技术总结
本实用新型涉及一种复合衬底，其包括硅衬底层以及用于生长外延层的蓝宝石衬底层；所述蓝宝石衬底层键合在所述硅衬底层上。上述复合衬底，由蓝宝石衬底层与硅衬底层采用键合工艺成为一体，该复合衬底，可以在蓝宝石衬底层上生长高质量的外延层(例如高质量的氮化镓层)，从而可以制造出性能优异的电力器件，同时该复合衬底的硅衬底层，可以满足大尺寸主流生产线的需求，与现有的硅衬底工艺兼容；从而可以有效降低电力器件的成本较低。本实用新型还公开了一种外延片及电力器件。
技术研发人员：林岳明
受保护的技术使用者：苏州爱彼光电材料有限公司
文档号码：201621353353
技术研发日：2016.12.09
技术公布日：2017.10.13