技术总结
于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。
技术研发人员：青木保夫;滨田智秀;白数广;户口学;
受保护的技术使用者：株式会社尼康;
文档号码：201610282679
技术研发日：2010.08.17
技术公布日：2016.09.21