1.一种图案化石墨烯电极的制备方法,包括:
(1)用化学气相沉积法在铜箔上沉积石墨烯;
(2)在所述沉积有石墨烯的铜箔上旋涂2-5wt%的聚甲基丙烯酸甲酯的氯苯溶液;
(3)待氯苯挥发后,将所述旋涂后的铜箔浸泡入过硫酸铵溶液中,蚀刻掉铜箔,得到石墨烯膜附着的聚甲基丙烯酸甲酯膜;
(4)将所述石墨烯膜附着的聚甲基丙烯酸甲酯膜转移到附有100-500nm厚SiO2的n型重掺杂硅片上,用丙酮清洗除去聚甲基丙烯酸甲酯膜,在硅片上得到石墨烯膜;
(5)将所述石墨烯膜旋涂光刻胶,UV光刻技术图案化光刻胶,用氧离子反应蚀刻去掉没有光刻胶覆盖的石墨烯,接着用丙酮除去光刻胶,得到图案化的石墨烯电极。