技术总结
本发明是改善使用CARE法的基板处理装置。一种基板处理装置，用于在处理液的存在下使基板与催化剂接触而研磨基板的被处理区域，具备：基板保持部，被构成为保持基板；催化剂保持部，被构成为保持催化剂；以及驱动部，被构成为在基板的被处理区域与催化剂接触的状态下，使基板保持部与催化剂保持部相对移动。催化剂比基板小。
技术研发人员：小畠严贵;八木圭太;渡边和英;盐川阳一;丸山彻;高桥信行
受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所
文档号码：201580020452
技术研发日：2015.04.17
技术公布日：2016.12.21