基板结构及其制法的制作方法

文档序号:12478047阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板结构,其特征为,该基板结构包括:

基板本体,其具有相对的第一表面及第二表面,并于该基板本体中具有至少一连通该第一表面的导电柱,且该导电柱凸出该第二表面;

绝缘层,其形成于该基板本体的第二表面与该导电柱上,且令该导电柱的部分面积外露出该绝缘层;以及

导电体,其形成于外露出该绝缘层的该导电柱的部分面积上。

2.如权利要求1所述的基板结构,其特征为,该基板本体为半导体板体。

3.如权利要求1所述的基板结构,其特征为,该基板本体的第一表面上形成有线路部。

4.如权利要求1所述的基板结构,其特征为,该导电体为焊锡凸块或焊锡层。

5.如权利要求1所述的基板结构,其特征为,该绝缘层形成有开孔,以令该导电柱的部分面积外露于该开孔。

6.如权利要求5所述的基板结构,其特征为,该开孔的孔径小于该导电柱的端面宽度。

7.如权利要求1所述的基板结构,其特征为,该导电柱凸出该绝缘层,以令该导电柱的端部外露于该绝缘层。

8.一种基板结构的制法,其特征为,该制法包括:

提供一具有相对的第一表面及第二表面的基板本体,其中,该基板本体中具有至少一连通该第一表面的导电柱,且该导电柱凸出该第二表面;

形成绝缘层于该基板本体的第二表面与该导电柱上;

于该绝缘层上形成开孔,以令该导电柱的部分面积外露于该开孔;以及

形成导电凸块于该开孔中,以令该导电凸块电性连接该导电柱。

9.如权利要求8所述的基板结构的制法,其特征为,该基板本体为半导体板体。

10.如权利要求8所述的基板结构的制法,其特征为,该基板本体的第一表面上形成有线路部。

11.如权利要求8所述的基板结构的制法,其特征为,该导电凸块为焊锡凸块。

12.如权利要求8所述的基板结构的制法,其特征为,该开孔的孔径小于该导电柱的端面宽度。

13.一种基板结构的制法,其特征为,该制法包括:

提供一具有相对的第一表面及第二表面的基板本体,其中,该基板本体中具有至少一连通该第一表面的导电柱,且该导电柱凸出该第二表面;

形成绝缘层于该基板本体的第二表面与该导电柱上;

移除该绝缘层的部分材质,使该导电柱凸出该绝缘层;以及

形成导电层于该导电柱凸出该绝缘层的部分上,以令该导电层电性连接该导电柱。

14.如权利要求13所述的基板结构的制法,其特征为,该基板本体为半导体板体。

15.如权利要求13所述的基板结构的制法,其特征为,该基板本体的第一表面上形成有线路部。

16.如权利要求13所述的基板结构的制法,其特征为,该导电层为焊锡层。

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