技术总结
一种管口指标装置包含一本体以及一发光单元。本体的一端具有一连接部，用以使本体套接于一管路的一流体出口端。发光单元设置于本体内，用以产生一指示光，以指出管路的一流体出口或一中心于一基板的一投影位置。由于发光单元所产生的指示光不会占据实体空间，因此操作者可轻易地于指示光所指出的位置画上标记。同时亦揭示一种包含上述管口指标装置的基板处理装置。
技术研发人员：刘茂林
受保护的技术使用者：辛耘企业股份有限公司
文档号码：201510495635
技术研发日：2015.08.13
技术公布日：2017.02.22