能够实现气流的双向交叉循环，进行均匀的温度处理。
图1为本发明可控双向交叉循环通风装置一实施例的结构示意图。
图2为图1所示可控双向交叉循环通风装置的原理示意图。
图3为图1所示可控双向交叉循环通风装置另一状态的结构示意图。 图4为图3所示可控双向交叉循环通风装置的原理示意图。 图5为图1所示可控双向交叉循环通风装置的原理方框图。 图6为本发明可控双向交叉循环通风装置的操作方法的流程图。 图7为本发明可控双向交叉循环通风装置另一实施例的结构示意图。 图8为图7所示可控双向交叉循环通风装置的原理方框图。
具体实施例方式
为了详细说明本发明的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进 一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述，本发明公开了一种可控双 向交叉循环通风装置，适用于气流配合使用，对腔室内的竖直置放的玻璃薄板或其他待处 理物件进行温度处理，采用风机作为进出风动力源，出风风道与进风风道并联设置，通过选 择进风阀门组件与出风阀门组件的不同状态实现可控双向交叉循环，从而达到进行均匀温 度处理的目的。 参考图l至图4，本发明一实施例的可控双向交叉循环通风装置包括左通风管 200a、右通风管200b、中空密闭的腔室100以及设置在腔室100外的进风风道300、出风风 道400、风机600。左通风管200a、右通风管200b分别伸入腔室100内并位于腔室100内的 两侧且位于同一平面，左通风管200a与右通风管200b之间形成处理区210，玻璃薄板或其 他处理物件110竖直置放在处理区210中，左通风管200a与右通风管200b相对应的侧壁上 分别开设有通风孔220，左通风管200a与右通风管200b上的通风孔220相向且正对，该通 风孔220的孔径沿通风管的伸入方向逐渐增大，实现沿通风管出风流量、压力均匀，进一步 提高用于温度处理的气流的均匀性，提高产品加工质量。进风风道300与出风风道400呈 长直管状并联设置，风机600具有进风口 610与出风口 620，风机600的进风口 610朝下安 装在进风风道300中央部位的上方，风机600的出风口 620安装在出风风道400侧壁上的 中央处，进风口 610将进风风道300对称分割成相互连通的左进风风道300a与右进风风道 300b，出风口 620将出风风道400分割成相互连通的左出风风道400a与右出风风道400b， 左进风风道300a与左出风风道400a通过左风道接口 500a同时与左通风管200a连通，右 进风风道300b与左出风风道400b通过右风道接口 500b同时与右通风管200b连通，风机 600的进风口 610与进风风道300连通并位于左进风风道300a与右进风风道300b之间， 风机600的出风口 620与出风风道400连通并位于左出风风道400a与右出风风道400b之 间。风机600的进风口 610与所述进风风道300之间设有进风阀门组件，风机600的出风 口 620与出风风道400之间设有出风阀门组件，在本实施例中，所述进风阀门组件包括第一 开闭式阀门700a、第二开闭式阀门700b，出风阀门组件包括一导向阀门810。第一开闭式 阀门700a、第二开闭式阀门700b分别对称设置，第一开闭式阀门700a设置在左进风风道 300a与风机600的进风口 610之间，第二开闭式阀门700b设置在右进风风道300b与风机 600的进风口 610之间；导向阀门810设置在风机600的出风口 600处，该导向阀门810呈 弧形并可90°旋转，通过旋转导向阀门810实现左出风风道400a与风机600的出风口 620 连通同时右出风风道400b与风机600的出风口 620闭合不连通，或是右出风风道400b与风 机600的出风口 620连通同时左出风风道400a与风机600的出风口 620闭合不连通，通过
6改变所述第一开闭式阀门700a、第二开闭式阀门700b与所述导向阀门810的状态，选择连 通不同的风道，实现通风的方向的转换，使所述腔室100、左通风管200a、左进风风道300a、 风机600、右出风风道400b、右通风管200b相互连通形成顺时针循环回路，所述腔室100、右 通风管200b、右进风风道300b、风机600、左出风风道400a、左通风管200a相互连通形成逆 时针循环回路。 参考图5，所述可控双向交叉循环通风装置还包括电路控制单元900，第一开闭式 风阀700a、第二开闭式阀门700b、导向风阀810及风机600分别与电路控制单元900电连 接，通过特定的电路控制，可定时控制通风装置的双向交叉循环，实现自动化控制。
在本发明的实施例中，可在风机600的出风口 620或左风道接口 500a、右风道接口 500b处设置加热丝(图未示)，气流经过风机600的出风口 620或风道接口 500a、500b时， 经加热丝加热，形成热气流，从而实现对腔室100内待处理物件110的热处理。同样地，也 可以在风机600的出风口 620或风道接口 500a、500b处设置充有冻水的盘管，气流经过风 机600的出风口 620或风道接口 500a、500b时，经冻水盘管的冷却，形成冷气流，从而实现 对腔室内需处理物件的冷处理。 参考图6，本发明所述的可控双向交叉循环通风系统的操作方法包括以下步骤
步骤S1 :控制进风阀门组件使左进风风道与风机的进风口连通，并控制出风阀门 组件使右出风风道与风机的出风口连通，使得所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出 风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路； 步骤S2 :控制进风阀门组件使右进风风道与风机的进风口连通，并控制出风阀门 组件使左出风风道与风机的出风口连通，使得所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出 风风道、右通风管相互连通形成逆时针循环回路。 详细地，第一实施例的可控双向交叉循环通风装置的工作原理如下所述参考图 1，通过控制电路单元900打开第二开闭式阀门700b、关闭第一开闭式阀门700a，同时控制 导向阀门810旋转至与左出风风道400a连通的位置上，此时，如图l、图2中箭头方向所示， 腔室100内的气流通过右通风管200b上的通风孔220进入右通风管200b，该气流通过右风 道接口 500b流入右进风风道300b，由第二开闭式阀门700b进入风机600的进风口 610，通 过风机600的出风口 620处的导向阀门810进入左出风风道400a，再经过左风道接口 500a 进入左通气管200a，经左通气管200a上的通气孔220将气流吹向腔室100内的待处理物件 110，最后气流流过待处理物件110后由右通气管200b上的通气孔220进入右通气管200b， 形成逆时针的循环的闭合回路。 一定时间后，参考图3，通过控制电路单元900关闭第二 开闭式阀门700b、打开第一开闭式阀门700a，同时控制导向阀门810旋转至与右出风风道 400b连通的位置上，此时，腔室100内的气流通过左通风管200a上的通风孔220进入左通 风管200a，该气流通过左风道接口 500a流入左进风风道300a，由第一开闭式阀门700a进 入风机600的进风口 610，通过风机600的出风口 620处的导向阀门810进入右出风风道 400b，再经过右风道接口 500b进入右通气管200b，经右通气管200b上的通气孔220将气 流吹向腔室100内的待处理物件IIO，最后气流流过待处理物件110后由左通气管200a上 的通气孔220进入左通气管200a，形成顺时针的循环的闭合回路。两循环回路的交叉时间 根据具体需要设置定时转换，如图5所示通过电路控制单元900根据不同工艺要求进行不 同的动作配合控制，自动控制实现双向交叉循环，使加热或冷却均匀一致，提高产品加工质
7
图7为本发明的另一实施例，与第一实施例不同的是，在本实施例中所述进风阀 门组件包括第一开闭式阀门700a、第二开闭式阀门700b，出风阀门组件包括第三开闭式阀 门820a、第四开闭式阀门820b，第一开闭式阀门700a、第二开闭式阀门700b分别对称设置， 第一开闭式阀门700a设置在左进风风道300a与风机600的进风口 610之间；第二开闭式 阀门700b设置在右进风风道300b与风机600的进风口 610之间；第三开闭式阀门820a设 置在左出风风道400a与风机600的出风口 620之间；第四开闭式阀门820b设置在右出风 风道400b与风机600的出风口 620之间，通过选择改变开闭式阀门700a、700b、820a、820b 的组合状态，选择连通不同的风道，实现通风的双向交叉循环。配合参考图8，该实施例的可 控双向交叉循环通风装置的工作原理如下所述通过控制电路单元900打开第二开闭式阀 门700b、关闭第一开闭式阀门700a，同时打开第三开闭式阀门820a、关闭第四开闭式阀门 820b，使所述腔室100、左通风管200a、左进风风道300a、风机600、右出风风道400b、右通 风管200b相互连通形成顺时针循环回路。 一定时间后，通过控制电路单元关闭第二开闭式 阀门700b、打开第一开闭式阀门700a，同时关闭第三开闭式阀门820a、打开第四开闭式阀 门820b，使所述腔室100、右通风管200b、右进风风道300b、风机600、左出风风道400a、左 通风管200a相互连通形成逆时针循环回路。两循环回路的气流的双向流通原理与第一实 施例类似，在此不另详细描述。可以理解地，所述进风阀门组件也可以采用单个导向阀门， 配合由两个开闭式阀门组成的出风阀门组件来实现，通过电路控制单元900根据不同工艺 要求进行不同的动作配合控制，定时转换通风方向，自动控制实现双向交叉循环，使加热或 降温均匀一致，提高产品加工质量。 与现有技术相比，由于本发明的可控双向交叉循环通风装置采用风机600作为进 出风动力源，出风风道400与进风风道300并联设置且两端通过风道接口连通，所述风机 600的进风口 610与所述进风风道300之间设有进风阀门组件，所述风机600的出风口 620 与所述出风风道400之间设有出风阀门组件，通过控制所述进风阀门组件、出风阀门组件， 使所述腔室100、左通风管200a、左进风风道300a、风机600、右出风风道400b、右通风管 200b相互连通形成顺时针循环回路，控制所述进风阀门组件、出风阀门组件使其处于另一 状态，使所述腔室100 、右通风管200b 、右进风风道300b 、风机600 、左出风风道400a、左通风 管200a相互连通形成逆时针循环回路，通过选择进风阀门组件与出风阀门组件的状态实 现可控双向交叉循环，从而达到进行均匀温度处理的目的。 以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范 围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，包括左通风管、右通风管、中空密闭的腔室以及设置在所述腔室外的进风风道、出风风道、风机，所述左通风管、右通风管分别伸入所述腔室内并位于所述腔室内的两侧，所述左通风管与右通风管相对应的侧壁上分别开设有通风孔，所述进风风道与所述出风风道并联设置，所述进风风道包括相互连通的左进风风道与右进风风道，所述出风风道包括相互连通的左出风风道与右出风风道，所述左进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述左通风管连通，所述右进风风道与所述左出风风道通过风道接口同时与所述右通风管连通，所述风机具有出风口与进风口，所述风机的进风口与所述进风风道连通并位于所述左进风风道与所述右进风风道之间，所述风机的出风口与所述出风风道连通并位于所述左出风风道与所述右出风风道之间，所述风机的进风口与所述进风风道之间设有进风阀门组件，所述风机的出风口与所述出风风道之间设有出风阀门组件，所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出风风道、右通风管相互连通形成顺时针循环回路，所述腔室、右通风管、右进风风道、风机、左出风风道、左通风管相互连通形成逆时针循环回路。
2. 如权利要求1所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述风机的进风口 朝下安装在所述进风风道中央处，所述风机的出风口侧装在出风风道的中央处。
3. 如权利要求1所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述进风阀门组件 为两开闭式阀门，所述开闭式阀门分别设置在所述左进风风道与风机的进风口之间、右进 风风道与风机的进风口之间。
4. 如权利要求3所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述出风阀门组件 为一导向阀门，所述导向阀门设置在所述风机的出风口处。
5. 如权利要求3所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述出风阀门组件 为两开闭式阀门，所述开闭式阀门分别设置在所述左出风风道与风机的出风口之间、右出 风风道与风机的出风口之间。
6. 如权利要求1所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述可控双向交叉 循环通风装置还包括电路控制单元，所述进风风阀组件、出风风阀组件及风机分别与所述 电路控制单元电连接。
7. 如权利要求1所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述通风孔的孔径 沿通风管的伸入方向逐渐增大。
8. 如权利要求1所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述左通风管与右 通风管位于同一平面。
9. 如权利要求1所述的可控双向交叉循环通风装置，其特征在于，所述风机的出风口 设有加热丝或充有冻水的盘管。
10. 如权利要求1-9中任一项所述的可控双向交叉循环通风装置的操作方法，其特征 在于，包括以下步骤控制进风阀门组件使左进风风道与风机的进风口连通，并控制出风阀门组件使右出风 风道与风机的出风口连通，使得所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出风风道、右通 风管相互连通形成顺时针循环回路；控制进风阀门组件使右进风风道与风机的进风口连通，并控制出风阀门组件使左出风 风道与风机的出风口连通，使得所述腔室、左通风管、左进风风道、风机、右出风风道、右通风管相互连通形成逆时针循环回路c
全文摘要
本发明公开了一种可控双向交叉循环通风装置，包括左通风管、右通风管、腔室、风机以及并联设置的进风风道、出风风道，左通风管、右通风管分别伸入腔室内并位于腔室内的两侧，左通风管与右通风管相对应的侧壁上分别开设有通风孔，风机的进风口与进风风道连通并位于左进风风道与右进风风道之间，风机的出风口与出风风道连通并位于的左出风风道与右出风风道之间，进风口与进风风道之间设有进风阀门组件，出风口与出风风道之间设有出风阀门组件，通过控制进风阀门组件与出风阀门组件实现不同循环回路的转换，从而实现气流的可控双向交叉循环，达到进行均匀温度处理的目的。本发明还公开了所述可控双向交叉循环通风装置的操作方法。
文档编号H01L21/00GK101789360SQ20091026673
公开日2010年7月28日 申请日期2009年12月30日 优先权日2009年12月30日
发明者杨明生, 范振华 申请人:东莞宏威数码机械有限公司