技术特征:
技术总结
本发明提供了一种氮化镓晶体管的制备方法,该方法包括:在硅衬底上依次生长氮化镓缓冲层及铝镓氮势垒层;在铝镓氮势垒层上依次沉积氮化硅钝化层和第一PETEOS氧化层;在沉积第一PETEOS氧化层后形成的图案上制备欧姆接触电极;在制备欧姆接触电极后形成的图案上制备栅极和栅场板;在制备栅极和栅场板后形成的图案上沉积第二PETEOS氧化层;在沉积第二PETEOS氧化层后形成的图案上制备源场板。该方法在器件上制备栅场板的同时制备源场板,能够调整电场分布,降低栅极边缘电场密度,提高器件的耐压性。
技术研发人员:刘美华;孙辉;林信南;陈建国
受保护的技术使用者:北京大学;北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
技术研发日:2016.03.25
技术公布日:2017.10.03