技术特征：
技术总结
本发明公开了一种弧形栅‑漏复合场板电流孔径异质结器件，其自下而上包括：肖特基漏极(13)、衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个二级阶梯结构的电流阻挡层(4)、孔径(5)、沟道层(6)、势垒层(7)、帽层(8)与栅极(10)，该帽层的两侧刻有台阶(9)，沟道层和势垒层的两侧刻有源槽(11)，源槽中淀积有源极(12)，在肖特基漏极底部以外的区域覆盖有钝化层(14)，钝化层左右两边的上部和背面分别刻有弧形台阶，弧形台阶上淀积有金属，形成弧形栅场板(15)和弧形漏场板(16)，弧形栅场板和弧形漏场板分别与栅极和肖特基漏极电气连接。本发明双向阻断好、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。
技术研发人员：毛维;王海永;彭紫玲;郝跃
受保护的技术使用者：西安电子科技大学
技术研发日：2017.03.29
技术公布日：2017.09.15