滤光器阵列的制作方法

文档序号:11477509阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种装置可以包括设置在基板上的滤光器阵列。滤光器阵列可以包括设置在基板上的第一反射镜。滤光器阵列可以包括设置在第一反射镜上的多个间隔件。多个间隔件的第一间隔件可以与第一厚度相关。多个间隔件的第二间隔件可以与第二厚度相关,所述第二厚度与第一厚度不同,对应于第一间隔件的第一通道和对应于第二间隔件的第二通道与小于大约10微米(μm)的分离宽度相关。滤光器阵列可以包括设置在多个间隔件上的第二反射镜层。

技术研发人员:G.J.奥肯菲斯
受保护的技术使用者:唯亚威解决方案股份有限公司
技术研发日:2017.02.13
技术公布日:2017.08.22
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