板材的搬运装置及板材的搬运方法
板材的搬运装置及板材的搬运方法
【专利摘要】本发明提供专用面积小且板材不容易破损的板材的搬运装置。根据本发明的板材的搬运装置（100）具备具有搬运部（20）和加压部（40）的送出装置（10）。搬运部（20）具有与纵向配置的板材（101）的一侧的表面（103）接触并向搬运方向送出板材（101）的带（21）。加压部（40）形成为对纵向配置的板材（101）的另一侧的表面（102）施加通过流体（104）产生的垂直方向的压力，从而能够对板材（101）朝着带（21）加压的结构。而且，形成为能够通过搬运部（20）的带（21）和加压部（40）的流体（104）夹持并保持纵向配置的板材（101）的同时进行搬运的结构。
【专利说明】板材的搬运装置及板材的搬运方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及板材的搬运装置及板材的搬运方法。
【背景技术】
[0002]板材的搬运装置根据搬运的板材的特性构成。例如，在TFT (薄膜晶体管)的液晶显示器中使用的板状玻璃(板材)的加工生产线中，需要在不接触一方侧的表面的情况下能够搬运板状玻璃的搬运装置。其原因是，液晶显示器用的板状玻璃在一方侧的表面形成有半导体等的薄膜层，因此在该表面上连细微的损伤也不允许。以下，将像这样精密加工的表面称为“精密表面”。
[0003]作为在不接触精密表面的情况下搬运板状玻璃的搬运装置，使设置在台车上的吸盘吸附与精密表面相反的表面(以下称为“普通表面”)，并且在该状态下向搬运方向移动台车的搬运装置被实用化。然而，该搬运装置在搬运板状玻璃时需要使台车返回到初始位置，因此难以高效率的运用。相对于此，也提出了以普通表面朝下的状态，即，使板状玻璃以横向配置的状态放置在带式输送机上并搬运的装置、和将板状玻璃以竖立的状态放置在带式输送机上并搬运的装置(例如参照专利文献I)。
[0004]现有技术文献:
专利文献:
专利文献1:日本特开2002-308423号公报。
【发明内容】
[0005]发明要解决的问题:
然而，横向配置并搬运板状玻璃的装置存在不得不根据板状玻璃的大小而确保宽阔的设置空间的缺点。又，使板状玻璃以竖立的状态放置在带式输送机上的装置存在板状玻璃的下端缘与带式输送机接触，而从此处开始产生裂痕的担忧。
[0006]因此，本发明的目的是提供专用面积小、且板材不易破损的板材的搬运装置。
[0007]解决问题的手段:
根据本发明的一种形态的板材的搬运装置具备具有搬运部和加压部的送出装置。所述搬运部具有与纵向配置的板材的一侧的表面接触并向搬运方向送出所述板材的带。所述加压部形成为对纵向配置的所述板材的另一侧的表面施加通过流体产生的垂直方向的压力，从而能够对所述板材朝着所述带加压的结构。而且，形成为能够通过所述搬运部的所述带和所述加压部的所述流体夹持并保持纵向配置的所述板材的同时进行搬运的结构。
[0008]根据上述结构，通过使加压部对纵向配置的板材朝着带加压，以此在加压部和搬运部之间夹持并保持该板材，因此能够在无需另外支持其下端的情况下并且使所述板材以悬浮的状态进行搬运。
[0009]发明效果:
如以上所述，根据本发明的板材的搬运装置由于能够将板材以纵向配置的状态进行搬运，因此可以减小该装置的专用面积，谋求省空间化。又，板状玻璃在其下端部未被带式输送机等支持的情况下进行搬运，因此不容易破损。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是根据本发明的第一实施形态的搬运装置的俯视图；
图2是图1的I1-1I向视剖视图；
图3是图1的II1-1II向视剖视图；
图4是根据本发明的第二实施形态的搬运装置的俯视图；
图5是图4的V-V向视剖视图；
图6是根据本发明的第三实施形态的搬运装置的纵向剖视图；
图7是根据第三实施形态的变形例I的搬运装置的纵向剖视图；
图8是根据第三实施形态的变形例2的搬运装置的纵向剖视图；
图9是根据第三实施形态的变形例3的搬运装置的纵向剖视图；
图10是根据第三实施形态的变形例4的搬运装置的纵向剖视图。
【具体实施方式】
[0011]以下，参照【专利附图】
【附图说明】根据本发明的实施形态。以下，在所有附图中对于相同或相当的要素标以相同的符号，并且省略重复的说明。另外，在以下说明的板材的搬运装置搬运具有精密表面和普通表面的板状玻璃(板材)。在这里所说的“精密表面”是实施精密加工的表面，比“普通表面”要求较高的清洁度。
[0012](第一实施形态)
首先，参照图1至图3说明根据本发明的第一实施形态的搬运装置100。在这里，图1是根据本实施形态的搬运装置100的俯视图。在图1中，从纸面的右侧朝着左侧的方向为板状玻璃101的搬运方向(以下，简称“搬运方向”)。在搬运装置100中，从相当于图1的纸面右侧的上游侧供给纵向配置的状态的板状玻璃101。如图1所示，根据本实施形态的搬运装置100具备送出装置10。此外，送出装置10主要由搬运部20和加压部40构成。
[0013]搬运部20是将板状玻璃101向搬运方向送出的装置。在图1中，在比板状玻璃101靠近纸面下侧的位置处图示的部分为搬运部20。在这里，图2是图1的I1-1I向视剖视图。在图2中，纸面上方为搬运装置100的上方，从纸面背面朝向正面的方向为搬运方向。如图1及图2所示，搬运部20具有环形带21、带支承构件22、下端引导构件23和上端引导构件24。
[0014]环形带21是形成为环状的带。环形带21通过位于搬运方向的前后的两台驱动滑轮25驱动。该环形带21形成为与板状玻璃101的普通表面103接触的结构，在与板状玻璃101接触的状态下使驱动滑轮25旋转驱动，以此可以将板状玻璃101向搬运方向送出。另外，根据本实施形态的环形带21主要由橡胶制成的橡胶带部26、和金属制成的金属带27构成，具有两层结构。橡胶带部26和金属带部27相互连接并作为一体地形成环形带21。
[0015]橡胶带部26位于环形带21的外表面侧上，与板状玻璃101接触。另一方面，金属带部27位于环形带21的内表面侧，并且与驱动滑轮25接触。金属带部27如图2所示，带宽度(上下方向尺寸)稍微大于橡胶带部26，下端及上端分别位于比橡胶带部26的下端及上端靠近上下方向外侧的位置上。金属带部27的刚性高，可发挥抑制环形带21因自重而弯曲的作用。
[0016]在橡胶带部26的外表面上，在环状的环形带21的周方向上隔着规定的间隔形成有多个从该带宽度方向的上端至下端在上下方向上延伸的流体排出槽28。另外，在这里所指的“周方向”是指环形带21的延伸方向，换句话是指环形带21的行进方向。流体排出槽28除了垂直地形成以外，还可以相对于垂直方向倾斜地形成。借助于此，即使在板状玻璃101和橡胶带部26之间流入有水和清洗液等的液体的情况下，也可通过该流体排出槽28向下方排出。借助于此，可以防止液体积留在环形带21和板状玻璃101之间，而且可以防止相对于环形带21的板状玻璃101滑动。另外，在本实施形态中，为了防止从下述的加压部40放出的水附着在普通表面103的一部分上而残留水迹，水被供给至板状玻璃101的普通表面103侧。
[0017]带支承构件22是支持环形带21的构件。带支承构件22具有在搬运方向上延伸的板状的形状。带支承构件22位于环形带21的内侧，与板状玻璃101通过的搬运路径平行地配置。换言之，带支承构件22隔着环形带21与板状玻璃101的搬运路径相对置地配置。又，带支承构件22具有与环形带21接触的平面状的带支承面29，环形带21在该带支承面29的表面上滑动。像这样，根据本实施形态的带支承构件22，由于通过平面状的带支承面29支持环形带21，因此可以抑制在例如通过辊等支承的情况等下发生的环形带21向着与带表面垂直的方向起伏的现象的发生。因此，可以稳定地搬运板状玻璃101。
[0018]下端引导构件23是从下方支持环形带21的构件。下端引导构件23如图2所示为将向搬运方向直行的方向作为旋转轴的方向进行旋转的辊。沿着板状玻璃101的搬运路径在其近旁配置多个下端引导构件23。而且，下端引导构件23位于环形带21的下方，支持金属带27的下端。这样，下端引导构件23通过刚性高的金属带部27支持整个环形带21，防止环形带21因自重弯曲。另外，在本实施形态中下端引导构件23为辊，但是下端引导构件23并不限于这样的结构。例如，下端引导构件23也可以是取代辊而在搬运方向上延伸的板状的构件。在该情况下，在下端引导构件23的上表面支持金属带部27的同时使其滑动，则可以支持环形带21。
[0019]上端引导构件24是抑制环形带21向上方的位移的构件。上端引导构件24如图2所示为将与搬运方向正交的方向作为旋转轴的方向进行旋转的辊。上端引导构件24与下端引导构件23成对地在板状玻璃101的搬运路径的近旁配置有多个。而且，上端引导构件24位于环形带21的上方，与金属带部27的上端接触。此外，在上端引导构件24上，通过弹簧30施加有朝着环形带21的向下的力。通过该结构，上端引导构件24总是处于与环形带21接触的状态。上端引导构件24具备上述的结构，因此向下方按压环形带21，从而可以抑制环形带21的向上方的位移。另外，在仅通过下端引导构件23就能够稳定地保持环形带21的情况下，搬运部20也可以不具备上端引导构件24。
[0020]加压部40是对板状玻璃101施加垂直方向的流体压力的装置。另外，在对板状玻璃101施加流体的压力时使用的流体(以下，称为“加压流体”)104在本实施形态中为水。然而，加压流体104可以是清洗液，也可以是其他的液体，也可以是空气等的气体。隔着板状玻璃101与环形带21对置地沿着搬运方向配置有多个加压部40。在这里，图3是图1的II1-1II向视图。如图1至图3所示，加压部40主要由圆柱状的流入侧构件41、和矩形板状的流出侧构件42构成。
[0021]流入侧构件41是成为加压流体104的入口的构件。如图2所示，在流入侧构件41的内部形成有在与流出侧构件42相反侧的端面上开口的入口流路43。该入口流路43与未图示的流体供给装置连接，加压流体104通过该入口流路43供给至流入侧构件41的内部。此外，在流入侧构件41的内部形成有在流出侧构件42侧的端面开口的流体积留部44。该流体积留部44可以暂时储存从入口流路43流入的加压流体104。因此，即使在例如供给至入口流路43的加压流体104的压力变化的情况下，通过使该流体积留部44介入，以此可以在降低压力的变化量的状态下向流出侧构件42供给加压流体104。即，流体积留部44发挥作为缓冲器的功能。
[0022]流出侧构件42是向板状玻璃101排出加压流体104的构件。流出侧构件42位于比流入侧构件41靠近板状玻璃101的搬运路径的部分上，与流入侧构件41连接。在流出侧构件42的内部形成有在流入侧构件41侧的表面开口的中间流路45。中间流路45由小径部46、和直径比小径部46大的大径部47构成。借助于此，通过了流入侧构件41的流体积留部44的加压流体104依次经过小径部46、大径部47并在它们的内部流动。在流出侧构件42内形成有在板状玻璃101的搬运路径侧上开口的排出开口部48。排出开口部48如图3所示，从板状玻璃101的搬运路径侧观察时形成为大致矩形状。通过了中间流路45的加压流体104流入该排出开口部48，并且向板状玻璃101的精密表面102排出。另外，在根据本实施形态的流出侧构件42对于每个加压部40分别独立地构成，但是也可以使它们一体地形成。
[0023]具备上述的结构的加压部40如图2所示，在与被搬运的板状玻璃101之间产生小间隙地进行配置。通过这样配置，从加压部40排出的加压流体104通过加压部40和板状玻璃101之间的小的间隙向加压部40的外部流出。借助于此，在加压部40和板状玻璃101之间产生加压流体104的膜。因此，加压部40不会与板状玻璃101接触，而通过该加压流体104的压力可以朝着环形带21向垂直方向按压板状玻璃101。而且，只要增大加压流体104的压力即可在加压部40 (加压流体104)和搬运部20之间强有力地保持板状玻璃101，能够以不支持其下端的状态搬运板状玻璃101。
[0024]根据本实施形态的搬运装置100，板状玻璃101的精密表面102除了流体膜以外不接触到其他，因此保持清洁度。又，能够以不支持下端的状态搬运板状玻璃101，因此板状玻璃101的下端缘也不会接触到带式输送机等,不容易引起板状玻璃101的破损。此外,能够以纵向配置的状态搬运板状玻璃101，因此即使搬运对象的板状玻璃101变大，搬运装置100的设置仍不需要宽阔的空间。即，谋求省空间化。
[0025](第二实施形态)
接着，参照图4及图5说明根据第二实施形态的搬运装置200。在这里，图4是根据第二实施形态的搬运装置200的俯视图。如图4所示，在本实施形态中尤其是搬运部20的结构与第一实施形态不相同。根据本实施形态的搬运部20具有环形带21、带支承构件22、和中央引导构件31。另外，本实施形态的加压部40与第一实施形态的相同，因此省略说明。
[0026]环形带21是在内表面侧和外表面侧的每个上都形成有齿的橡胶制成的带有两排齿的橡胶带。本实施形态的环形带21不是像第一实施形态那样的二层结构，也不包含金属带部27(参照图1)。形成在环形带21的内表面侧的齿32和形成在外表面侧的齿33(各流体排出槽28之间的部分)以相同的间隔排列。环形带21通过位于搬运方向的前后的两台驱动齿轮34驱动。在该驱动齿轮34上形成有与环形带21的内表面侧的齿32啮合的齿。在这里，图5是图4的V-V向视剖视图。如图5所示，在环形带21的内表面上，以横穿内表面侧的齿32 (参照图4)的方式在全周上形成有引导槽35。在该引导槽35内插入有下述的中央引导构件31。
[0027]带支承构件22与第一实施形态的情况相同地具有带支承面29。环形带21的内表面侧的齿32的梢端在该带支承面29的表面上滑动。此外，在带支承构件22上形成有多个容纳下述的中央引导构件31的容纳部36。该容纳部36从带支承构件22的带支承面29贯通至位于其相反侧的面。即，容纳部36形成为隧道状。
[0028]中央引导构件31是支持环形带21的构件。中央引导构件31具有圆盘状的形状，形成为将上下方向作为旋转轴的方向旋转的结构。又，如上所述，中央引导构件31插入形成在环形带21上的引导槽35内。借助于此，中央引导构件31可以在环形带21旋转的同时进行支持。因此，可以防止环形带21因自重而弯曲。另外，根据本实施形态的搬运装置200的搬运部20不具有下端引导构件23及上端引导构件24 (参照图2)，取而代之具有中央引导构件31。这是因为在本实施形态的环形带21内不包含刚性高的金属带部27 (参照图2)，难以在其下端支持环形带21。
[0029]即使是根据本实施形态的搬运装置200，也可以保持板状玻璃101的精密表面102的清洁度，并且板状玻璃101不容易破损，此外设置时不要求宽阔的空间，可谋求空间的节约。另外，在根据本实施形态的搬运装置200中，形成在环形带21的内表面侧的齿32和形成在外表面侧的齿33以相同的间隔排列，但是环形带21并不限于这样的结构。S卩，外表面侧的齿33和内表面侧的齿32可以隔着不同的间隔形成，也可以是不同的形状。因为，外表面侧的齿33是形成了流体排出槽28后所产生的，相对于此内表面侧的齿32是形成为与驱动齿轮34啮合的结构，两个齿32、33的技术意义不相同。
[0030](第三实施形态)
接着，参照从图6至图10，说明根据第三实施形态的搬运装置300。在这里，图6是根据本实施形态的搬运装置300的纵向剖视图。根据本实施形态的搬运装置300在除了送出装置10以外还具备流体引导装置60这一点上，与根据第一实施形态的搬运装置100及根据第二实施形态的搬运装置200结构不同。
[0031]流体引导装置60是在板状玻璃101的两个表面施加垂直方向的流体压力而抑制板状玻璃101的横向摇动的装置。该流体引导装置60由一对流路管61构成。该一对流路管61以在板状玻璃101的搬运路径的两侧上对置的方式，且在板状玻璃101的搬运方向上延伸的方式配置。又，在流路管61中与板状玻璃101对置的部分上，隔着规定的间隔形成有多个喷射口 62。此外，在各流路管61的内部流入有作为加压流体104的水，在提高该加压流体104的压力时从喷射口 62向着板状玻璃101朝垂直方向喷射加压流体104。因此，根据流体引导装置60，在机械类不接触板状玻璃101的状态下，对该两个表面施加通过加压流体104施加垂直方向的压力，从而可以防止板状玻璃101的横向摇动。
[0032]另外，流体引导装置60并不限于以上说明的结构。例如，也可以将上述送出装置10的加压部40以在板状玻璃101的搬运路径的两侧对置的方式进行配置，并且将它作为流体引导装置60。又，配置在板状玻璃101的两侧的流路管61不需要必须是对置。S卩，在不破坏施加在搬运的板状玻璃101的两个表面的力的平衡的范围内，可以将板状玻璃101的精密表面102侧的流路管61和普通表面103侧的流路管61配置在不同的上下方向位置上，并且根据情况改变配置的数量。
[0033]在根据本实施形态的搬运装置300中，如图6所示，送出装置10配置在板状玻璃101的上端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的中央附近及下端附近。通过送出装置10使板状玻璃101在未被支持状态下搬运时，在板状玻璃101中远离送出装置10的部分容易在与搬运方向正交的方向上发生位移(横向摇动)。然而，通过将流体引导装置60配置在与送出装置10不同的上下方向位置上，以此可以减少板状玻璃101的横向摇动，并且可以更加稳定地搬运板状玻璃101。
[0034]另外，送出装置10和流体引导装置60的配置并不限于图6所示的情况。例如也可以如从图7至图10所示进行配置。从图7至图10分别是根据本实施形态的变形例I至4的搬运装置300的纵向剖视图。在变形例I中，如图7所示，送出装置10配置在板状玻璃101的下端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的中央附近及上端附近。在变形例2中，如图8所示，送出装置10配置在板状玻璃101的中央附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的上端附近。在变形例3中，如图9所示，送出装置10配置在板状玻璃101的下端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的上端附近。在变形例4中，如图10所示，送出装置10配置在板状玻璃101的下端附近及上端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的中央附近。
[0035]以上，尽管参照【专利附图】
【附图说明】了本发明的实施形态，但是具体的结构并不限于这些实施形态，在不脱离本发明的主旨的范围内的设计的变更等也包含在本发明中。另外，以上说明了搬运的板状玻璃101具有精密表面102和普通表面103的情况，但是也可以是例如搬运的板状玻璃101的两个表面为普通表面。即使在这样的情况下，为了保持板状玻璃的表面清洁，根据本发明的板材的搬运装置仍是有效的。
[0036]又，以上说明了根据本实施形态的板材的搬运装置100搬运板状玻璃的情况，但是假如一种装置为搬运板状玻璃以外的板材的装置，然而即使这样也不能成为该装置不包含于本发明中的理由。又，以上说明了搬运装置100使用环状的环形带21的情况，但是例如也可以取代环形带21而使用环状型以外的带。
[0037]工业应用性:
根据本发明的板材的搬运装置，专用面积小，且板材不容易破损。因此，在板材的搬运装置的【技术领域】有益处。
[0038]符号说明:
10送出装置；
20搬运部；
21环形带(带)；
22带支承构件；
23下端引导构件；
24上端引导构件；
26橡胶带部；
27金属带部；28流体排出槽；
29带支承面；
31中央引导构件；
35引导槽；
40加压部；
60流体引导装置；100、200、300搬运装置；
101板状玻璃(板材)；
102精密表面；
103普通表面；
104加压流体。
【权利要求】
1.一种板材的搬运装置，其特征在于， 具备具有搬运部和加压部的送出装置； 所述搬运部具有与纵向配置的板材的一侧的表面接触并向搬运方向送出所述板材的带; 所述加压部形成为对纵向配置的所述板材的另一侧的表面施加通过流体产生的垂直方向的压力，从而能够对所述板材朝着所述带加压的结构； 形成为能够通过所述搬运部的所述带和所述加压部的所述流体夹持并保持纵向配置的所述板材的同时进行搬运的结构。
2.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 所述流体为液体； 在所述带的外表面上，在行进方向上隔着规定的间隔形成有多个从上端至下端在上下方向上延伸的流体排出槽。
3.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 所述搬运部具有与所述板材的搬运路径平行地配置的带支承构件； 所述带支承构件具有平面状的带支承面，所述带的内表面在该带支承面上滑动。
4.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 所述带具有位于外表面侧的橡胶带部；和 位于内表面侧的金属带部； 所述金属带部的下端位于比所述橡胶带部的下端靠近下方的位置上； 所述搬运部具有支持所述金属带部的所述下端的下端引导构件。
5.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 在所述带的内表面，在整个表面上形成有引导槽； 所述搬运部还具有插入于所述弓丨导槽内的中央引导构件。
6.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 还具备对所述板材的两个表面施加通过流体产生的压力而抑制横向摇动的流体引导装置； 所述流体弓I导装置配置在与所述送出装置不同的上下方向位置上。
7.一种板材的搬运方法，其特征在于，使纵向配置的板材的一侧的表面接触向搬运方向送出所述板材的带，并且对所述板材的另一侧的表面施加通过流体产生的压力而朝着所述带按压所述板材，借助于此通过所述带和所述流体夹持并保持所述板材，并且使所述板材以悬浮的状态进行搬运。
【文档编号】H01L21/677GK103648934SQ201180072306
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2011年8月12日 优先权日:2011年8月12日
【发明者】久下守正, 田中秀幸, 辻田京史, 高原一典 申请人:川崎重工业株式会社
【专利摘要】本发明提供专用面积小且板材不容易破损的板材的搬运装置。根据本发明的板材的搬运装置（100）具备具有搬运部（20）和加压部（40）的送出装置（10）。搬运部（20）具有与纵向配置的板材（101）的一侧的表面（103）接触并向搬运方向送出板材（101）的带（21）。加压部（40）形成为对纵向配置的板材（101）的另一侧的表面（102）施加通过流体（104）产生的垂直方向的压力，从而能够对板材（101）朝着带（21）加压的结构。而且，形成为能够通过搬运部（20）的带（21）和加压部（40）的流体（104）夹持并保持纵向配置的板材（101）的同时进行搬运的结构。
【专利说明】板材的搬运装置及板材的搬运方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及板材的搬运装置及板材的搬运方法。
【背景技术】
[0002]板材的搬运装置根据搬运的板材的特性构成。例如，在TFT (薄膜晶体管)的液晶显示器中使用的板状玻璃(板材)的加工生产线中，需要在不接触一方侧的表面的情况下能够搬运板状玻璃的搬运装置。其原因是，液晶显示器用的板状玻璃在一方侧的表面形成有半导体等的薄膜层，因此在该表面上连细微的损伤也不允许。以下，将像这样精密加工的表面称为“精密表面”。
[0003]作为在不接触精密表面的情况下搬运板状玻璃的搬运装置，使设置在台车上的吸盘吸附与精密表面相反的表面(以下称为“普通表面”)，并且在该状态下向搬运方向移动台车的搬运装置被实用化。然而，该搬运装置在搬运板状玻璃时需要使台车返回到初始位置，因此难以高效率的运用。相对于此，也提出了以普通表面朝下的状态，即，使板状玻璃以横向配置的状态放置在带式输送机上并搬运的装置、和将板状玻璃以竖立的状态放置在带式输送机上并搬运的装置(例如参照专利文献I)。
[0004]现有技术文献:
专利文献:
专利文献1:日本特开2002-308423号公报。
【发明内容】
[0005]发明要解决的问题:
然而，横向配置并搬运板状玻璃的装置存在不得不根据板状玻璃的大小而确保宽阔的设置空间的缺点。又，使板状玻璃以竖立的状态放置在带式输送机上的装置存在板状玻璃的下端缘与带式输送机接触，而从此处开始产生裂痕的担忧。
[0006]因此，本发明的目的是提供专用面积小、且板材不易破损的板材的搬运装置。
[0007]解决问题的手段:
根据本发明的一种形态的板材的搬运装置具备具有搬运部和加压部的送出装置。所述搬运部具有与纵向配置的板材的一侧的表面接触并向搬运方向送出所述板材的带。所述加压部形成为对纵向配置的所述板材的另一侧的表面施加通过流体产生的垂直方向的压力，从而能够对所述板材朝着所述带加压的结构。而且，形成为能够通过所述搬运部的所述带和所述加压部的所述流体夹持并保持纵向配置的所述板材的同时进行搬运的结构。
[0008]根据上述结构，通过使加压部对纵向配置的板材朝着带加压，以此在加压部和搬运部之间夹持并保持该板材，因此能够在无需另外支持其下端的情况下并且使所述板材以悬浮的状态进行搬运。
[0009]发明效果:
如以上所述，根据本发明的板材的搬运装置由于能够将板材以纵向配置的状态进行搬运，因此可以减小该装置的专用面积，谋求省空间化。又，板状玻璃在其下端部未被带式输送机等支持的情况下进行搬运，因此不容易破损。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是根据本发明的第一实施形态的搬运装置的俯视图；
图2是图1的I1-1I向视剖视图；
图3是图1的II1-1II向视剖视图；
图4是根据本发明的第二实施形态的搬运装置的俯视图；
图5是图4的V-V向视剖视图；
图6是根据本发明的第三实施形态的搬运装置的纵向剖视图；
图7是根据第三实施形态的变形例I的搬运装置的纵向剖视图；
图8是根据第三实施形态的变形例2的搬运装置的纵向剖视图；
图9是根据第三实施形态的变形例3的搬运装置的纵向剖视图；
图10是根据第三实施形态的变形例4的搬运装置的纵向剖视图。
【具体实施方式】
[0011]以下，参照【专利附图】
【附图说明】根据本发明的实施形态。以下，在所有附图中对于相同或相当的要素标以相同的符号，并且省略重复的说明。另外，在以下说明的板材的搬运装置搬运具有精密表面和普通表面的板状玻璃(板材)。在这里所说的“精密表面”是实施精密加工的表面，比“普通表面”要求较高的清洁度。
[0012](第一实施形态)
首先，参照图1至图3说明根据本发明的第一实施形态的搬运装置100。在这里，图1是根据本实施形态的搬运装置100的俯视图。在图1中，从纸面的右侧朝着左侧的方向为板状玻璃101的搬运方向(以下，简称“搬运方向”)。在搬运装置100中，从相当于图1的纸面右侧的上游侧供给纵向配置的状态的板状玻璃101。如图1所示，根据本实施形态的搬运装置100具备送出装置10。此外，送出装置10主要由搬运部20和加压部40构成。
[0013]搬运部20是将板状玻璃101向搬运方向送出的装置。在图1中，在比板状玻璃101靠近纸面下侧的位置处图示的部分为搬运部20。在这里，图2是图1的I1-1I向视剖视图。在图2中，纸面上方为搬运装置100的上方，从纸面背面朝向正面的方向为搬运方向。如图1及图2所示，搬运部20具有环形带21、带支承构件22、下端引导构件23和上端引导构件24。
[0014]环形带21是形成为环状的带。环形带21通过位于搬运方向的前后的两台驱动滑轮25驱动。该环形带21形成为与板状玻璃101的普通表面103接触的结构，在与板状玻璃101接触的状态下使驱动滑轮25旋转驱动，以此可以将板状玻璃101向搬运方向送出。另外，根据本实施形态的环形带21主要由橡胶制成的橡胶带部26、和金属制成的金属带27构成，具有两层结构。橡胶带部26和金属带部27相互连接并作为一体地形成环形带21。
[0015]橡胶带部26位于环形带21的外表面侧上，与板状玻璃101接触。另一方面，金属带部27位于环形带21的内表面侧，并且与驱动滑轮25接触。金属带部27如图2所示，带宽度(上下方向尺寸)稍微大于橡胶带部26，下端及上端分别位于比橡胶带部26的下端及上端靠近上下方向外侧的位置上。金属带部27的刚性高，可发挥抑制环形带21因自重而弯曲的作用。
[0016]在橡胶带部26的外表面上，在环状的环形带21的周方向上隔着规定的间隔形成有多个从该带宽度方向的上端至下端在上下方向上延伸的流体排出槽28。另外，在这里所指的“周方向”是指环形带21的延伸方向，换句话是指环形带21的行进方向。流体排出槽28除了垂直地形成以外，还可以相对于垂直方向倾斜地形成。借助于此，即使在板状玻璃101和橡胶带部26之间流入有水和清洗液等的液体的情况下，也可通过该流体排出槽28向下方排出。借助于此，可以防止液体积留在环形带21和板状玻璃101之间，而且可以防止相对于环形带21的板状玻璃101滑动。另外，在本实施形态中，为了防止从下述的加压部40放出的水附着在普通表面103的一部分上而残留水迹，水被供给至板状玻璃101的普通表面103侧。
[0017]带支承构件22是支持环形带21的构件。带支承构件22具有在搬运方向上延伸的板状的形状。带支承构件22位于环形带21的内侧，与板状玻璃101通过的搬运路径平行地配置。换言之，带支承构件22隔着环形带21与板状玻璃101的搬运路径相对置地配置。又，带支承构件22具有与环形带21接触的平面状的带支承面29，环形带21在该带支承面29的表面上滑动。像这样，根据本实施形态的带支承构件22，由于通过平面状的带支承面29支持环形带21，因此可以抑制在例如通过辊等支承的情况等下发生的环形带21向着与带表面垂直的方向起伏的现象的发生。因此，可以稳定地搬运板状玻璃101。
[0018]下端引导构件23是从下方支持环形带21的构件。下端引导构件23如图2所示为将向搬运方向直行的方向作为旋转轴的方向进行旋转的辊。沿着板状玻璃101的搬运路径在其近旁配置多个下端引导构件23。而且，下端引导构件23位于环形带21的下方，支持金属带27的下端。这样，下端引导构件23通过刚性高的金属带部27支持整个环形带21，防止环形带21因自重弯曲。另外，在本实施形态中下端引导构件23为辊，但是下端引导构件23并不限于这样的结构。例如，下端引导构件23也可以是取代辊而在搬运方向上延伸的板状的构件。在该情况下，在下端引导构件23的上表面支持金属带部27的同时使其滑动，则可以支持环形带21。
[0019]上端引导构件24是抑制环形带21向上方的位移的构件。上端引导构件24如图2所示为将与搬运方向正交的方向作为旋转轴的方向进行旋转的辊。上端引导构件24与下端引导构件23成对地在板状玻璃101的搬运路径的近旁配置有多个。而且，上端引导构件24位于环形带21的上方，与金属带部27的上端接触。此外，在上端引导构件24上，通过弹簧30施加有朝着环形带21的向下的力。通过该结构，上端引导构件24总是处于与环形带21接触的状态。上端引导构件24具备上述的结构，因此向下方按压环形带21，从而可以抑制环形带21的向上方的位移。另外，在仅通过下端引导构件23就能够稳定地保持环形带21的情况下，搬运部20也可以不具备上端引导构件24。
[0020]加压部40是对板状玻璃101施加垂直方向的流体压力的装置。另外，在对板状玻璃101施加流体的压力时使用的流体(以下，称为“加压流体”)104在本实施形态中为水。然而，加压流体104可以是清洗液，也可以是其他的液体，也可以是空气等的气体。隔着板状玻璃101与环形带21对置地沿着搬运方向配置有多个加压部40。在这里，图3是图1的II1-1II向视图。如图1至图3所示，加压部40主要由圆柱状的流入侧构件41、和矩形板状的流出侧构件42构成。
[0021]流入侧构件41是成为加压流体104的入口的构件。如图2所示，在流入侧构件41的内部形成有在与流出侧构件42相反侧的端面上开口的入口流路43。该入口流路43与未图示的流体供给装置连接，加压流体104通过该入口流路43供给至流入侧构件41的内部。此外，在流入侧构件41的内部形成有在流出侧构件42侧的端面开口的流体积留部44。该流体积留部44可以暂时储存从入口流路43流入的加压流体104。因此，即使在例如供给至入口流路43的加压流体104的压力变化的情况下，通过使该流体积留部44介入，以此可以在降低压力的变化量的状态下向流出侧构件42供给加压流体104。即，流体积留部44发挥作为缓冲器的功能。
[0022]流出侧构件42是向板状玻璃101排出加压流体104的构件。流出侧构件42位于比流入侧构件41靠近板状玻璃101的搬运路径的部分上，与流入侧构件41连接。在流出侧构件42的内部形成有在流入侧构件41侧的表面开口的中间流路45。中间流路45由小径部46、和直径比小径部46大的大径部47构成。借助于此，通过了流入侧构件41的流体积留部44的加压流体104依次经过小径部46、大径部47并在它们的内部流动。在流出侧构件42内形成有在板状玻璃101的搬运路径侧上开口的排出开口部48。排出开口部48如图3所示，从板状玻璃101的搬运路径侧观察时形成为大致矩形状。通过了中间流路45的加压流体104流入该排出开口部48，并且向板状玻璃101的精密表面102排出。另外，在根据本实施形态的流出侧构件42对于每个加压部40分别独立地构成，但是也可以使它们一体地形成。
[0023]具备上述的结构的加压部40如图2所示，在与被搬运的板状玻璃101之间产生小间隙地进行配置。通过这样配置，从加压部40排出的加压流体104通过加压部40和板状玻璃101之间的小的间隙向加压部40的外部流出。借助于此，在加压部40和板状玻璃101之间产生加压流体104的膜。因此，加压部40不会与板状玻璃101接触，而通过该加压流体104的压力可以朝着环形带21向垂直方向按压板状玻璃101。而且，只要增大加压流体104的压力即可在加压部40 (加压流体104)和搬运部20之间强有力地保持板状玻璃101，能够以不支持其下端的状态搬运板状玻璃101。
[0024]根据本实施形态的搬运装置100，板状玻璃101的精密表面102除了流体膜以外不接触到其他，因此保持清洁度。又，能够以不支持下端的状态搬运板状玻璃101，因此板状玻璃101的下端缘也不会接触到带式输送机等,不容易引起板状玻璃101的破损。此外,能够以纵向配置的状态搬运板状玻璃101，因此即使搬运对象的板状玻璃101变大，搬运装置100的设置仍不需要宽阔的空间。即，谋求省空间化。
[0025](第二实施形态)
接着，参照图4及图5说明根据第二实施形态的搬运装置200。在这里，图4是根据第二实施形态的搬运装置200的俯视图。如图4所示，在本实施形态中尤其是搬运部20的结构与第一实施形态不相同。根据本实施形态的搬运部20具有环形带21、带支承构件22、和中央引导构件31。另外，本实施形态的加压部40与第一实施形态的相同，因此省略说明。
[0026]环形带21是在内表面侧和外表面侧的每个上都形成有齿的橡胶制成的带有两排齿的橡胶带。本实施形态的环形带21不是像第一实施形态那样的二层结构，也不包含金属带部27(参照图1)。形成在环形带21的内表面侧的齿32和形成在外表面侧的齿33(各流体排出槽28之间的部分)以相同的间隔排列。环形带21通过位于搬运方向的前后的两台驱动齿轮34驱动。在该驱动齿轮34上形成有与环形带21的内表面侧的齿32啮合的齿。在这里，图5是图4的V-V向视剖视图。如图5所示，在环形带21的内表面上，以横穿内表面侧的齿32 (参照图4)的方式在全周上形成有引导槽35。在该引导槽35内插入有下述的中央引导构件31。
[0027]带支承构件22与第一实施形态的情况相同地具有带支承面29。环形带21的内表面侧的齿32的梢端在该带支承面29的表面上滑动。此外，在带支承构件22上形成有多个容纳下述的中央引导构件31的容纳部36。该容纳部36从带支承构件22的带支承面29贯通至位于其相反侧的面。即，容纳部36形成为隧道状。
[0028]中央引导构件31是支持环形带21的构件。中央引导构件31具有圆盘状的形状，形成为将上下方向作为旋转轴的方向旋转的结构。又，如上所述，中央引导构件31插入形成在环形带21上的引导槽35内。借助于此，中央引导构件31可以在环形带21旋转的同时进行支持。因此，可以防止环形带21因自重而弯曲。另外，根据本实施形态的搬运装置200的搬运部20不具有下端引导构件23及上端引导构件24 (参照图2)，取而代之具有中央引导构件31。这是因为在本实施形态的环形带21内不包含刚性高的金属带部27 (参照图2)，难以在其下端支持环形带21。
[0029]即使是根据本实施形态的搬运装置200，也可以保持板状玻璃101的精密表面102的清洁度，并且板状玻璃101不容易破损，此外设置时不要求宽阔的空间，可谋求空间的节约。另外，在根据本实施形态的搬运装置200中，形成在环形带21的内表面侧的齿32和形成在外表面侧的齿33以相同的间隔排列，但是环形带21并不限于这样的结构。S卩，外表面侧的齿33和内表面侧的齿32可以隔着不同的间隔形成，也可以是不同的形状。因为，外表面侧的齿33是形成了流体排出槽28后所产生的，相对于此内表面侧的齿32是形成为与驱动齿轮34啮合的结构，两个齿32、33的技术意义不相同。
[0030](第三实施形态)
接着，参照从图6至图10，说明根据第三实施形态的搬运装置300。在这里，图6是根据本实施形态的搬运装置300的纵向剖视图。根据本实施形态的搬运装置300在除了送出装置10以外还具备流体引导装置60这一点上，与根据第一实施形态的搬运装置100及根据第二实施形态的搬运装置200结构不同。
[0031]流体引导装置60是在板状玻璃101的两个表面施加垂直方向的流体压力而抑制板状玻璃101的横向摇动的装置。该流体引导装置60由一对流路管61构成。该一对流路管61以在板状玻璃101的搬运路径的两侧上对置的方式，且在板状玻璃101的搬运方向上延伸的方式配置。又，在流路管61中与板状玻璃101对置的部分上，隔着规定的间隔形成有多个喷射口 62。此外，在各流路管61的内部流入有作为加压流体104的水，在提高该加压流体104的压力时从喷射口 62向着板状玻璃101朝垂直方向喷射加压流体104。因此，根据流体引导装置60，在机械类不接触板状玻璃101的状态下，对该两个表面施加通过加压流体104施加垂直方向的压力，从而可以防止板状玻璃101的横向摇动。
[0032]另外，流体引导装置60并不限于以上说明的结构。例如，也可以将上述送出装置10的加压部40以在板状玻璃101的搬运路径的两侧对置的方式进行配置，并且将它作为流体引导装置60。又，配置在板状玻璃101的两侧的流路管61不需要必须是对置。S卩，在不破坏施加在搬运的板状玻璃101的两个表面的力的平衡的范围内，可以将板状玻璃101的精密表面102侧的流路管61和普通表面103侧的流路管61配置在不同的上下方向位置上，并且根据情况改变配置的数量。
[0033]在根据本实施形态的搬运装置300中，如图6所示，送出装置10配置在板状玻璃101的上端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的中央附近及下端附近。通过送出装置10使板状玻璃101在未被支持状态下搬运时，在板状玻璃101中远离送出装置10的部分容易在与搬运方向正交的方向上发生位移(横向摇动)。然而，通过将流体引导装置60配置在与送出装置10不同的上下方向位置上，以此可以减少板状玻璃101的横向摇动，并且可以更加稳定地搬运板状玻璃101。
[0034]另外，送出装置10和流体引导装置60的配置并不限于图6所示的情况。例如也可以如从图7至图10所示进行配置。从图7至图10分别是根据本实施形态的变形例I至4的搬运装置300的纵向剖视图。在变形例I中，如图7所示，送出装置10配置在板状玻璃101的下端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的中央附近及上端附近。在变形例2中，如图8所示，送出装置10配置在板状玻璃101的中央附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的上端附近。在变形例3中，如图9所示，送出装置10配置在板状玻璃101的下端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的上端附近。在变形例4中，如图10所示，送出装置10配置在板状玻璃101的下端附近及上端附近，流体引导装置60配置在板状玻璃101的中央附近。
[0035]以上，尽管参照【专利附图】
【附图说明】了本发明的实施形态，但是具体的结构并不限于这些实施形态，在不脱离本发明的主旨的范围内的设计的变更等也包含在本发明中。另外，以上说明了搬运的板状玻璃101具有精密表面102和普通表面103的情况，但是也可以是例如搬运的板状玻璃101的两个表面为普通表面。即使在这样的情况下，为了保持板状玻璃的表面清洁，根据本发明的板材的搬运装置仍是有效的。
[0036]又，以上说明了根据本实施形态的板材的搬运装置100搬运板状玻璃的情况，但是假如一种装置为搬运板状玻璃以外的板材的装置，然而即使这样也不能成为该装置不包含于本发明中的理由。又，以上说明了搬运装置100使用环状的环形带21的情况，但是例如也可以取代环形带21而使用环状型以外的带。
[0037]工业应用性:
根据本发明的板材的搬运装置，专用面积小，且板材不容易破损。因此，在板材的搬运装置的【技术领域】有益处。
[0038]符号说明:
10送出装置；
20搬运部；
21环形带(带)；
22带支承构件；
23下端引导构件；
24上端引导构件；
26橡胶带部；
27金属带部；28流体排出槽；
29带支承面；
31中央引导构件；
35引导槽；
40加压部；
60流体引导装置；100、200、300搬运装置；
101板状玻璃(板材)；
102精密表面；
103普通表面；
104加压流体。
【权利要求】
1.一种板材的搬运装置，其特征在于， 具备具有搬运部和加压部的送出装置； 所述搬运部具有与纵向配置的板材的一侧的表面接触并向搬运方向送出所述板材的带; 所述加压部形成为对纵向配置的所述板材的另一侧的表面施加通过流体产生的垂直方向的压力，从而能够对所述板材朝着所述带加压的结构； 形成为能够通过所述搬运部的所述带和所述加压部的所述流体夹持并保持纵向配置的所述板材的同时进行搬运的结构。
2.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 所述流体为液体； 在所述带的外表面上，在行进方向上隔着规定的间隔形成有多个从上端至下端在上下方向上延伸的流体排出槽。
3.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 所述搬运部具有与所述板材的搬运路径平行地配置的带支承构件； 所述带支承构件具有平面状的带支承面，所述带的内表面在该带支承面上滑动。
4.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 所述带具有位于外表面侧的橡胶带部；和 位于内表面侧的金属带部； 所述金属带部的下端位于比所述橡胶带部的下端靠近下方的位置上； 所述搬运部具有支持所述金属带部的所述下端的下端引导构件。
5.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 在所述带的内表面，在整个表面上形成有引导槽； 所述搬运部还具有插入于所述弓丨导槽内的中央引导构件。
6.根据权利要求1所述的板材的搬运装置，其特征在于， 还具备对所述板材的两个表面施加通过流体产生的压力而抑制横向摇动的流体引导装置； 所述流体弓I导装置配置在与所述送出装置不同的上下方向位置上。
7.一种板材的搬运方法，其特征在于，使纵向配置的板材的一侧的表面接触向搬运方向送出所述板材的带，并且对所述板材的另一侧的表面施加通过流体产生的压力而朝着所述带按压所述板材，借助于此通过所述带和所述流体夹持并保持所述板材，并且使所述板材以悬浮的状态进行搬运。
【文档编号】H01L21/677GK103648934SQ201180072306
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2011年8月12日 优先权日:2011年8月12日
【发明者】久下守正, 田中秀幸, 辻田京史, 高原一典 申请人:川崎重工业株式会社
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