专利名称：真空动力传送装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种对动力进行传送的传送装置，尤其涉及一种对有机发光二极 管生产线上真空腔室内的用来传送基片的真空动力传送装置。
背景技术：
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。例如，在真空环境要求极高的数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生 产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品 中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(OrganicLight-Emitting Diode)，又称为有机电 激光显示(Organic ElectroluminesenceDisplay,0ELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此 在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的 应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-IXD相提并论的技术，且 是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术；但OLED显 示屏幕与传统的TFT-LCD显示屏幕并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和 玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏幕可以做得更轻更 薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏幕的所有设备必须要 保证OLED显示屏幕的精度要求。因此，作为有机发光二极管OLED原材料的质量和精度，传 输过程中传动机构的自动化程度，清洁度，以及低噪音尤为重要。现有的一种用于对真空腔室内的用来制造有机发光二极管OLED的基片传动机 构中，外界动力输出轴与传动轴相连，传动轴与齿轮传动装置相连，齿轮传动装置上承载有 待传送的基片，传动轴可以从外界动力输出轴获取旋转力，即当马达等驱动设备开动时，该 传动轴就可以带动齿轮传动装置旋转。上述传送方式由于大都采用齿轮相互啮合的直接接 触的传动方式，传动的过程中容易造成机械磨损，导致传动能耗；同时，由于传动中的各运 动组件，例如齿轮与传动轴、齿轮与齿轮等之间的接触，容易使传动机构各运动组件之间因 为摩擦而粒化，产生粉尘进入到容置有基片的真空腔室内，影响了真空腔室内及基片的清 洁度，并且传动过程中产生了较大的噪声；另外，各运动组件之间的摩擦也将严重影响传动 机构使用寿命。因此，急需一种传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长的适用于在真空腔室 内传送基片的真空动力传送装置来克服上述缺陷。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长适用 于在真空腔室内传送基片的真空动力传送装置。为实现上述目的，本实用新型提供一种真空动力传送装置，适用于在真空腔室内
3传送基片，其中，所述真空动力传送装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁 力主动轮与若干磁力从动轮，所述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入 所述真空腔室内，所述磁力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上， 所述联动轴的两端分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述主动轮，所述磁力 从动轮固定安装于所述联动轴上，且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮，所述 磁力从动轮上承载有基片，所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外，且所述驱动机构的 动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室的一端连接，所述驱动机构驱动所述传动轴 旋转以带动所述磁力主动轮旋转，所述磁力主动轮带动所述磁力从动轮及联动轴旋转以传 送基片。较佳地，所述真空腔室的体壁上固定装设有轴承座，所述传动轴穿过所述轴承座 并伸入所述真空腔室内。所述轴承座将所述传动轴固定于所述真空腔室的体壁上，并引导 所述传动轴伸入所述真空腔室内，从而为所述传动轴提供稳定的旋转工作环境。较佳地，所述传动轴的表面上旋转密封有一星型密封圈，且所述星型密封圈装设 于所述轴承座内。所述星型密封圈旋转密封在所述传动轴的外表面且置于所述轴承座内， 从而不仅可有效防止空气通过所述传动轴进入到真空腔室内，以保证所述真空腔室内的真 空度，还可有效防止所述传动轴在旋转过程中，外界细小的灰尘颗粒等进入所述真空腔室 内，以保持所述真空腔室内的高清洁度，防止被传送的基片沾染到灰尘等影响其精度的杂 物。较佳地，所述轴承座内固定装设有一滚珠轴承，所述传动轴穿过所述滚珠轴承并 伸入所述真空腔室内。所述滚珠轴承提高了所述传动轴工作的稳定性同时也减小了所述 传动轴与所述轴承座两者之间的磨擦损坏作用，从而提高所述真空动力传送装置的使用寿 命。较佳地，所述滚珠轴承邻近所述主动轮的一端面上设有一轴承内挡圈，且所述轴 承内挡圈环绕所述传动轴。所述轴承内挡圈不仅加强了所述传动轴与所述滚珠轴承之间的 密封作用以防止外界空气或灰尘进入所述真空腔室内，而且可有效防止所述滚珠轴承相对 所述传动轴发生上下滑动以确保所述传动轴稳定地工作。较佳地，所述真空动力传送装置还包括0型密封圈，所述0型密封圈分别密封连接 所述轴承座与所述真空腔室的体壁。通过所述0型密封圈的密封作用可以防止外界空气或 灰尘通过所述轴承座与所述体壁之间的可能有的缝隙进入所述真空腔室内，以确保所述真 空腔室内的真空度与清洁度。较佳地，所述真空动力传送装置还包括联轴器，所述联轴器的两端分别连接所述 传动轴与所述驱动机构的动力输出端。所述联轴器可使所述传动轴与所述驱动机构的动力 输出端之间的连接更稳定可靠，从而使所述驱动机构输出的动力能最大限度地传递到所述 传动轴上以减少传动能耗。较佳地，所述驱动机构为伺服电机，且所述伺服电机的输出轴与所述联轴器连接。与现有技术相比，由于本实用新型真空动力传送装置中用于提供动力的磁力主动 轮和用于传送基片的磁力从动轮及带动多个磁力从动轮旋转的联动轴均容置于所述真空 腔室内，从而使得所述基片的整个传送过程均在所述真空腔室内进行，所述真空腔室内的 真空与高度清洁的环境确保了被传送基片的精度要求；由于所述磁力主动轮与磁力从动轮均具有磁性，故可通过相邻相互磁场作用使所述磁力主动轮在所述驱动机构与传动轴的驱 动下旋转并以非接触方式带动所述磁力从动轮旋转，这种非接触的传动方式，有效的避免 了真空腔室内因主动轮与从动轮通过摩擦或啮合的直接接触而使器件磨损产生粉末及发 出较大噪音的情况，从而大大的提高了真空腔室内的洁净度，避免了主动轮与从动轮之间 的磨损提高了器件使用寿命也减少了传动能耗，而且整个传送过程在无噪音环境下进行， 静化了工作环境有利于工作人员的身心健康；另外所述驱动机构安装于所述真空腔室之 外，从而所述驱动机构工作过程中的振动作用不会影响所述真空腔室内的传送操作，使所 述真空腔室内的传送操作可平稳地进行。综上所述，由于本实用新型真空动力传送装置传 动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长，因此适用于为真空环境行业中生产线上作业的 机构提供动力，尤其是为有机发光二极管生产线上真空腔室内的基片传送机构提供动力。通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型真空动力传送装置的内部结构示意图。图2为图1所示A部分的放大图。
具体实施 方式现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，本实用新型提供了一种传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长适用于在 真空腔室内传送基片的真空动力传送装置。参考图1与图2，如图所示，本实用新型真空动力传送装置包括驱动机构100、传动 轴200及分别容置于真空腔室300内的磁力主动轮310、联动轴330及多个磁力从动轮320 ； 所述驱动机构100固定安装于所述真空腔室300之外且与所述传动轴200的一端连接；所 述传动轴200的另一端枢接地穿过所述真空腔室300的体壁301并伸入所述真空腔室300 内；所述磁力主动轮310具有磁性且固定安装在所述传动轴200伸入所述真空腔室300内 的一端上，所述联动轴330枢接于所述真空腔室300的相对体壁(图未示)上；所述磁力从 动轮320具有磁性且均固定安装于所述联动轴330上。具体地所述驱动机构100包括固定座110及伺服电机120，所述固定座110用于 固定所述伺服电机120以防止所述伺服电机120在工作过程中发生移动，所述伺服电机120 上还包括用来传递输出动力的输出轴121。所述传动轴200的一端通过联轴器210与所述 伺服电机120的输出轴121连接，从而使所述传动轴200可在所述伺服电机120的驱动作 用下与所述输出轴121 —起旋转；所述传动轴200的另一端枢接地穿过所述真空腔室300 的体壁301而伸入所述真空腔室300内，且所述传动轴200伸入所述真空腔室300内的一 端上还开设有螺纹孔(图未示)。相应地，所述磁力主动轮310上也开设有螺纹孔(图未 示)，第一螺钉311穿过所述磁力主动轮310上的螺纹孔并钉入所述传动轴200上的螺纹孔 内，从而将所述磁力主动轮310固定安装于所述传动轴200上。所述联动轴330的两端分 别枢接于所述真空腔室300的相对两体壁(图未示)上并邻近所述磁力主动轮310 ；所述 磁力从动轮320以一定的间距依次固定安装于所述联动轴330上，且至少一个所述磁力从动轮320靠近(并不接触)所述磁力主动轮310从而使两者处于相互作用的磁场范围内， 以使得通过磁力作用所述磁力主动轮310以非接触方式驱动所述磁力从动轮320旋转，所 述磁力从动轮320带动所述联动轴330及其它固定于所述联动轴330上的磁力从动轮一起 按同一方向旋转，这种非接触式的驱动方式有效的避免了真空腔室300内因主动轮与从 动轮通过摩擦或啮合的直接接触而使器件磨损产生粉末及发出较大噪音的情况，从而大大 的提高了真空腔室300内的洁净度，避免了主动轮与从动轮之间的磨损，提高了整个传动 机构的使用寿命也减少了传动能耗。所述真空腔室300的体壁301上装设有轴承座340，所 述轴承座340通过第二螺钉343而固定于所述体壁301上，所述传动轴200的一端枢接地 穿过所述轴承座340，从而所述轴承座340将所述传动轴200固定于所述真空腔室300的体 壁301上，并引导所述传动轴200伸入所述真空腔室300内。较佳地，所述传动轴200穿过所述轴承座340的部分表面上环绕装设有星型密封 圈220，且所述星型密封圈220设于所述轴承座340内，从而所述星型密封圈220不仅可有 效防止空气通过所述传动轴200进入到真空腔室300内，以保证所述真空腔室300内的真 空度，还可有效防止所述传动轴200在旋转过程中外界细小的灰尘颗粒等进入所述真空腔 室300内，以保持所述真空腔室300内的高清洁度，防止被传送的基片沾染上灰尘而影响其 精度。较佳地，所述轴承座340内环绕所述传动轴200固定装设有滚珠轴承341，且在所 述传动轴200穿出所述滚珠轴承341的一端面上环绕所述传动轴200装设有轴承内挡圈 342。所述滚珠轴承341不仅提高了所述传动轴200工作的稳定性同时也减小了所述传动 轴200与所述轴承座340两者之间的磨擦损坏，从而提高两者的使用寿命；另外在所述滚珠 轴承341 —端面上紧密地环绕所述传动轴200而装设有所述轴承内挡圈342，不仅加强了所 述传动轴200与所述滚珠轴承341之间的密封作用以防止外界空气或灰尘进入所述真空腔 室300内，而且可有效防止所述滚珠轴承341相对所述传动轴200发生上下滑动以确保所 述传动轴200稳定地工作。较佳地，所述轴承座340与所述真空腔室300的体壁301之间密封连接有0型密 封圈302，通过所述0型密封圈302的密封作用可以防止外界空气或灰尘通过所述轴承座 340与所述体壁301之间可能有的缝隙进入所述真空腔室300内，以确保所述真空腔室300 内的真空度与清洁度。下面结合图1与图2描述本实用新型真空动力传送装置的工作原理启动所述伺服电机120并通过所述输出轴121输出动力，所述联轴器210将所述 输出轴121与所述传动轴200连接起来，从而使所述输出轴121上的动力传递到所述传动 轴200上，也即是所述传动轴200通过所述联轴器210将与所述输出轴121 —起旋转，所述 传动轴200旋转从而带动所述真空腔室300内的磁力主动轮310向图1中箭头a所示的方 向旋转，通过磁力作用所述磁力主动轮310以非接触方式驱动距其最近的所述磁力从动轮 320向图1中箭头b的方向旋转，该磁力从动轮320同时带动所述联动轴330旋转从而带动 固定在所述联动轴330上的其它磁力从动轮按同一方向旋转以实现对所述磁力从动轮上 的基片的传送目的；另外，本实用新型所述伺服电机120安装于所述真空腔室300之外，从 而所述伺服电机120工作过程中的振动作用不会影响所述真空腔室300内的传送操作，使 所述真空腔室300内的传送操作可平稳地进行。[0027] 以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，其特征在于，包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，所述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入所述真空腔室内，所述磁力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上，所述联动轴的两端分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮固定安装于所述联动轴上，且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮上承载有基片，所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外，且所述驱动机构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室外的一端连接，所述驱动机构驱动所述传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转，所述磁力主动轮带动所述磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。
2.如权利要求1所述的真空动力传送装置，其特征在于，所述真空腔室的体壁上固定 装设有轴承座，所述传动轴穿过所述轴承座并伸入所述真空腔室内。
3.如权利要求2所述的真空动力传送装置，其特征在于，所述传动轴的表面上旋转密 封有一星型密封圈，且所述星型密封圈装设于所述轴承座内。
4.如权利要求2所述的真空动力传送装置，其特征在于，所述轴承座内固定装设有一 滚珠轴承，所述传动轴穿过所述滚珠轴承并伸入所述真空腔室内。
5.如权利要求4所述的真空动力传送装置，其特征在于，所述滚珠轴承邻近所述主动 轮的一端面上设有一轴承内挡圈，且所述轴承内挡圈环绕所述传动轴。
6.如权利要求2所述的真空动力传送装置，其特征在于，还包括O型密封圈，所述O型 密封圈分别密封连接所述轴承座与所述真空腔室的体壁。
7.如权利要求1所述的真空动力传送装置，其特征在于，还包括联轴器，所述联轴器的 两端分别连接所述传动轴与所述驱动机构的动力输出端。
8.如权利要求7所述的真空动力传送装置，其特征在于，所述驱动机构为伺服电机，且 所述伺服电机的输出轴与所述联轴器连接。
专利摘要本实用新型公开了一种真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，该装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，传动轴的一端枢接地穿过真空腔室的一体壁并伸入真空腔室内，磁力主动轮固定安装于传动轴伸入真空腔室内的一端上，联动轴的两端分别枢接于真空腔室的相对两体壁上并邻近主动轮，磁力从动轮固定安装于联动轴上，且至少一个磁力从动轮邻近磁力主动轮，磁力从动轮上承载有基片，驱动机构固定安装于真空腔室外，且驱动机构的动力输出端与传动轴的一端连接，驱动机构驱动传动轴旋转以带动磁力主动轮旋转，并带动磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。本实用新型真空动力传送装置传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长。
文档编号H01L51/56GK201732774SQ201020188770
公开日2011年2月2日 申请日期2010年5月6日 优先权日2010年5月6日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 王银果, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司