一种具有吹净功能的晶圆传送装置的制作方法

文档序号:12129140阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有吹净功能的晶圆传送装置,于一个晶圆传送装置中配置至少一个吹净接触盘面及一个吹净模组,所述晶圆传送装置具有垂直地面竖立的框架,将所述吹净模组配置于所述框架的侧边的下半部,并于所述下半部的顶端形成平台部,所述吹净接触盘面固接于所述平台部上,而所述框架高于所述平台部形成容置空间,所述晶圆传送装置,其特征在于;

所述吹净接触盘面,包括:

至少一个充气嘴及至少一个出气嘴,配置于所述吹净接触盘面上,所述充气嘴及所述出气嘴皆与所述吹净模组连接;

驱动装置,所述吹净接触盘面与所述驱动装置连接并配置于所述平台部上;以及

辨识装置,配置于所述吹净接触盘面上,所述辨识装置具有启动状态,通过所述启动状态的致动,判断是否启动所述吹净模组进行充气或出气。

2.如权利要求1所述的具有吹净功能的晶圆传送装置,其特征在于,所述容置空间用于容置一个前开式晶圆盒。

3.如权利要求2所述的具有吹净功能的晶圆传送装置,其特征在于,当所述前开式晶圆盒的底部与所述辨识装置接触后,即完成所述启动状态。

4.一种具有吹净功能的晶圆传送装置,于一个晶圆传送装置中配置至少一个吹净接触盘面及一个吹净模组,所述晶圆传送装置具有垂直地面竖立的框架,将所述吹净模组配置于所述框架的侧边的下半部,并于所述下半部的顶端形成平台部,所述吹净接触盘面固接于所述平台部上,而所述框架高于所述平台部形成容置空间,其中,所述晶圆传送装置,其特征在于;

所述吹净模组,包括:

至少一个充气管路,每一个所述充气管路的一端连接至配置于所述吹净接触盘面上的所述充气嘴,多个所述充气嘴由多个所述充气管路集结到一个充气口;

至少一出气管路,每一个所述出气管路的一端连接至配置于所述吹净接触盘面上的所述出气嘴,多个所述出气嘴由多个所述出气管路集结到一个出气口;

至少一个温度湿度感测器,设置在距离所述出气口2公尺以内;

至少一个流量计量表,可量测通过所述流量计量表的气体流量值;以及

至少一个压力感测器,可量测通过所述压力感测器的气体压力值。

5.如权利要求4所述的具有吹净功能的晶圆传送装置,其特征在于,还包括一个电脑,所述电脑连接至少一个具有吹净功能的晶圆传送装置,所述电脑可分别操控所述晶圆传送装置及监控所述吹净模组的量测数值,当量测数值未达标准需求时,所述电脑会发出警告讯息。

6.如权利要求4所述的具有吹净功能的晶圆传送装置,其特征在于,所述吹净模组包含真空产生器,用于将所述排出气体抽出所述前开式晶圆盒外。

7.如权利要求1所述的具有吹净功能的晶圆传送装置,其特征在于,所述吹净模组包含截流阀,用于调节所述净化气体的流量。

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