专利名称：被加工件的表面保护方法和临时固定方法
技术领域：
本发明涉及加工各种材料时该被加工件的表面保护方法和临时固定方法。更具 体地说，本发明提出对光学用构件、半导体晶片等进行加工时，通过在被加工件的表面 设置由固化性组合物形成的保护膜(以下 也有时称为固化体)，以保护不加工的部分免受 加工时的异物附着、损伤等为目的的被加工件的表面保护方法。此外，本发明还提出被 加工件的临时固定方法，其特征在于，通过将该被加工件与基材粘合，将被加工件加工 后，将粘合部分浸渍于温水中，将上述保护膜取下，从而回收被加工件。
背景技术：
在金属板、模具、铝框、塑料板、半导体晶片、电路基板、陶瓷、玻璃、石英 等工学部件和传感器等电子、电气部件的加工，特别是切割、研削、研磨等精密加工等 时，为了防止对该被加工件的已加工面、电路、传感器部位等的损伤、异物附着，广泛 使用了暂时将部件保护的表面保护膜。作为该表面保护膜，主要使用了压敏粘合性片。例如，进行半导体晶片、光学部件等的薄型化时，采用所谓背面研削方法进行 加工。所谓背面研削方法，是用表面保护片保护晶片的电路面、光学部件的非加工面， 同时通过上述表面保护片将该等部件临时固定于基板，对与电路面相反侧的背面进行研 削的方法。但是，现在使用的压敏粘合性的表面保护片在对于半导体晶片的电路的凹凸的 追随性上存在极限。因此，由在晶片和表面保护层之间进入研削液等产生的污染常常成 为问题。此外，将半导体晶片切割(Dicing)时，对于典型的半导体表面保护片，不能追 随以凸点为代表的ΙΟΟμιη以上的突起，存在产生污染、碎屑飞散的问题。以往的表面保护片一般是在聚合物膜材料上具有粘接剂层作为表面保护层的 片，为了追随电路面的凹凸，将粘接剂设计为具有低弹性模量。但是，如果弹性模量过 低，将片从晶片剥离除去时对晶片施加大的应力，导致晶片的破损。因此，开发了将片剥离前通过照射紫外线等能量线而使粘接剂固化，使晶 片-保护片间的粘合力降低的能量线易剥离型保护片。但是，研削期间粘接剂层为未固 化的状态，存在因过于柔软，晶片在研削中破损的问题。专利文献1公开了如下的晶片研削方法将上述的能量线易剥离型保护片粘贴 于形成有电路的晶片，用能量线将粘接剂层固化后，进行晶片的背面研削。但是，由于 粘接剂不是流体，因此对于晶片电路面的凹凸的追随性不足。另一方面，专利文献2中，公开了热熔型的半导体表面保护片。通过加热到 60 100°C而熔融并显示流动性的热熔型片，能够追随电路面的凹凸，显示优异的研削 性。但是，该片存在温度每次超过熔点时均会熔融的性质。为了解决上述问题，本发明人提出了一种含有包含特定的(甲基)丙烯酸单体 的树脂的树脂组合物，该树脂组合物不仅对光学部件的电路面的凹凸具有充分的的追随 性，而且作为研削时的支持体也具有足够的刚性(参照专利文献3和4)。上述树脂组合物对于背面研削时的表面保护有效。但是，表面保护时，要求表面完全固化的树脂组合 物。这是因为，如果表面研削-切割时的表面保护时受到由氧引起的阻聚，有时表面不 能完全固化。另一方面，与表面保护片不同地，研究了在加工物表面涂布溶解于特定有机溶 剂的紫外线固化型粘合剂，使其紫外线固化而被覆，保护表面免受加工时的切削屑等的 方法。但是，由于使用有机溶剂，洗涤处理工序繁杂，作业环境方面存在问题，而且在 存在微细的凹凸时，有机溶剂不能充分浸透，不能完全将保护膜除去，因此产生了该被 加工物的外观上的问题。作为对于晶片、光学部件等的电路面的凹凸的追随性充分并且作为研削时的支 持体具有足够刚性的组合物，提出了以(甲基)丙烯酸单体和含有环戊二烯骨架的树脂为 成分的树脂组合物(参照专利文献5)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开平11-026406号公报 专利文献2 日本特开2000-038556号公报专利文献3 国际公开W02007/004620小册子专利文献4 国际公开W02006/100788小册子专利文献5 日本特开2007-186587号公报
发明内容
但是，上述专利文献5中，对于使用上述树脂组合物在被加工件的表面设置保 护膜，并且设置在80 150°C进行加热处理的加热工序没有记载。而且也没有记载设置 了加热工序时，即使进行切割在加工时保护膜也不脱落。本发明人为了解决上述问题进行了深入研究，结果发现在被加工件的表面设置 了由上述固化性组合物形成的保护膜后，进行保护膜的加热处理，然后进行被加工件的 加工，在加工时保护膜不脱落的情况下能够保护上述被加工件的表面，从而完成了本发 明。S卩，本发明涉及被加工件的表面保护方法，其特征在于在被加工件的表面设 置由固化性组合物形成的保护膜的被加工件的表面保护方法中，在被加工件的表面层合 保护膜后，经过对保护膜进行加热处理的工序，然后进行被加工件的加工。此外，本发明涉及被加工件的临时固定方法，其特征在于在被加工件的表面 设置由固化性组合物形成的保护膜，进行加热处理后，进行被加工件的加工，然后浸渍 于90°C以下的温水将由上述固化性组合物形成的保护膜从上述被加工件取下。具体地，本发明如下所述。本发明涉及在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的表面保护方法，其特征 在于，具有以下工序在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固 化体由含有下述(A)、(B)和(C)的固化性组合物形成；在层合工序后在80 150°C进 行加热处理的加热工序；以及在加热工序后对被加工件进行加工的加工工序。(A)多官能(甲基)丙烯酸酯
(B)单官能(甲基)丙烯酸酯
(C)光聚合引发剂
此外，涉及第1项所述的被加工件的表面保护方法，其中，上述保护膜含有(D) 具有环戊二烯骨架的树脂。
此外，涉及该被加工件的表面保护方法，其中，上述(D)具有环戊二烯骨架的 树脂在分子内含有酯基或羟基。
此外，涉及该被加工件的表面保护方法，其中，上述(A)多官能(甲基)丙烯酸 酯和上述(B)单官能(甲基)丙烯酸酯均为疏水性。
此外，涉及该被加工件的表面保护方法，其中，上述固化性组合物在(A)和 (B)的合计量100质量份中，含有5 50质量份(A)多官能(甲基)丙烯酸酯和50 95质量份(B)单官能(甲基)丙烯酸酯，相对于(A)和(B)的合计量100质量份，含有 0.1 20质量份(C)光聚合引发剂和0.1 50质量份(D)具有环戊二烯骨架的树脂。
此外，涉及在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的临时固定方法，其特征 在于，具有以下工序在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固 化体由含有下述(A)、(B)和(C)的固化性组合物形成；在层合工序后在80 150°C进 行加热处理的加热工序；在加热工序后进行被加工件的加工的加工工序；以及在加工工 序后将被加工件浸渍于90°C以下的温水中，将上述保护膜从上述被加工件取下的取下工 序。
(A)多官能(甲基)丙烯酸酯
(B)单官能(甲基)丙烯酸酯
(C)光聚合引发剂
本发明的被加工件的表面保护方法获得即使进行切割等加工，保护膜也不脱落 的效果，能够防止对被加工件的已加工面、电路、传感器部位等的损伤、异物附着。
具体实施方式
本发明涉及被加工件的表面保护方法，其特征在于在被加工件的表面设置由 固化性组合物形成的保护膜后，将保护膜在80 150°C进行加热处理，然后进行被加工 件的加工，从而防止加工时的保护膜的脱落。
从保持保护膜的剥离性的观点出发，加热处理的温度优选80 150°C，更优选 90 120°C。如果为80°C以上，能够获得加热处理产生的效果，如果为150°C以下，剥 离性良好。
本发明中作为保护膜使用的固化性组合物，在获得上述发明的效果方面，优选 含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)单官能(甲基)丙烯酸酯、(C)光聚合引发剂 和(D)含有环戊二烯骨架的树脂。
作为上述固化性组合物中使用的(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，可以使用具有2 个以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物/单体。例如，作为 多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物，可以列举1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲 基)丙烯酸酯(例如，日本曹达公司制、“TE-2000”、“TEA-1000”)、上述的氢化物 (例如，日本曹达公司制、“TEAI-1000”)、1，4-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有机化学公司制、“BAC-45”)、聚异戊二烯末端(甲基)丙烯酸 酯、聚氨酯丙烯酸酯(例如，日本合成公司制“UV-7000B”)、聚酯系氨基甲酸酯(甲 基)丙烯酸酯(例如，日本合成公司制、“UV-3000B”)、聚醚系氨基甲酸酯(甲基)丙 烯酸酯、聚酯(甲基)丙烯酸酯、双酚A型环氧(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有机化学 公司制、“Biscoat那40”、昭和高分子公司制、“BiscoatVR-77” )等。这些中，在剥 离性的效果大的方面，优选选自1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、聚氨 酯丙烯酸酯低聚物和聚酯系氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物中的1种或2种以上，更优选1， 2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯。
此外，作为2官能(甲基)丙烯酸酯单体，可以列举二(甲基)丙烯酸1，3-丁 二醇酯、二(甲基)丙烯酸1，4-丁二醇酯、二(甲基)丙烯酸1，6-己二醇酯、二(甲 基)丙烯酸1，9-壬二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸二环戊烷基 (dicyclopentanyl)酯、2-乙基-2-丁基-丙二醇(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羟甲 基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲 基)丙烯酸酯、2，2-双甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2，2-双甲 基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、2，2-双(甲基)丙烯酰氧基四乙氧基苯基)丙烷寸。
作为3官能(甲基)丙烯酸酯单体，可以列举三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸 酯、三[(甲基)丙烯酰氧基乙基]异氰脲酸酯等。
作为4官能以上的(甲基)丙烯酸酯单体，可以列举二羟甲基丙烷四(甲基)丙 烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四 醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
这些中，在剥离性的效果大的方面，优选二(甲基)丙烯酸二环戊烷基酯和/或 二(甲基)丙烯酸1，6-己二醇酯，更优选二(甲基)丙烯酸二环戊烷基酯。
在(A)多官能(甲基)丙烯酸酯中，在剥离性的效果大的方面，优选将具有2个 以上的(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物和2官能(甲基)丙 烯酸酯单体并用。具有2个以上的(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物 /聚合物和2官能(甲基)丙烯酸酯单体的混合比例(质量比)，在剥离性的效果大的方 面，优选30 100 70 0，更优选50 65 50 35。
本发明中使用的(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，更优选为疏水性。疏水性的情 况下，能够防止水溶性的情况下常常发生的现象，即加工时固化性组合物的固化体溶胀 而引起位置偏离，加工精度差的现象。其中，所谓疏水性的多官能(甲基)丙烯酸酯， 是指不具有羟基的(甲基)丙烯酸酯。例如，可以列举上述的多官能(甲基)丙烯酸酯 等。其中，优选选自1，2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙 烯酸1，6-己二醇酯和二(甲基)丙烯酸二环戊烷基酯中的1种或2种以上。即使是亲 水性，如果其固化性组合物的固化体不由于水而大幅度溶胀或一部分溶解，也可使用。
(A)多官能(甲基)丙烯酸酯的使用量，在(A)和后述的(B)单官能(甲基)丙 烯酸酯成分的合计量100质量份中，优选5 50质量份，更优选20 40质量份。如果 为5质量份以上，能够防止剥离性降低、或固化性组合物的固化体不成为膜状，如果为 50质量份以上，不会担心固化收缩变大，初期的粘合性降低。
作为上述固化性组合物中使用的(B)单官能(甲基)丙烯酸酯单体，可以列举 (甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、 (甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基) 丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸二环戊烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯基酯、 (甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、甲氧基化环癸三烯(甲基) 丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸 3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸 2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、ω-羧基-聚己内酯单(甲基)丙 烯酸酯、己内酯改性(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羟基丙酯、(甲 基)丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N-二乙基氨基乙酯、(甲基) 丙烯酸叔丁基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基羰基甲酯、苯酚环氧乙烷改性(甲基)丙 烯酸酯、苯酚(环氧乙烷2摩尔改性)(甲基)丙烯酸酯、苯酚(环氧乙烷4摩尔改性) (甲基)丙烯酸酯、对枯基苯酚环氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚环氧乙烷改性 (甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(环氧乙烷4摩尔改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(环 氧乙烷8摩尔改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(环氧丙烷2.5摩尔改性)(甲基)丙烯 酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性邻苯二甲酸(甲基)丙烯酸 酯、环氧乙烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸、甲基丙 烯酸、马来酸、富马酸、ω-羧基-聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸单羟基乙 基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二聚体、β -(甲基)丙烯酰氧基乙基氢化琥珀酸 酯、正_(甲基)丙烯酰氧基烷基六氢邻苯二甲酰亚胺、2-(1，2-环己烷二羧基酰亚胺) 乙基(甲基)丙烯酸酯等。
这些中，在剥离性的效果大的方面，优选选自2_(1，2-环己烷二羧基酰亚胺) 乙基(甲基)丙烯酸酯、苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸二 环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、ω-羧基-聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯和(甲 基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯中的1种或2种以上，更优选2_(1，2-环己烷二羧基 酰亚胺)乙基(甲基)丙烯酸酯和/或苯酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯。苯 酚环氧乙烷2摩尔改性(甲基)丙烯酸酯与2-(1，2-环己烷二羧基酰亚胺)乙基(甲基) 丙烯酸酯的混合比例(质量比)，在剥离性的效果大的方面，优选20 70 80 30， 更优选30 45 70 55。
(B)单官能(甲基)丙烯酸酯优选与(A)成分同样地为疏水性。
其中，所谓疏水性，是指不具有羟基的(甲基)丙烯酸酯。疏水性的情况下， 能够防止水溶性的情况下常常发生的现象，即加工时固化性组合物的固化体溶胀而引起 位置偏离，加工精度差的现象。即使是亲水性，如果其固化性组合物的固化体不由于水 而大幅度溶胀或一部分溶解，也可使用。
(B)单官能(甲基)丙烯酸酯的使用量，在(A)成分和(B)成分的合计量100质 量份中，优选50 95质量份，更优选60 80质量份。如果为50质量份以上，不会担 心初期的粘合性降低，如果为95质量份以下，剥离性不会降低，能够以膜状得到固化性 组合物的固化体。
此外，上述 组成的(A)成分和(B)成分中，通过进一步并用(甲基)丙烯酰氧 乙基酸式磷酸酯、二丁基2-(甲基)丙烯酰氧乙基酸式磷酸酯、二辛基2-(甲基)丙烯酰 氧乙基磷酸酯、二苯基2-(甲基)丙烯酰氧乙基磷酸酯、(甲基)丙烯酰氧乙基聚乙二醇 酸式磷酸酯等具有乙烯基或(甲基)丙烯酰基的磷酸酯，能够使与金属面的密合性进一步 提尚。上述固化性组合物中使用的(C)光聚合引发剂用于利用可见光线、紫外线的活 性光线使其增感而促进固化性组合物的光固化，可以使用公知的各种光聚合引发剂。具 体地，可以列举二苯甲酮及其衍生物、苯偶酰及其衍生物、蒽醌及其衍生物、苯偶姻、 苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶酰二甲基缩酮等苯偶姻衍 生物、二乙氧基苯乙酮、4-叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物、苯甲酸2-二甲基氨基乙 酯、苯甲酸对-二甲基氨基乙酯、二苯基二硫醚、噻吨酮及其衍生物、樟脑醌、7，7-二 甲基-2，3-二氧代双环[2.2.1]庚烷-1-羧酸、7，7-二甲基-2，3-二氧代双环[2.2.1] 庚烷-1-羧基-2-溴乙酯、7，7-二甲基-2，3-二氧代双环[2.2.1]庚烷-1-羧基-2-甲 酯、7，7-二甲基-2，3-二氧代双环[2.2.1]庚烷-1-羧酰氯等樟脑醌衍生物、2-甲 基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代 苯基)-丁酮-1等α-氨基烷基苯酮衍生物、苯甲酰基二苯基氧化膦、2，4，6-三甲基苯 甲酰基二苯基氧化膦、苯甲酰基二乙氧基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基二甲氧基苯 基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基二乙氧基苯基氧化膦等酰基氧化膦衍生物等。(C) 光聚合引发剂可以使用其中的1种或者将2种以上组合使用。(C)光聚合引发剂的使用量，相对于(A)成分和(B)成分的合计量100质量份， 优选0.1 20质量份，更优选3 10质量份。如果为0.1质量份以上，能可靠地获得促 进固化的效果，如果为20质量份以下，能够实现充分的固化速度。作为更优选的形态， 通过使用3质量份以上的(C)成分，能够不依赖于光照射量而固化。本发明中使用的(D)具有环戊二烯骨架的树脂，只要是具有环戊二烯骨架的树 月旨，可以是任何树脂，但软化点优选50 200°C，在(A)成分、(B)成分中的溶解性方 面，更优选数均分子量(Mn)为300 600的树脂。软化点的测定按照JIS K 2207环球 式。数均分子量的测定按照GPC (凝胶渗透色谱法)聚苯乙烯换算值。作为(D)，可以 列举以从C5馏分中提取的环戊二烯为主原料制造的石油树脂，具体地，可以列举日本瑞 翁公司制的 “Quintone 1700”、“Quintone 1500”、“Quintone 1325” 等。其中，在粘 合性方面，优选含有羟基。作为含有羟基的树脂，可以列举“QUintOne 1700”等。(D)具有环戊二烯骨架的树脂的使用量，相对于(A)成分和(B)成分的合计量 100质量份，优选0.5 50质量份，更优选5 30质量份。如果为0.5质量份以上，不 会没有形成膜而以糊的形式残留，如果为50质量份以下，粘合性不会降低。本发明的固化性组合物，为了提高其贮藏稳定性，可以使用少量的阻聚剂。例 如，作为阻聚剂，可以列举甲基氢醌、氢醌、2，2-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基苯 酚)、儿茶酚、氢醌单甲醚、单叔丁基氢醌、2，5-二叔丁基氢醌、对苯醌、2，5-二苯 基-对-苯醌、2，5-二叔丁基-对苯醌、苦味酸、柠檬酸、吩噻嗪、叔丁基儿茶酚、 2- 丁基-4-羟基茴香醚和2，6- 二叔丁基-对-甲酚等。这些中，优选选自2，2-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、氢醌单甲醚和对苯醌中的1种或2种以上，更优选2，2-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)。这些阻聚剂的使用量，相对于(A)成分和(B)成分的合计量100质量份，优选 0.001 3质量份，更优选0.01 2质量份。如果为0.001质量份以上，贮存稳定性充 分，如果为3质量份以下，能够获得可靠的粘合性，不必担心未固化。 本发明中使用的固化性组合物，在不损害本发明的目的的范围内，可以使用一 般使用的丙烯酸橡胶、聚氨酯橡胶、丙烯腈_ 丁二烯_苯乙烯橡胶等各种弹性体，无机填 料、溶剂、增量材料、增强材料、增塑剂、增粘剂、染料、颜料、阻燃剂、硅烷偶联剂 和表面活性剂等添加剂。本发明涉及被加工件的表面保护方法，其特征在于，在被加工件的表面设置由 上述固化性组合物形成的保护膜，对保护膜进行加热处理后，进行被加工件的加工，从 而防止加工时的保护膜的脱落，保护被加工件的表面。作为在被加工件的表面层合保护膜的层合工序，优选在被加工件的表面涂布厚 20 200 μ m、优选50 150 μ m的固化性组合物而设置保护膜，在波长365nm、累积光 量1000 4000mJ/cm2、优选1500 3000mJ/cm2的条件下固化的工序。作为层合工序后进行加热处理的加热工序，优选如下工序在80 150°C、优 选80 120°C下将保护膜加热处理5 30分钟。作为加热工序后加工被加工件的加工工序，优选如下工序在转数5000 40000rpm> 优选 10000 35000rpm、输送速度 0.2 50mm/sec、优选 0.5 30mm/sec、 切片尺寸0.5 15mm见方的条件下进行切割。此外，本发明涉及被加工件的临时固定方法，其特征在于，在被加工件的表面 设置由固化性组合物形成的保护膜，进行加热处理后，进行被加工件的加工，然后，具 有浸渍于70 90°C以下的温水、优选75 85°C的温水中，从上述被加工件取下由上述 固化性组合物形成的保护膜的取下工序。将上述固化性组合物的固化体取下时，由于能以膜状从部件回收，因此获得作 业性优异的效果。再有，对于固化体与温水接触的方法，连同被加工件一起浸渍于温水 中的方法简便，因此推荐。实施例以下列举实施例对本发明更详细地说明，但本发明并不受实施例限定而解释。再有，实验例I-I 1-15为本发明的实施例，实验例II-I II-5为比较例。(实验例1-1)在由作为(A)多官能(甲基)丙烯酸酯的日本曹达公司制、“TE-2000”(1， 2-聚丁二烯末端氨基甲酸酯甲基丙烯酸酯、以下简写为“TE-2000”)20质量份，二丙烯 酸二环戊烷基酯(日本化药公司制、“KAYARADR-684”以下简称为“R-684”)15质 量份，作为(B)单官能(甲基)丙烯酸酯的2-(1，2-环己烷二羧基酰亚胺)乙基丙烯酸酯 (东亚合成公司制、“AronixM-140”、以下简称“M-140”)40质量份和苯酚环氧乙烷2 摩尔改性丙烯酸酯(东亚合成公司制、“AronixM-lOlA”、以下简称为“M-101A”)25 质量份组成的组合物的100质量份中，配合作为(C)光聚合引发剂的2-甲基-1-[4-(甲 硫基)苯基]-2_吗啉代丙烷-1-酮(汽巴精化公司制、“IRGACURE907”、以下简称
“1-907”)6质量份，作为(D)含有环戊二烯骨架的树脂的环戊二烯骨架树脂(日本瑞翁公司制、“QUintOne 1700”、含有羟基、软化点为100°C、数均分子量为380。以下简称 为“Quintone 1700” ) 10质量份，作为阻聚剂的2，2-亚甲基-双(4-甲基-6-叔丁基苯 酚)(以下简称为“MDP”)0.1质量份，制作固化性组合物。使用得到的固化性组合物， 采用以下所示的评价方法进行拉伸剪切粘合强度的测定、密合性试验和剥离试验。将结 果示于表1。(评 价方法)粘合强度(拉伸剪切粘合强度)粘合强度(拉伸剪切粘合强度)按照JIS K 6850测定。具体地，使用耐热 Pyrex(注册商标)玻璃(25mmX25mmX2.0mm(纵X横X厚))作为被粘合材料。粘 合部位为直径8mm的圆形，以厚度100 μ m用制作的固化性组合物将2片耐热Pyrex (注 册商标)玻璃贴合，通过使用了无电极放电灯的FUSION公司制固化装置，在365nm的 波长的累积光量2000mJ/Cm2的条件下使其固化，制作拉伸剪切粘合强度试验片。对于制 作的试验片，使用万能试验机，在温度23°C、湿度50%的环境下以拉伸速度lOmm/min 测定拉伸剪切粘合强度。切割后的保护膜的保持状况(密合性试验)在温度23°C、湿度50%的环境下进行了密合性的试验。在硅片上将固化性组 合物涂布为厚100 μ m，通过使用了无电极放电灯的FUSION公司制固化装置，在365nm 的波长的累积光量2000mJ/Cm2的条件下使固化性组合物固化，制作保护膜。然后，在 100°C下对保护膜加热处理10分钟后，在转数30000rpm、输送速度l.Omm/sec、切片尺寸 Imm见方的条件下进行切割，观察切割后是否保持着保护膜。计测25片切片中保持着 保护膜的切片的片数。80°C温水剥离时间(剥离试验)对于在上述切割后仍保持着保护膜的试验体，浸渍于温水(80°C )中后，测定直 至保护膜从硅片剥离的时间。剥离状态的观察(剥离试验)在采用上述80°C温水的剥离时间(剥离试验)的试验后，观察剥离的保护膜。[表1]- - ^^ " - ^^ - t I_^^_
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权利要求
1.在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的表面保护方法，其特征在于，具有以 下工序在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固化体由含有下 述(A)、(B)和(C)的固化性组合物形成；在层合工序后在80 150°C进行加热处理的 加热工序；以及在加热工序后对被加工件进行加工的加工工序，(A)多官能(甲基)丙烯酸酯(B)单官能(甲基)丙烯酸酯(C)光聚合引发剂。
2.根据权利要求1所述的被加工件的表面保护方法，其中，所述保护膜含有(D)具有 环戊二烯骨架的树脂。
3.根据权利要求2所述的被加工件的表面保护方法，其中，所述(D)具有环戊二烯骨 架的树脂在分子内含有酯基或羟基。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的被加工件的表面保护方法，其中，所述(A)多 官能(甲基)丙烯酸酯和所述(B)单官能(甲基)丙烯酸酯均为疏水性。
5.根据权利要求2 4中任一项所述的被加工件的表面保护方法，其中，所述固化性 组合物在(A)和(B)的合计量100质量份中，含有5 50质量份(A)多官能(甲基)丙 烯酸酯和50 95质量份⑶单官能(甲基)丙烯酸酯，相对于㈧和⑶的合计量100 质量份，含有0.1 20质量份(C)光聚合引发剂和0.1 50质量份(D)具有环戊二烯骨 架的树脂。
6.在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的临时固定方法，其特征在于，具有以 下工序在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固化体由含有下 述(A)、(B)和(C)的固化性组合物形成；在层合工序后在80 150°C进行加热处理的 加热工序；在加热工序后进行被加工件的加工的加工工序；以及在加工工序后将被加工 件浸渍于90°C以下的温水中，将所述保护膜从所述被加工件取下的取下工序，(A)多官能(甲基)丙烯酸酯(B)单官能(甲基)丙烯酸酯(C)光聚合引发剂。
全文摘要
本发明提供即使进行切割等加工，保护膜也不脱落的表面保护方法。在被加工件的表面层合保护膜的被加工件的表面保护方法，其特征在于，具有以下工序在被加工件的表面层合由固化体构成的保护膜的层合工序，该固化体由含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)单官能(甲基)丙烯酸酯和(C)光聚合引发剂的固化性组合物形成；在层合工序后在80～150℃进行加热处理的加热工序；以及加热工序后对被加工件进行加工的加工工序。此外，上述保护膜优选含有(D)具有环戊二烯骨架的树脂。
文档编号H01L21/304GK102026807SQ20098011714
公开日2011年4月20日 申请日期2009年5月11日 优先权日2008年5月12日
发明者中岛刚介, 南云贵之, 大岛和宏 申请人:电气化学工业株式会社