监控衬底涂布位置的方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种监控衬底涂布位置的方法。

背景技术：

平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(liquidcrystaldisplay，lcd)及有机发光二极管显示器件(organiclightemittingdisplay，oled)。

有机发光二极管显示器件由于同时具备自发光，不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异特性，被认为是下一代平面显示器的新兴应用技术。oled显示装置按照驱动方式可以分为无源矩阵型oled(passivematrixoled，pmoled)和有源矩阵型oled(activematrixoled，amoled)两大类，即直接寻址和薄膜晶体管(thinfilmtransistor，tft)矩阵寻址两类。其中，amoled具有呈阵列式排布的像素，属于主动显示类型，发光效能高，性能优异。

oled显示装置通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的有机发光层、以及设于有机发光层上的阴极。工作时向有机发光层发射来自阳极的空穴和来自阴极的电子，将这些电子和空穴组合产生激发性电子-空穴对，并将激发性电子-空穴对从受激态转换为基态实现发光。

柔性显示是oled显示装置的一大特色，可变型可弯曲的柔性显示装置能够给用户带来颠覆性的使用体验。现有的柔性oled显示面板的制作过程为：首先在玻璃基板上涂布柔性衬底材料，形成柔性衬底，随后在所述柔性衬底上覆盖无机薄膜，然后在所述无机薄膜上制作oled显示结构，得到柔性oled显示面板；其中所述柔性衬底材料通常为聚酰亚胺(polyimide，pi)，为防止柔性衬底材料对后续工艺造成污染，无机薄膜必须完全覆盖柔性衬底，因此，制程过程中需要对柔性衬底材料的涂布位置进行监控，现有技术采用的监控方法通常为利用人工手动测量涂布后的柔性衬底的四边距离玻璃基板的四边的距离，再将测量值与设计值进行比较，以判断柔性衬底的位置是否偏离设计值，这种方法操作繁琐，精度差，且容易因为人员过分靠近基板，给基板上增加杂质。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种监控衬底涂布位置的方法，能够自动监控衬底涂布位置，提升衬底涂布位置的监控效率，减少因衬底涂布位置不佳带来的工艺问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种监控衬底涂布位置的方法，包括如下步骤：

步骤s1、提供一玻璃基板，在所述玻璃基板上涂布柔性衬底材料，形成柔性衬底；

步骤s2、在所述柔性衬底和玻璃基板上沉积无机薄膜材料，得到一透明的无机层；

步骤s3、在所述无机层上沉积光阻层，对所述光阻层进行图案化，得到数个与所述玻璃基板的边缘垂直的条状的位置监控标记；

所述数个位置监控标记围绕所述玻璃基板的四边间隔排列，所述玻璃基板的每一条边对应至少一个位置监控标记，每一个位置监控标记的中点到所述玻璃基板的边缘的距离小于柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的设计值，每一个位置监控标记远离所述玻璃基板的边缘的一端到所述玻璃基板的边缘的距离大于柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的设计值；

每一个位置监控标记均包括：沿所述位置监控标记的延伸方向等距间隔排列的刻度线；

步骤s4、拍摄所述玻璃基板上柔性衬底及位置监控标记的画面，并根据拍摄到的画面和位置监控标记上的刻度线识别柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的实际值，比较所述柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的实际值和柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的设计值，以监控所述衬底涂布精度。

所述无机层包括：无机绝缘层、以及位于所述无机绝缘层上的非晶硅层。

所述无机绝缘层的材料为氧化硅和氮化硅中的一种或多种的组合。

所述步骤3中对光阻层图案化后还得到用于图案化所述非晶硅层的光阻图案。

所述柔性衬底材料为聚酰亚胺。

所述刻度线包括：交替排列的多个主刻度线和多个副刻度线，所述主刻度线的高度大于所述副刻度线的高度。

相邻的两个主刻度线之间的距离为1mm，相邻的一个主刻度线和一个副刻度线之间的距离为0.5mm。

每一个位置监控标记还包括：对应每一个主刻度线设置的刻度值，所述刻度值表示其所对应的主刻度线到所述玻璃基板的边缘的距离。

所述步骤s4中通过自动光学检测机台拍摄所述玻璃基板上柔性衬底及位置监控标记的画面。

本发明的有益效果：本发明提供一种监控衬底涂布位置的方法，通过在柔性衬底上的无机层上形成光阻层，并图案化所述光阻层得到数个带刻度线的位置监控标记，之后拍摄所述位置监控标记以及柔性衬底的画面，进而通过位置监控标记上的刻度线识别出柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的实际值，再将该柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的实际值与柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的设计值进行比较，即可得出柔性衬底的位置是否存在偏移，相比于现有的人工测量的方法，能够自动监控衬底涂布位置，提升衬底涂布位置的监控效率，减少因衬底涂布位置不佳带来的工艺问题。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明的监控衬底涂布位置的方法的步骤s1和步骤s2的俯视图；

图2为本发明的监控衬底涂布位置的方法的步骤s2的剖面图；

图3为本发明的监控衬底涂布位置的方法的步骤s3的俯视图；

图4为本发明的监控衬底涂布位置的方法中位置监控标记的示意图；

图5为本发明的监控衬底涂布位置的方法的步骤s4的示意图；

图6为本发明的监控衬底涂布位置的方法的流程图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图6，本发明提供一种监控衬底涂布位置的方法，包括如下步骤：

步骤s1、如图1所示，提供一玻璃基板1，在所述玻璃基板1上涂布柔性衬底材料，形成柔性衬底2。

具体地，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺(polyimide，pi)，所述柔性衬底2形成于所述玻璃基板1的中央，其边缘距离所述玻璃基板1的边缘间隔一段距离。

步骤s2、如图1和图2所示，在所述柔性衬底2和玻璃基板1上沉积无机薄膜材料，得到一透明的无机层3。

具体地，所述无机层3包括：无机绝缘层31、以及位于所述无机绝缘层31上的非晶硅(a-si)层32。优选地，所述无机绝缘层31的材料为氧化硅和氮化硅中的一种或多种的组合。

步骤s3、如图3和图4所示，在所述无机层3上沉积光阻层，对所述光阻层进行图案化，得到数个与所述玻璃基板1的边缘垂直的条状的位置监控标记41。

所述数个位置监控标记41围绕所述玻璃基板1的四边间隔排列，所述玻璃基板1的每一条边对应至少一个位置监控标记41，每一个位置监控标记41的中点到所述玻璃基板1的边缘的距离小于柔性衬底2的边缘到玻璃基板1的边缘的距离的设计值，每一个位置监控标记41远离所述玻璃基板1的边缘的一端到所述玻璃基板1的边缘的距离大于柔性衬底2的边缘到玻璃基板1的边缘的距离的设计值；

每一个位置监控标记41均包括：沿所述位置监控标记41的延伸方向等距间隔排列的刻度线411。

具体地，所述步骤3中对光阻层图案化后还得到用于图案化所述非晶硅层32的光阻图案，也即所述光阻层为现有技术中用于图案化非晶硅层32的光阻层，通过在现有的光罩(mask)中增加位置监控标记41的图案，使得位置监控标记41和用于图案化所述非晶硅层32的光阻图案同时形成，无需增加新的光罩制程，在完成现有制程的同时完成对衬底位置的监控，提升衬底涂布位置的监控效率，提升生产效率。

具体地，如图4所示，所述刻度线411包括：交替排列的多个主刻度线4111和多个副刻度线4112，所述主刻度线4111的高度大于所述副刻度线4112的高度，进一步地，相邻的两个主刻度线4111之间的距离为1mm，相邻的一个主刻度线4111和一个副刻度线4112之间的距离为0.5mm，同时，在每一个位置监控标记41中，对应每一个主刻度线4111设置刻度值412，所述刻度值412表示其所对应的主刻度线4111到所述玻璃基板1的边缘的距离。

步骤s4、如图5所示，拍摄所述玻璃基板1上柔性衬底2及位置监控标记41的画面，并根据拍摄到的画面和位置监控标记41上的刻度线411识别柔性衬底2的边缘到玻璃基板1的边缘的距离的实际值，比较所述柔性衬底2的边缘到玻璃基板1的边缘的距离的实际值和柔性衬底2的边缘到玻璃基板1的边缘的距离的设计值，以监控所述衬底涂布精度。

举例说明，如图5所示，拍摄到的画面中，所述柔性衬底2的边缘位于所述刻度值7和8分别对应的主刻度线4111之间，也即所述柔性衬底2的边缘到所述玻璃基板1的边缘的距离为7mm至8mm，进一步地，所述柔性衬底2的边缘位于刻度值7和8分别对应的主刻度线4111之间的副刻度线4112的右侧，也即所述柔性衬底2的边缘到所述玻璃基板1的边缘的距离为7mm至7.5mm之间，若柔性衬底2的边缘到玻璃基板1的边缘的距离的设计值为8mm，则此时可判定所述柔性衬底2的边缘位置发生偏移，偏移距离为0.5mm至1mm，据此工作人员可以相应调整涂布柔性衬底机台的精度进行补值。

具体地，所述步骤s4中通过自动光学检测机台(aoi)拍摄所述玻璃基板1上柔性衬底2及位置监控标记41的画面，所述自动光学检测机台还会将拍摄得到的画面上传到对应的监控系统供工作人员查看。

综上所述，本发明提供一种监控衬底涂布位置的方法，通过在柔性衬底上的无机层上形成光阻层，并图案化所述光阻层得到数个带刻度线的位置监控标记，之后拍摄所述位置监控标记以及柔性衬底的画面，进而通过位置监控标记上的刻度线识别出柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的实际值，再将该柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的实际值与柔性衬底的边缘到玻璃基板的边缘的距离的设计值进行比较，即可得出柔性衬底的位置是否存在偏移，相比于现有的人工测量的方法，能够自动监控衬底涂布位置，提升衬底涂布位置的监控效率，减少因衬底涂布位置不佳带来的工艺问题。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。