本发明涉及太阳能电池领域，具体涉及一种激光SE电池的制备方法。
背景技术：
：目前，发展高效电池技术是提高太阳能电池效率的关键。比较成熟的高效电池技术以选择性发射极(selectiveemitter,SE)电池为主，其特征为：1)在电极栅线下及其附近形成高掺杂深扩散区；2)在光照区域形成低掺杂浅扩散区。通过对发射区选择性掺杂，在栅线接触区域和其他区域实现不同扩散方阻的效果，降低了串联电阻。常规P型硅片电池片制程包括以下工艺步骤：硅片制绒一扩散一刻蚀一镀膜一印刷一烧结。选择性发射机扩散的常规技术主要为扩散炉扩散，需要高温，热能耗大，成本高，且效率低。技术实现要素：本发明的目的在于提供一种激光SE电池的制备方法，能够利用激光打点的方式，低成本高效率地加大二次扩散的深浅差异，提高选择性。本发明的技术方案是：一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤：1)用金刚线切割硅片至所需形状；2)置于NaOH、乙二醇、SnCl2混合液中制绒；3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理；4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上；5)置于扩散炉，300～500℃通入POCl3混合物2～3min；6)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，对硅片表面进行激光扫描；7)将激光扫描过的硅片用酸性混合液刻蚀；8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。优选地，所述步骤1)硅片为P型多晶硅片。用金刚线切割硅片，不仅成本降低，使用周期延长，而且硅片表面平整，薄片化效果好。优选地，所述步骤2)混合液由以下重量百分比的组分组成：NaOH24％、乙二醇5～10％、SnCl21～3％，余量为水。常规碱性制绒液中添加SnCl2，可提高制绒效果和均匀度，有利于附着在多晶硅表面的气泡脱离。优选地，所述步骤3)中盲孔的孔深为100～150μm，盲孔的孔径为50～100μm。通过激光打点的方式，硅片表面形成均匀的盲孔结构，对应的盲孔周围形成有凸点，这样在涂抹扩散时，孔内实现磷的重掺杂深扩散，凸点部分形成轻掺杂浅扩散。这样的表面不仅可以实现高效率选择性发射，而且吸光效率提高，光电转化效率提高。优选地，所述步骤5)POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成：POCl350～70％，O25～10％，余量为N2。优选地，所述步骤6)中有机溶剂由以下重量百分比的组分组成：三乙基氧化磷1～5％，磷酸三辛基酯10～15％，余量为异丙醇。涂抹的有机溶剂大多沉积在硅片表面的孔内，有助于激光扫描时孔内磷扩散的进一步加深，而与凸点的浅扩散差异进一步增大，提高电池发射的选择性。优选地，所述步骤6)扫描所用仪器为飞秒激光器。使用飞秒激光器，可将各物质分子变为等离子体，快速、高效、低能耗地实现二次扩散。优选地，所述步骤7)酸性混合液由以下重量百分比的组分组成：HF1～3％、H2O25～10％，NH4F5～15％，余量为水。将激光扫描过的硅片用酸性混合液刻蚀，去除硅片表面的磷硅玻璃及边缘形成的自扩散层，刻蚀效率高，去除后规则整洁。本发明具有以下有益的技术效果：1)利用激光打点的方式，低成本高效率地促进二次扩散的深浅差异，提高选择性；2)使用飞秒激光器，可将各物质分子变为等离子体，快速、高效、低能耗地实现二次扩散；3)分别使用磷墨、POCl3和有机溶剂在不同阶段，提升各阶段磷扩散的效率。【具体实施方式】以下结合具体实施例，对本发明做进一步描述。以下所提供的实施例并非用以限制本发明所涵盖的范围，所描述的步骤也不是用以限制其执行顺序。本领域技术人员结合现有公知常识对本发明做显而易见的改进，亦落入本发明要求的保护范围之内。实施例一一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤：1)用金刚线切割P型多晶硅片至所需形状；2)置于NaOH、乙二醇、SnCl2混合液中制绒；所述混合液由以下重量百分比的组分组成：NaOH2％、乙二醇5％、SnCl21％，余量为水；3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理；所述盲孔的孔深为100μm，盲孔的孔径为50μm；4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上；5)置于扩散炉，300℃通入POCl3混合物3min；所述POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成：POCl350％，O25％，余量为N2；6)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，使用飞秒激光器对硅片表面进行激光扫描；所述有机溶剂由以下重量百分比的组分组成：三乙基氧化磷1％，磷酸三辛基酯10％，余量为异丙醇；7)将激光扫描过的硅片用酸性混合液刻蚀；所述酸性混合液由以下重量百分比的组分组成：HF1％、H2O25％，NH4F5％，余量为水；8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。实施例二一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤：1)用金刚线切割P型多晶硅片至所需形状；2)置于NaOH、乙二醇、SnCl2混合液中制绒；所述混合液由以下重量百分比的组分组成：NaOH4％、乙二醇10％、SnCl23％，余量为水；3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理；所述盲孔的孔深为150μm，盲孔的孔径为100μm；4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上；5)置于扩散炉，500℃通入POCl3混合物2min；所述POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成：POCl370％，O210％，余量为N2；6)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，使用飞秒激光器对硅片表面进行激光扫描；所述有机溶剂由以下重量百分比的组分组成：三乙基氧化磷5％，磷酸三辛基酯15％，余量为异丙醇；7)将激光扫描过的硅片用酸性混合液刻蚀；所述酸性混合液由以下重量百分比的组分组成：HF3％、H2O210％，NH4F15％，余量为水；8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。实施例三一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤：1)用金刚线切割P型多晶硅片至所需形状；2)置于NaOH、乙二醇、SnCl2混合液中制绒；所述酸性混合液由以下重量百分比的组分组成：NaOH2％、乙二醇8％、SnCl22％，余量为水；3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理；所述盲孔的孔深为120μm，盲孔的孔径为80μm；4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上；5)置于扩散炉，400℃通入POCl3混合物2.5min；所述POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成：POCl360％，O28％，余量为N2；6)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，使用飞秒激光器对硅片表面进行激光扫描；所述有机溶剂由以下重量百分比的组分组成：三乙基氧化磷3％，磷酸三辛基酯12％，余量为异丙醇；7)将激光扫描过的硅片用酸性混合液刻蚀；所述混合液由以下重量百分比的组分组成：HF2％、H2O28％，NH4F10％，余量为水；8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。对比例一一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤：1)用金刚线切割P型多晶硅片至所需形状；2)置于NaOH、乙二醇、SnCl2混合液中制绒；所述酸性混合液由以下重量百分比的组分组成：NaOH2％、乙二醇8％、SnCl22％，余量为水；3)涂抹磷墨在制绒后的硅片表面上；4)置于扩散炉，400℃通入POCl3混合物2.5min；所述POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成：POCl360％，O28％，余量为N2；5)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，使用飞秒激光器对硅片表面进行激光扫描；所述有机溶剂由以下重量百分比的组分组成：三乙基氧化磷3％，磷酸三辛基酯12％，余量为异丙醇；6)将激光扫描过的硅片用酸性混合液刻蚀；所述混合液由以下重量百分比的组分组成：HF2％、H2O28％，NH4F10％，余量为水；7)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。对比例二一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤：1)用金刚线切割P型多晶硅片至所需形状；2)置于NaOH、乙二醇、SnCl2混合液中制绒；所述酸性混合液由以下重量百分比的组分组成：NaOH2％、乙二醇8％、SnCl22％，余量为水；3)涂抹磷墨在制绒后的硅片表面上；4)使用飞秒激光器对硅片表面进行激光局部扫描，在激光扫描区域实现磷的重掺杂；5)置于扩散炉，400℃通入POCl3混合物2.5min；所述POCl3混合物由以下重量百分比的组分组成：POCl360％，O28％，余量为N2；6)用酸性混合液刻蚀；所述混合液由以下重量百分比的组分组成：HF2％、H2O28％，NH4F10％，余量为水；7)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。表1：实施例三、对比例一、对比例二的电池性能参数转换效率(％)反射率(％)实施例三22.64.2对比例一18.76.7对比例二20.913.8从上表可以看出，采用激光打点后扩散炉扩散、涂抹有机溶剂激光扫描制备的激光SE电池转换效率高，反射率低，性能最佳。当前第1页1 2 3