1.一种半导体装置的制造方法,所述半导体装置中承载半导体芯片的岛部的背面从密封树脂露出,其特征在于包括:
成形由岛部和内部引线和外部引线构成的引线框的工序;
在所述岛部上承载半导体芯片的工序;
经由导线连接所述半导体芯片和所述内部引线的工序;以及
树脂密封所述岛部、所述半导体芯片、所述内部引线及所述导线的工序,
成形所述引线框的工序中,将成为岛部的片材置于小片,抵接由内冲头和冲头导槽和外冲头构成的成形模具,同时成形与所述内冲头抵接的凹部、与所述冲头导槽抵接的突出壁、和与所述外冲头抵接的薄壁部。
2.如权利要求1所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:在成形所述引线框的工序中,使用所述内冲头和所述冲头导槽的阶梯差可变的成形模具。
3.如权利要求1所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:在成形所述引线框的工序中,使用所述内冲头和所述外冲头的间隔可变的成形模具。
4.如权利要求1所述的半导体装置的制造方法,其特征在于:在所述树脂密封的工序中,在模具内的空腔的中央设置浇口,在比所述空腔的中央靠下方设置所述薄壁部,从所述浇口进行树脂注入。
5.一种半导体装置,承载半导体芯片的岛部的背面从密封树脂露出,其具有:
岛部,在背面的周围具有向下方突出的突出壁和被所述突出壁包围的凹部,在周围的上端部具有向侧方突出的薄壁部;
半导体芯片,承载于所述岛部的表面;
内部引线,通过导线与所述半导体芯片连接;
外部引线,从所述内部引线延伸;以及
树脂,使所述岛部的背面露出,密封所述岛部的表面及侧面、所述薄壁部、所述半导体芯片、所述内部引线及所述导线。