晶体硅绒面的制备方法与流程

文档序号:12129656阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶体硅绒面的制备方法,其特征是,该方法为在硅片表面涂覆光刻胶作为掩膜,对掩膜材料曝光显影,形成特定图形,然后对硅片进行酸或者碱溶液的腐蚀,在硅片表面形成坑状绒面。

2.根据权利要求1所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,所述光刻胶是商业化的正性光刻胶或者负性光刻胶,光刻胶能够耐酸或者耐碱溶液的腐蚀。

3.根据权利要求1所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,硅片表面涂覆光刻胶之后,使用具有特定图形的掩膜版对光刻胶进行曝光显影处理,在光刻胶上形成特定的图形。

4.根据权利要求3所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,所述掩膜版是玻璃、苏打、或者石英材料中的一种。

5.根据权利要求4所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,掩膜版上的图形是圆形、或者正多边形中的一种或者几种,图形的直径或者内切圆直径介于0.1um~5um之间,图形中心间距介于0.3um~20um之间。

6.根据权利要求2所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,所述酸溶液是氢氟酸、硝酸、氟化铵、去离子水中的两种或者两种以上液体的混合溶液,任意该溶液的比例介于0%~80%之间。

7.根据权利要求2所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,所述碱溶液是氢氧化钾、氢氧化钠、乙二胺邻苯二酚和四甲基氢氧化铵、去离子水中的两种或者几种液体的混合溶液,任意该溶液的比例介于0%~90%之间。

8.根据权利要求2所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,酸或者碱溶液的腐蚀过程中,工艺温度介于0~90℃之间。

9.根据权利要求2所述的晶体硅绒面的制备方法,其特征是,酸或者碱腐蚀过程中,伴随有机械搅拌、气体搅拌或者超声搅拌中的一种或者几种。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1