技术总结
本实用新型公开了一种反应离子刻蚀设备，包括腔体和位于所述腔体内部的上电极和下电极，所述上电极通过硬质螺钉和所述腔体固定连接，所述硬质螺钉的端部连接有耐高温螺帽。应用本实用新型提供的反应离子刻蚀设备时，在腔体内部，上电极和腔体采用硬质螺钉固定连接，因此当该反应离子刻蚀设备在工作过程中发生震动时，硬质螺钉不会产生明显形变，在震动过程中不会轻易松动，因此上电极的固定效果十分牢固。同时耐高温螺帽避免了硬质螺钉被刻蚀，进一步保障了硬质螺钉使用过程中的稳定性和可靠性。采用上述结构设计，使得反应离子刻蚀设备的上电极可以得到稳定的固定，不会轻易发生打火故障。
技术研发人员：周超;卫志敏;何文新;张何;蒋方丹;金浩
受保护的技术使用者：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
文档号码：201621071715
技术研发日：2016.09.22
技术公布日：2017.03.08