检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的检查装置包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。

技术研发人员：佐田彻也;佐竹顺;植田稔彦;西山淳
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2016.10.09
技术公布日：2017.07.07