一种反熔丝结构及其制造方法与流程

文档序号:11101405阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种反熔丝结构,其特征在于,包括:

半导体衬底;

半导体衬底上的鳍;

鳍表面上的栅介质层以及栅极;

栅极两侧的鳍上的源漏区;

源漏区表面上的反熔丝介质层以及其上的上电极。

2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,所述反熔丝介质层为高k介质材料。

3.根据权利要求2所述的结构,其特征在于,所述上电极为多层结构,包括金属栅极材料层,该金属栅极材料层位于上电极的最下层。

4.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,所述金属栅极材料层的材料为Ti、TiAlx、TiN、TaNx、HfN、TiCx或TaCx

5.根据权利要求1-4中任一项所述的结构,其特征在于,所述栅介质层与反熔丝介质层为同一介质层。

6.一种反熔丝结构的制造方法,其特征在于,包括:

提供半导体衬底;

在衬底上形成鳍;

在鳍的表面上形成栅介质层、栅介质层上的栅极以及反熔丝介质层、反熔丝介质层之上的上电极,栅极两侧的鳍上形成有源漏区,反熔丝介质层形成在源漏区所在的鳍的表面上。

7.根据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述反熔丝介质层为高k介质材料。

8.根据权利要求7所述的制造方法,其特征在于,所述上电极为多层结构,包括金属栅极材料层,该金属栅极材料层位于上电极的最下层。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的制造方法,其特征在于,在鳍的表面上形成栅介质层、栅介质层上的栅极以及反熔丝介质层、反熔丝介质层之上的上电极的步骤包括:

在鳍的表面上沉积介质材料层,以形成栅介质层及反熔丝介质层;

在介质材料层上形成栅极;

在栅极两侧的鳍中形成源漏区;

在源漏区上的介质材料层上形成上电极。

10.根据权利要求6-8中任一项所述的制造方法,其特征在于,在鳍的表面上形成栅介质层、栅介质层上的栅极以及反熔丝介质层、反熔丝介质层之上的上电极的步骤包括:

在鳍上依次形成栅介质层以及栅极;

在栅极两侧的鳍上形成源漏区;

在源漏区上依次形成反熔丝介质层及上电极。

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