GaN基肖特基二极管结构的制作方法

文档序号:11726989阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种GaN基肖特基二极管结构,特征是:包括衬底、位于衬底上的GaN层、位于GaN层上的AlGaN层、阴极金属和阳极金属,阴极金属同时与GaN层和AlGaN层欧姆接触,阳极金属设置于AlGaN层上表面,阳极金属与AlGaN层肖特基接触。在所述衬底和GaN层之间设有缓冲层。本实用新型所述GaN基肖特基二极管结构,在衬底基板第一主面设有AlGaN层,在AlGaN层和衬底基板之间设有GaN层;在本体左侧设有欧姆接触电极(Cathode),欧姆接触电极同时与AlGaN和GaN层形成欧姆接触;在本体右侧设有肖特基接触电极(Anode)。如果在肖特基接触电极(Anode)增加一定的电压,在AlGaN层和GaN层的接触表面会形成电子通道。

技术研发人员:周祥瑞;冷德武;王毅
受保护的技术使用者:扬州扬杰电子科技股份有限公司
文档号码:201621115450
技术研发日:2016.10.11
技术公布日:2017.07.14

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