一种透射电镜样品杆真空存储与测试装置的制作方法

文档序号:12514458阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于透射电镜样品杆的真空存储与测试装置,其特征在于:该装置包括可移动机架,真空泵系统,真空测量组件与显示系统,阀门系统,真空罩,样品杆存储组件及堵塞;

所述的真空泵系统包括涡旋干泵与分子泵,可移动机架上设置分子泵,分子泵通过前级阀与涡旋干泵连接,涡旋干泵通过预抽阀和主管道连接;

所述的真空罩用于连接主阀,并连接分子泵与电离规;电离规安装在真空罩上通过真空计显示,电阻规安装在主管道通过真空计显示;

所述的阀门系统包括前级阀、预抽阀、主阀、放气阀,前级阀用于控制涡旋干泵与分子泵之间连通/断开,预抽阀用于控制涡旋干泵与样品杆存储组件连通/断开,主阀用于控制分子泵与样品杆存储组件连通/断开,放气阀用于插拔样品杆时排气,便于拔出样品杆;

所述的样品杆存储组件主管道上设有多个工位,支撑法兰管套与主管道通过螺钉连接,两者之间装有密封圈保证真空,玻璃管嵌入主管道,外接法兰套管通过螺钉与管道主体连接;主管道、玻璃管与外接法兰套管三者之间的真空密封。

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