涂敷装置、涂敷方法和有机EL显示器与流程

本发明涉及涂敷装置、涂敷方法和有机el显示器。

背景技术：

现有技术中，已知利用有机el(electroluminescence)的发光的发光二极管即有机发光二极管(oled：organiclightemittingdiode)。采用有机发光二极管的有机el显示器，薄、轻且电能消耗低，而且具有在响应速度或可视角、对比度的方面出色的优点。因此，作为下一代平板显示器(fpd)，近年来引人注目。

有机发光二极管包括：形成在基板上的阳极；以阳极为基准，设置在与基板相反一侧的阴极；和设置在阳极与阴极之间的有机层。有机层，例如从阳极向阴极去依次具有空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层。在发光层等的形成中，采用喷涂方式的涂敷装置。该涂敷装置将包含发光材料的涂敷液的液滴涂敷于基板上。通过干燥、烧结该涂敷层而形成发光层(例如，参照专利文献1)。

发光层例如形成有：包含发出红色光的红色发光材料的红色发光层；包含发出绿色光的绿色发光材料的绿色发光层；和包含发出蓝色光的蓝色发光材料的蓝色发光层。形成这些发光层所使用的涂敷液被涂敷于预先形成的隔堤的开口部。隔堤例如使用光致抗蚀剂形成，通过光刻处理形成规定的图案。隔堤通过将红色发光层用的涂敷液、绿色发光层用的涂敷液和蓝色发光层用的涂敷液隔开，来防止上述涂敷液混合。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-77966号公报

发明要解决的技术问题

图1为表示现有技术的例子中的涂敷装置所描绘的绘制图案的俯视图。图1中，对发光材料相同的区域施以相同的填充图案。另外，图1中，x方向和y方向为彼此正交的水平方向，z方向为与x方向和y方向正交的铅垂方向。y方向为排出相同涂敷液的液滴的多个喷嘴排列的列方向。另一方面，x方向为与y方向正交的扫描方向。此外，列方向和扫描方向可以交叉，也可以不正交。

有机el显示器在每个像素中例如具有发出红色光的红色发光区域2r、发出绿色光的绿色发光区域2g和发出蓝色光的蓝色发光区域2b。相邻的发光区域由隔堤5隔开，隔堤5将全部发光区域逐个包围起来。

红色发光区域2r、绿色发光区域2g和蓝色发光区域2b，以该顺序在x方向隔开间隔地反复排列，从而形成发光区域组3。该发光区域组3在与x方向交叉的y方向上隔开间隔地排列。因此，在y方向上，发出相同颜色的光的发光区域反复排列。

涂敷装置一边改变相对于y方向上排列的多个喷嘴的、基板的x方向的位置，一边从喷嘴向隔堤5的开口部排出液滴。

近年，为了使有机el显示器的像素密度变大，要求缩小子像素的发光区域的面积。为此，发光区域的x方向的尺寸越来越接近从喷嘴排出的液滴的直径。

现有技术中，液滴在x方向上的着落位置的容许误差小，如果液滴在x方向的着落位置从目标位置稍微偏离，则涂敷液会从隔堤5的开口部溢出，存在不同种类的涂敷液混合的情况。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述问题而完成的，其主要目的为，提供一种能够放宽液滴在扫描方向上的着落位置的容许误差的涂敷装置。

用于解决问题的技术手段

为解决上述问题，本发明的一个方式提供一种涂敷装置，其具有：包含多个喷头的排出单元，上述喷头在第一方向上排列设置有多个喷嘴；保持基板的基板保持部；和在与上述第一方向交叉的第二方向上使上述排出单元和上述基板保持部相对移动的移动机构，上述排出单元从上述喷嘴向预先形成在由上述基板保持部保持的上述基板上的隔堤的各开口部排出用于形成发光层的液滴，上述发光层具有由发出不同颜色的光的多个发光区域按规定顺序在上述第二方向上隔开间隔地排列而成的发光区域组，至少一个上述开口部跨隔开间隔地在上述第二方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域。

发明效果

根据本发明的一个方式，提供一种能够放宽在扫描方向液滴的着落位置的容许误差的涂敷装置。

附图说明

图1表示现有技术的例子中的涂敷装置所描绘的绘制图案的俯视图。

图2为表示一个实施方式中的有机el显示器的俯视图。

图3为表示一个实施方式中的有机el显示器的主要部分的剖视图。

图4为表示一个实施方式中的有机发光二极管的制造方法的流程图。

图5为表示一个实施方式中的形成有涂敷层的基板的剖视图。

图6为表示将图5的涂敷层减压、干燥后的基板的剖视图。

图7为表示一个实施方式中的基板处理系统的俯视图。

图8为表示一个实施方式中的涂敷装置的俯视图。

图9为表示一个实施方式中的涂敷装置的侧视图。

图10为表示一个实施方式中的涂敷装置所描绘的绘制图案的俯视图。

图11为表示第一变形例中的绘制图案的俯视图。

图12为表示第二变形例中的绘制图案的俯视图。

附图标记说明

10基板

13有机发光二极管

21阳极

22阴极

23有机层

26发光层

26r红色发光层

26g绿色发光层

26b蓝色发光层

261r红色发光区域

261g绿色发光区域

261b蓝色发光区域

262发光区域组

31开口部

31r红色用开口部

31g绿色用开口部

31b蓝色用开口部

100基板处理系统

123a涂敷装置

151卡盘

152卡盘驱动部

160液滴排出单元

161支承架

162喷头

163喷嘴。

具体实施方式

以下，参照附图，说明用于实施本发明的方式。在各附图中，对于相同或者相对应的结构，附以相同或者相对应的符号，并省略说明。

<有机el显示器>

图2为表示一个实施方式中的有机el显示器的俯视图。图2中放大表示了一个单位电路11的电路。

有机el显示器具有：基板10；在基板10上排列的多个单位电路11；在基板10上设置的扫描线驱动电路14；和在基板10上设置的数据线驱动电路。在由与扫描线驱动电路14连接的多个扫描线16和与数据线驱动电路15连接的多个数据线17围成的区域中，设置单位电路11。单位回路11包含tft层12和有机发光二极管13。

tft层12具有多个tft(thinfilmtransistor：薄膜晶体管)。一种tft具有开关元件的功能，另一种tft具有控制有机发光二极管13中流过的电流量的电流控制用元件的功能。tft层12通过扫描线驱动电路14和数据线驱动电路15来工作，向有机发光二极管13供给电流。tft层12设置于每个单位回路，多个单位回路11能够独立地控制。此外，tft层12可以为一般的结构，不限于图2所示的结构。

此外，关于有机el显示器的驱动方式，在本实施方式中为有源矩阵方式，但也可以为无源矩阵方式。

图3为表示一个实施方式中的有机el显示器的主要部分的剖视图。作为基板10，采用玻璃基板或者树脂基板等透明基板。在基板10上形成有tft层12。在tft层12上形成有使由tft层12形成的高低差平坦化的平坦化层18。

平坦化层18具有绝缘性。在贯通平坦化层18的接触孔中形成有接触头19。接触头19将形成在平坦化层18的平坦面上的作为像素电极的阳极21与tft层12电连接。接触头19可以与阳极21采用相同的材料并同时形成。

有机发光二极管13形成在平坦化层18的平坦面上。有机发光二极管13具有：作为像素电极的阳极21；以像素电极为基准，设置在与基板10相反的一侧的作为相对电极的阴极22；和形成在阳极21与阴极22之间的有机层23。通过使tft层12工作，电压被施加于阳极21与阴极22之间，有机层发光。

阳极21，例如由ito(indiumtinoxide：氧化铟锡)等形成，能够使来自有机层23的光透过。透过阳极21的光，透过基板10，被取出到外部。阳极21设置于每个单位电路11。

阴极22，例如由铝等形成，将来自有机层23的光反射向有机层23。阴极22反射的光，透过有机层23或者阳极21、基板10，被取出到外部。阴极22是多个单位电路11共用的部件。

有机层23，例如从阳极21侧到阴极22侧依次具有空穴注入层24、空穴输送层25、发光层26、电子输送层27和电子注入层28。当对阳极21和阴极22之间施加电压时，空穴从阳极21被注入到空穴注入层24，并且电子从阴极22被注入到电子注入层28。被注入到空穴注入层24的空穴，通过空穴输送层25向发光层26输送。另外，被注入到电子注入层28的电子，通过电子输送层27向发光层26输送。由此，在发光层26中，空穴和电子复合，激励发光层26的发光材料，发光层26发光。

作为发光层26，例如如图10所示，形成有红色发光层26r、绿色发光层26g和蓝色发光层26b。红色发光层26r由发出红色的光的红色发光材料形成，绿色发光层26g由发出绿色的光的绿色发光材料形成，蓝色发光层26b由发出蓝色的光的蓝色发光材料形成。红色发光层26r、绿色发光层26g和蓝色发光层26b形成于隔堤30的开口部31。

隔堤30将红色发光层26r用的涂敷液、绿色发光层26g用的涂敷液与蓝色发光层26b用的涂敷液隔开，从而防止上述涂敷液的混合。隔堤30具有绝缘性，并且填埋贯通平坦化层18的接触孔。

<有机发光二极管的制造方法>

图4为表示一个实施方式中的有机发光二极管的制造方法的流程图。

首先，步骤s101中，进行作为像素电极的阳极21的形成。阳极21的形成中，例如采用蒸镀法。阳极21在平坦化层18的平坦面形成于每一个单位电路11。接触头19可以与阳极21一同形成。

接着，在步骤s102中，进行隔堤30的形成。隔堤30例如由光致抗蚀剂形成，通过光刻处理绘制规定的图案。在隔堤30的开口部31露出阳极21。

接着，在步骤s103中，进行空穴注入层24的形成。形成空穴注入层24时，采用喷涂法等。通过喷涂法在阳极21上涂敷空穴注入层24用的涂敷液，由此形成图5所示的涂敷层l。通过对该涂敷层l进行干燥、烧结，形成图6所示的空穴注入层24。

接着，在步骤s104中，进行空穴输送层25的形成。形成空穴输送层25时，与空穴注入层24的形成同样地采用喷涂法等。通过喷涂法在空穴注入层24上涂敷空穴输送层25用的涂敷液，由此形成涂敷层。通过对该涂敷层进行干燥、烧结，形成空穴输送层25。

接着，在步骤s105中，进行发光层26的形成。形成发光层26时，与空穴注入层24和空穴输送层25的形成同样地采用喷涂法等。通过喷涂法在空穴输送层25上涂敷发光层26用的涂敷液，由此形成涂敷层。通过对该涂敷层进行干燥、烧结，形成发光层26。

作为发光层26，例如形成有红色发光层26r、绿色发光层26g和蓝色发光层26b。红色发光层26r、绿色发光层26g和蓝色发光层26b，形成于隔堤30的开口部31。隔堤30将红色发光层26r用的涂敷液、绿色发光层26g用的涂敷液与蓝色发光层26b用的涂敷液隔开，从而防止上述涂敷液的混合。

接着，在步骤s106中，进行电子输送层27的形成。形成电子输送层27时，例如采用蒸镀法等。电子输送层27可以为多个单位电路11共用的部件，因此，不仅可以形成在隔堤30的开口部31内的发光层26上，也可以形成在隔堤30上。

接着，在步骤s107中，进行电子注入层28的形成。形成电子注入层28时，例如采用蒸镀法等。电子注入层28形成在电子输送层27上。电子注入层28可以为多个单位电路11共用的部件。

接着，在步骤s108中，进行阴极22的形成。形成阴极22时，例如采用蒸镀法等。阴极22形成在电子注入层28上。阴极22可以为多个单位电路11共用的部件。

此外，在有机el显示器的驱动方式不是有源矩阵方式，而是无源矩阵方式的情况下，阴极22形成为规定图案。

通过以上步骤，制造有机发光二极管13。有机层23中，在空穴注入层24、空穴输送层25和发光层26的形成中，采用基板处理系统100。

<基板处理系统>

图7为表示一个实施方式中的基板处理系统的俯视图。基板处理系统100，进行与图4的步骤s103～s105相当的各处理，在阳极21上形成空穴注入层24、空穴输送层25和发光层26。基板处理系统100具有搬入站110、处理站120、搬出站130和控制装置140。

搬入站110，从外部搬入收纳多个基板10的盒子c，并从盒子c将多个基板10依次取出。在各基板10预先形成tft层12、平坦化层18、阳极21、隔堤30等。

搬入站110包括：载置盒子c的盒子载置台111；设置在盒子载置台111和处理站120之间的搬运通路112；和设置于搬运通路112的基板搬运体113。基板搬运体113在载置于盒子载置台111的盒子c和处理站120之间搬运基板10。

处理站120在阳极21上形成空穴注入层24、空穴输送层25和发光层26。处理站120包括：形成空穴注入层24的空穴注入层形成部121；形成空穴输送层24的空穴输送层形成部122；和形成发光层26的发光层形成部123。

空穴注入层形成部121在阳极上涂敷空穴注入层24用的涂敷液而形成涂敷层，通过对该涂敷层进行干燥、烧结，形成空穴注入层24。空穴注入层24用的涂敷液包含有机材料和溶剂。该有机材料可以为聚合物和单体中的任意者。在为单体的情况下，也可以通过烧结而聚合，从而成为聚合物。

空穴注入层形成部121包括涂敷装置121a、缓冲装置121b、减压干燥装置121c、热处理装置121d和温度调节装置121e。涂敷装置121a向隔堤30的开口部31排出空穴注入层24用的涂敷液的液滴。缓冲装置121b暂时收纳等待处理的基板10。减压干燥装置121c对由涂敷装置121a涂敷的涂敷层进行减压、干燥，去除涂敷层中含有的溶剂。热处理装置121d对由减压干燥装置121c干燥后的涂敷层进行加热处理。温度调节装置121e将由热处理装置121d加热处理后的基板10的温度调节为规定温度，例如常温。

涂敷装置121a、缓冲装置121b、热处理装置121d和温度调节装置121e的内部维持为大气气氛。减压干燥装置121c的内部的气氛在大气气氛与减压气氛之间进行切换。

此外，在空穴注入层形成部121中，涂敷装置121a、缓冲装置121b、减压干燥装置121c、热处理装置121d和温度调节装置121e的配置或者个数、内部的气氛可以任意选择。

另外，空穴注入层形成部121包括基板搬运装置cr1～cr3和交接装置tr1～tr3。基板搬运装置cr1～cr3分别向相邻的各装置搬运基板10。例如，基板搬运装置cr1向相邻的涂敷装置121a和缓冲装置121b搬运基板10。基板搬运装置cr2向相邻的减压干燥装置121c搬运基板10。基板搬运装置cr3向相邻的热处理装置121d和温度调节装置121e搬运基板10。交接装置tr1～tr3分别依次设置于搬入站110与基板搬运装置cr1之间、基板搬运装置cr1与基板搬运装置cr2之间、基板搬运装置cr2与基板搬运装置cr3之间，在它们之间交接基板10。基板搬运装置cr1～cr3、交接装置tr1～tr3内部维持为大气气氛。

在空穴注入层形成部121的基板搬运装置cr3与空穴输送层形成部122的基板搬运装置cr4之间设置有在它们之间交接基板10的交接装置tr4。交接装置tr4内部维持为大气气氛。

空穴输送层形成部122在空穴注入层24上涂敷空穴输送层25用的涂敷液而形成涂敷层，通过对该涂敷层进行干燥、烧结，形成空穴输送层25。空穴输送层25用的涂敷液包含有机材料和溶剂。该有机材料可以为聚合物和单体中的任意者。在为单体的情况下，也可以通过烧结而聚合，从而成为聚合物。

空穴注入层形成部122包括涂敷装置122a、缓冲装置122b、减压干燥装置122c、热处理装置122d和温度调节装置122e。涂敷装置122a向隔堤30的开口部31排出空穴输送层25用的涂敷液的液滴。缓冲装置122b暂时收纳等待处理的基板10。减压干燥装置122c对由涂敷装置122a涂敷的涂敷层进行减压、干燥，去除涂敷层中含有的溶剂。热处理装置122d对由减压干燥装置122c干燥后的涂敷层进行加热处理。温度调节装置122e将由热处理装置122d加热处理后的基板10的温度调节为规定温度，例如常温。

涂敷装置122a和缓冲装置122b的内部维持为大气气氛。另一方面，为了抑制空穴输送层25的有机材料的劣化，热处理装置122d和温度调节装置122e的内部维持为低氧且低露点的气氛。减压干燥装置122c的内部的气氛在低氧且低露点的气氛与减压气氛之间进行切换。

在此，低氧的气氛是指，氧浓度比大气低的气氛，例如氧浓度在10ppm以下的气氛。另外，低露点的气氛是指，露点温度比大气低的气氛，例如露点温度在-10℃以下的气氛。低氧且低露点的气氛例如由氮气等不活泼气体形成。

此外，在空穴输送层形成部122中，涂敷装置122a、缓冲装置122b、减压干燥装置122c、热处理装置122d和温度调节装置122e的配置或者个数、内部的气氛可以任意选择。

另外，空穴输送层形成部122包括基板搬运装置cr4～cr6和交接装置tr5～tr6。基板搬运装置cr4～cr6分别向相邻的各装置搬运基板10。交接装置tr5～tr6分别依次设置于基板搬运装置cr4与基板搬运装置cr5之间、基板搬运装置cr5与基板搬运装置cr6之间，在它们上述之间交接基板10。

基板搬运装置cr4的内部维持为大气气氛。另一方面，基板搬运装置cr5～cr6的内部维持为低氧且低露点的气氛。这是因为与基板搬运装置cr5相邻的减压干燥装置122c的内部进行低氧且低露点的气氛与减压气氛之间的切换。另外，还因为与基板搬运装置cr6相邻设置的热处理装置122d或者温度调节装置122e的内部维持为低氧且低露点的气氛。

交接装置tr5构成为将其内部的气氛在低氧且低露点的气氛与大气气氛之间进行切换的真空进样室。这是因为在交接装置tr5的下游侧相邻设置有减压干燥装置122c。另一方面，交接装置tr6的内部维持为低氧且低露点的气氛。

在空穴输送层形成部122的基板搬运装置cr6与发光层形成部123的基板搬运装置cr7之间，设置有在它们之间交接基板10的交接装置tr7。基板搬运装置cr6的内部维持为低氧且低露点的气氛，基板搬运装置cr7的内部维持为大气气氛。因此，交接装置tr7构成为将其内部的气氛在低氧且低露点的气氛与大气气氛之间进行切换的真空进样室。

发光层形成部123在空穴输送层25上涂敷发光层26用的涂敷液而形成涂敷层，通过对形成了的涂敷层进行干燥、烧结，形成发光层26。发光层26用的涂敷液包含有机材料和溶剂。该有机材料可以为聚合物和单体中的任意者。在为单体的情况下，也可以通过烧结而聚合，从而成为聚合物。

发光层形成部123包括涂敷装置123a、缓冲装置123b、减压干燥装置123c、热处理装置123d和温度调节装置123e。涂敷装置123a向隔堤30的开口部31排出发光层26用的涂敷液的液滴。缓冲装置123b暂时收纳等待处理的基板10。减压干燥装置123c对由涂敷装置123a涂敷的涂敷层进行减压、干燥，去除涂敷层中含有的溶剂。热处理装置123d对由减压干燥装置123c干燥后的涂敷层进行加热处理。温度调节装置123e将由热处理装置123d加热处理后的基板10的温度调节为规定温度，例如常温。

涂敷装置123a和缓冲装置123b的内部维持为大气气氛。另一方面，为了抑制发光层26的有机材料的劣化，热处理装置123d和温度调节装置123e的内部维持为低氧且低露点的气氛。减压干燥装置123c的内部的气氛在大气气氛与减压气氛之间进行切换。

此外，在发光层形成部123中，涂敷装置123a、缓冲装置123b、减压干燥装置123c、热处理装置123d和温度调节装置123e的配置或者个数、内部的气氛可以任意选择。

另外，发光层形成部123包括基板搬运装置cr7～cr9和交接装置tr8～tr9。基板搬运装置cr7～cr9分别向相邻的各装置搬运基板10。交接装置tr8～tr9分别依次设置于基板搬运装置cr7与基板搬运装置cr8之间、基板搬运装置cr8与基板搬运装置cr9之间，在它们之间交接基板10。

基板搬运装置cr7的内部维持为大气气氛。另一方面，基板搬运装置cr8～cr9的内部维持为低氧且低露点的气氛。这是因为与基板搬运装置cr8相邻的减压干燥装置123c的内部在低氧且低露点的气氛与减压气氛之间进行切换。另外，还因为与基板搬运装置cr9相邻的热处理装置123d或者温度调节装置123e的内部维持为低氧且低露点的气氛。

交接装置tr8构成为将其内部的气氛在大气气氛与低氧且低露点的气氛之间进行切换的真空进样室。这是因为在交接装置tr8的下游测相邻设置有减压干燥装置123c。交接装置tr9的内部维持为低氧且低露点的气氛。

在发光层形成部123的基板搬运装置cr9与搬出站130之间，设置有在它们之间交接基板10的交接装置tr10。基板搬运装置cr9的内部维持为低氧且低露点的气氛，搬出站130的内部维持为大气气氛。因此，交接装置tr10构成为将其内部的气氛在低氧且低露点的气氛与大气气氛之间进行切换的真空进样室。

搬出站130将多个基板10依次收纳于盒子c中，并向外部搬出盒子c。搬出站130包括：载置盒子c的载置台131；设置在盒子载置台131与处理站120之间的搬运通路132；和设置于搬运通路132的基板搬运体133。基板搬运体133在处理站120与载置于盒子载置台131的盒子c之间搬运基板10。

控制装置140由包含cpu(centralprocessingunit：中央处理单元)141和存储器等存储介质142的计算机构成，并通过在cpu141中执行存储介质142中存储的程序(也称为方案)，来实现各种处理。

控制装置140的程序存储于信息存储介质，可从信息存储介质安装。信息存储介质例如能够举出硬盘(hd)、软盘(fd)、光盘(cd)、磁光盘(mo)、存储卡等。此外，程序可以通过互联网从服务器下载并安装。

接着，对采用上述结构的基板处理系统100的基板处理方法进行说明。当收纳多个基板10的盒子c载置于盒子载置台111上时，基板搬运体113从盒子载置台111上的盒子c依次取出基板10，并向空穴注入层形成部121搬运。

空穴注入层形成部121在阳极21上涂敷空穴注入层24用的涂敷液而形成涂敷层，通过对形成后的涂敷层进行干燥、烧结，形成空穴注入层24。形成有空穴注入层24的基板10，通过交接装置tr4，从空穴注入层形成部121交接到空穴输送层形成部122。

空穴输送层形成部122在空穴注入层24上涂敷空穴输送层25用的涂敷液而形成涂敷层，通过对形成后的涂敷层进行干燥、烧结，形成空穴输送层25。形成有空穴输送层25的基板10，通过交接装置tr7，从空穴输送层形成部122交接到发光层形成部123。

发光层形成部123在空穴输送层25上涂敷发光层26用的涂敷液而形成涂敷层，通过对形成后的涂敷层进行干燥、烧结，形成发光层26。形成有发光层26的基板10，通过交接装置tr10，从发光层形成部123交接到搬出站130。

搬出站130的基板搬运体133将从交接装置tr10接收到的基板10收纳于盒子载置台131上的规定的盒子c中。由此，结束在基板处理系统100中的一系列的基板10的处理。

基板10以收纳于盒子c中的状态，从搬出站130搬出到外部。在在被搬出到外部的基板10上形成电子输送层27或电子注入层28、阴极22等。

<涂敷装置和涂敷方法>

接着，参照图8～图9，对发光层形成部123的涂敷装置123a进行说明。图8为表示一个实施方式中的涂敷装置的俯视图。图9为表示一个实施方式中的涂敷装置的侧视图。在以下的附图中，x方向和y方向为相互正交的水平方向，z方向为与x方向和y方向正交的铅垂方向。y方向为排出相同的涂敷液的液滴的多个喷嘴所排列的列方向，对应于权利要求书中记载的第一方向。另一方面，x方向为与y方向正交的扫描方向，对应于权利要求书中记载的第二方向。此外，列方向与扫描方向可以交叉，也可以不正交。

涂敷装置123a例如具有：保持基板10的xyθ台150；向基板10排出液滴的液滴排出单元160；维持液滴排出单元160的功能的维护单元170。xyθ台150和维护单元170在y方向上排列设置。在xyθ台150的上方与维护单元170的上方之间，架设y轴导轨180。沿着y轴导轨180，液滴排出单元160在y方向上自由移动。作为使液滴排出单元160在y方向上移动的驱动部，采用线性电机等。

xyθ台150具有保持基板10的卡盘151和使卡盘151移动的卡盘驱动部152。卡盘151以使基板10的涂敷液滴的涂敷面朝向上方的方式保持基板10。作为卡盘151，例如可以采用真空卡盘，但也可以采用静电卡盘等。卡盘151对应于权利要求书中记载的基板保持部。卡盘驱动部152具有：使卡盘151在x方向上移动的x方向驱动部153；使卡盘151在y方向上移动的y方向驱动部154；使卡盘151绕z方向旋转的旋转驱动部155。卡盘驱动部152对应于权利要求书中记载的移动机构。

液滴排出单元160在处于xyθ台150的上方的向基板10排出液滴的位置与接受由维护单元170进行的维持功能的处理的位置之间自由移动。液滴排出单元160在y方向上排列有多个(例如，图8中为10个)。多个液滴排出单元160可以在y方向上独立地移动，也可以在y方向上一起移动。

各液滴排出单元160具有支承架161和设置于支承架161的下表面的多个喷头162。在各喷头162至少设置1列由在y方向上排列的多个喷嘴163构成的喷嘴列。设置于相同喷头162的多个喷嘴163排出相同的涂敷液的液滴。排出红色发光层26r用的涂敷液的液滴的喷嘴163、排出绿色发光层26g用的涂敷液的液滴的喷嘴163和排出蓝色发光层26b用的涂敷液的液滴的喷嘴163分别设置于不同的喷头162。

维护单元170进行维持液滴排出单元160的功能的处理，消除液滴排出单元160的不良排出。维护单元170具有擦拭喷嘴的排出口周围的擦拭单元171和从喷嘴的排出口吸引液滴的吸引单元172。吸引单元172起到抑制因停止状态的喷嘴的排出口堵塞、干燥引起的阻塞的功能。

接着，对采用上述结构的涂敷装置123a的涂敷方法进行说明。涂敷装置123a的下述动作由控制装置140进行控制。控制装置140在图7中与涂敷装置123a分开设置，但也可以作为涂敷装置123a的一部分来设置。

首先，当将从涂敷装置123a的外部搬入到内部的基板10载置于卡盘151时，卡盘151保持基板10。接着，根据拍摄基板10的校正标记而得的图像，通过卡盘驱动部152进行卡盘151的位置的较正。然后，卡盘驱动部152使卡盘151在x方向上移动，并通过液滴排出单元160的下方。其间，液滴排出单元160向基板10排出液滴。通过反复进行该操作，涂敷装置123a在基板10上描绘规定图案。描绘完成后的基板10，从卡盘151被取下，从涂敷装置123a的内部被搬出到外部。接着，下一个基板10从涂敷装置123a的外部搬入到内部，涂敷装置123a在基板10上描绘规定的图案。此外，由维护单元170来维持液滴排出单元160的功能的处理，适宜在更换基板10的间歇等进行。

此外，为了在基板10上描绘规定的图案，上述结构的涂敷装置123a使保持基板10的卡盘151移动，但也可以使排出液滴的液滴排出单元160向基板10移动，或也可以使卡盘151和液滴排出单元160双方移动。只要涂敷装置123a能够使卡盘151和液滴排出单元160相对移动即可。

<涂敷装置描绘的绘制图案>

接着，参照图10，对涂敷装置123a描绘的绘制图案进行说明。图10为表示一个实施方式中的涂敷装置描绘的绘制图案的俯视图。在图10中，对发光材料相同的区域施以相同的填充图案。

有机el显示器的发光层26例如具有红色发光层26r、绿色发光层26g和蓝色发光层26b。红色发光层26r由发出红色的光的红色发光材料形成，绿色发光层26g由发出绿色的光的绿色发光材料形成，蓝色发光层26b由发出蓝色的光的蓝色发光材料形成。

红色发光层26r在从阳极21供给的空穴和从阴极22供给的电子复合的区域，发出红色光。发出红色光的区域称为红色发光区域261r。红色发光区域261r俯视时与作为像素电极的阳极21大致重叠。

同样地，绿色发光层26r在从阳极21供给的空穴和从阴极22供给的电子复合的区域，发出绿色光。发出绿色光的区域称为绿色发光区域261g。绿色发光区域261g俯视时与作为像素电极的阳极21大致重叠。

另外，蓝色发光层26r在从阳极21供给的空穴和从阴极22供给的电子复合的区域，发出蓝色光。发出蓝色光的区域称为蓝色发光区域261b。蓝色发光区域261b俯视时与作为像素电极的阳极21大致重叠。

有机el显示器在每个像素例如具有红色发光区域261r、绿色发光区域261g和蓝色发光区域261b。这些发光区域按每个阳极21独立发光。其发光量通过阳极21和阴极22之间的电压进行调整。

红色发光区域261r、绿色发光区域261g和蓝色发光区域261b以规定的顺序隔开间隔地排列在x方向上，由此形成发光区域组262。该发光区域组262在与x方向交叉的y方向上隔开间隔地排列。因此，在y方向上排列着发出相同颜色的光的多个发光区域。

为了能够向在y方向上隔开间隔地排列且发出相同颜色的光的多个发光区域同时地排出相同的涂敷液的液滴，在液滴排出单元160的各喷头162，在y方向上排列设置有多个喷嘴163。设置在相同喷头162的多个喷嘴163排出相同的涂敷液的液滴。

涂敷装置123a使液滴排出单元160和卡盘151在x方向上相对地移动，并从喷嘴163向在由卡盘151保持的基板10上预先形成的隔堤30的开口部31涂敷液滴。涂敷装置123a为了使液滴排出单元160和卡盘151移动而使卡盘151移动，但也可以使液滴排出单元160移动，或也可以使两者移动。

隔堤30的开口部31具有红色用开口部31r、绿色用开口部31g和蓝色用开口部31b。在红色用开口部31r形成红色发光层26r，在绿色用开口部31g形成绿色发光层26g，在蓝色用开口部31b形成蓝色发光层26b。红色用开口部31r、绿色用开口部31g和蓝色用开口部31b以规定顺序隔开间隔地排列在x方向上。

另外，红色发光区域261r、绿色发光区域261g和蓝色发光区域261b的面积比，可根据各自的发光特性或发光寿命等适当地设定。例如，发光效率优良、单位面积的发光亮度高的区域具有小的面积。

在图10中，红色发光区域261r的面积最小，绿色发光区域261g的面积第二小，蓝色发光区域261b的面积最大。这些发光区域的y方向上的尺寸yr、yg、yb相同，但x方向上的尺寸xr、xg、xb不同。

在此，yr表示红色发光区域261r的y方向上的尺寸，yg表示绿色发光区域261g的y方向上的尺寸，yb表示蓝色发光区域261b的y方向上的尺寸。yr、yg、yb是相同的。

另外，xr表示红色发光区域261r的x方向上的尺寸，xg表示绿色发光区域261g的x方向上的尺寸，xb表示蓝色发光区域261b的x方向上的尺寸。xr小于xg，xg小于xb。

因此，在图10中，红色发光区域261r、蓝色发光区域261b、绿色发光区域261g、绿色发光区域261g、蓝色发光区域261b、红色发光区域261r，反复以该顺序在x方向上隔开间隔地排列，从而形成发光区域组262。在x方向相邻的2个像素中，红色发光区域261r、蓝色发光区域261b和绿色发光区域261g的排列顺序是相反的。各蓝色发光区域261b在x方向上由红色发光区域261r和绿色发光区域261g夹着。

隔堤30包含跨隔开间隔地在x方向上相邻的多个红色发光区域261r的红色用开口部31r。因此，容易一边使液滴排出单元160和卡盘151在x方向上相对移动，一边使液滴着落在红色用开口部31r中。因此，与现有技术相比，在x方向上，能够放宽红色发光层26r用的涂敷液的液滴的着落位置的容许误差。

另外，隔堤30包含跨隔开间隔地在x方向上相邻的多个绿色发光区域261g的绿色用开口部31g。因此，容易一边使液滴排出单元160和卡盘151在x方向上相对移动，一边使液滴着落在绿色用开口部31g中。因此，与现有技术相比，在x方向上，能够放宽绿色发光层26g用的涂敷液的液滴的着落位置的容许误差。

根据以上说明，本实施方式的隔堤30包含跨隔开间隔地在x方向上相邻且发出相同颜色的光的多个发光区域的开口部31。因此，容易一边使液滴排出单元160和卡盘151在x方向上相对移动，一边使液滴着落在开口部31中。因此，与现有技术相比，在x方向上，能够放宽液滴的着落位置的容许误差。

另外，本实施方式的红色发光区域261r，因为其x方向上的尺寸比绿色发光区域261g小，所以隔开间隔地在x方向上相邻。进而，形成跨隔开间隔地在x方向上相邻的多个红色发光区域261r的红色用开口部31r。因此，在x方向上，能够放宽液滴的着落位置的容许误差。

并且，本实施方式的绿色发光区域261g，因为其x方向上的尺寸比蓝色发光区域261b小，所以隔开间隔地在x方向上相邻。进而，形成跨隔开间隔地在x方向上相邻的多个绿色发光区域261g的绿色用开口部31g。在x方向上，能够放宽液滴的着落位置的容许误差。

此外，蓝色发光区域261b，因为相比于红色发光区域261r或者绿色发光区域261g，在x方向上大，所以容易一边使液滴排出单元160和卡盘151在x方向上相对移动，一边使液滴的着落在其内部。因此，多个蓝色发光区域261b可以不隔开间隔地在x方向上相邻。各蓝色发光区域261b在x方向上由红色发光区域261r和绿色发光区域261g夹着。

<第一变形例中的绘制图案>

图11为表示第一变形例中的绘制图案的俯视图。在图11中，对发光材料相同的区域施以相同的填充图案。本变形例中，形成跨隔开间隔地在x方向上相邻并且发出相同颜色的光的多个发光区域，并且跨隔开间隔地在y方向上相邻并且发出相同颜色的光的多个发光区域的开口部，这与上述实施方式不同。以下，主要对不同点进行说明。

红色用开口部31r跨隔开间隔地在x方向上相邻的多个红色发光区域261r。因此，与上述实施方式同样地，与现有技术相比，在x方向上，能够放宽红色发光层26r用的涂敷液的液滴的着落位置的容许误差。

另外，排出红色发光层26r用的涂敷液的液滴的喷嘴163排列在y方向上。

因此，本变形例中，红色用开口部31r也跨隔开间隔地在y方向上相邻的多个红色发光区域261r。与现有技术相比，向一个红色用开口部31r排出液滴的喷嘴163的数目多，因此，使各喷嘴163的排出量的误差分散，容易使排出量的总量每次变得相同。另外，向一个红色用开口部31r排出液滴的喷嘴163的选择增加，能够选择使用排出量的控制性优良的喷嘴163。根据以上所述，能够使多个红色发光层26r的厚度均等化。

另外，绿色用开口部31g，跨隔开间隔地在x方向上相邻的多个绿色发光区域261g。因此，与上述实施方式同样地，与现有技术相比，在x方向上，能够放宽绿色发光层26g用的涂敷液的液滴的着落位置的容许误差。

另外，排出绿色发光层26g用的涂敷液的液滴的喷嘴163排列在y方向上。

因此，本变形例中，绿色用开口部31g也跨隔开间隔地在y方向上相邻的多个绿色发光区域261g。与现有技术相比，向一个绿色用开口部31g排出液滴的喷嘴163的数目多，因此，使各喷嘴163的排出量的误差分散，容易使排出量的总量每次变得相同。另外，向一个绿色用开口部31g排出液滴的喷嘴163的选择增加，能够选择使用排出量的控制性优良的喷嘴163。根据以上所述，能够使多个绿色发光层26g的厚度均等化。

另外，本变形例中，蓝色用开口部31b也跨隔开间隔地在y方向上相邻的多个蓝色发光区域261b。与现有技术相比，向一个蓝色用开口部31b排出液滴的喷嘴163的数目多，因此，使各喷嘴163的排出量的误差分散，容易使排出量的总量每次变得相同。另外，向一个蓝色用开口部31b排出液滴的喷嘴163的选择增加，能够选择使用排出量的控制性优良的喷嘴163。根据以上所述，能够使多个蓝色发光层26b的厚度均等化。

<第二变形例中的绘制图案>

图12为表示第二变形例中的绘制图案的俯视图。在图12中，对发光材料相同的区域施以相同的填充图案。本变形例中，多个开口部形成为条纹状，这与上述实施方式不同。以下，主要对不同点进行说明。

本变形例中，红色用开口部31r跨隔开间隔地在y方向上相邻的多个红色发光区域261r，并且从y方向上的一端的红色发光区域261r跨到y方向上的另一端的红色发光区域261r。能够使多个红色发光层26r的厚度均等化。

另外，在本变形例中，绿色用开口部31g跨隔开间隔地在y方向上相邻的多个绿色发光区域261g，并且从y方向上的一端的绿色发光区域261g跨到y方向上的另一端的绿色发光区域261g。能够使多个绿色发光层26g的厚度均等化。

进一步，在本变形例中，蓝色用开口部31b跨隔开间隔地在y方向上相邻的多个蓝色发光区域261b，并且从y方向上的一端的蓝色发光区域261b跨到y方向上的另一端的蓝色发光区域261b。能够使多个蓝色发光层26b的厚度均等化。

在上述实施方式或上述第一变形例、上述第二变形例中，红色对应于权利要求书中记载的第一颜色，绿色对应于权利要求书中记载的第二颜色，蓝色对应于权利要求书中记载的第三颜色。

同样地，在上述实施方式或上述第一变形例、上述第二变形例中，红色发光区域261r对应于权利要求书中记载的第一发光区域，绿色发光区域261g对应于权利要求书中记载的第二发光区域，蓝色发光区域261b对应于权利要求书中记载的第三发光区域。

此外，如上所述，红色发光区域261r、绿色发光区域261g、蓝色发光区域261b的面积比，能够根据各自的发光特性或发光寿命等适当地设定。因此，这些发光区域的x方向的尺寸xr、xg、xb的大小关系没有特别地限定，xr、xg、xb可以相同。

但是，对于各发光区域，x方向的尺寸xr、xg、xb可以比y方向的尺寸yr、yg、yb小。也就是说，xr可以比yr小，xg可以比yg小，xb可以比yb小。该情况下，x方向的尺寸比y方向的尺寸小，因此，放宽x方向的着落位置的容许误差的意义大。

红色发光区域261r、绿色发光区域261g、蓝色发光区域261b在x方向上的排列顺序，不限定于图10～图12的顺序。在x方向上隔开间隔地彼此相邻并且发出相同颜色的光的发光区域至少为1个即可。

发光颜色的组合不限于红色、绿色、蓝色三原色。例如，可以采用在该三原色添加作为红色与绿色的中间色的黄色和/或作为绿色与蓝色的中间色的青色。发光色的组合的数目越大，能够表示的颜色坐标的范围越广。

以上，已对涂敷装置等的实施方式进行了说明，但是本发明不限于上述实施方式等，在权利要求书记载的本发明的主旨的范围内可以有各种变形、改良。

例如，有机el显示器，在上述实施方式中为将来自发光层26的光从基板10侧取出的底部发射的方式，但也可以为将来自发光层26的光从与基板10相反的一侧取出的顶部发射的方式。

在为顶部发射的方式的情况下，基板10不仅可以是透明基板，也可以是不透明基板。这是因为来自发光层26的光从与基板10相反的一侧取出。

在为顶部发射的方式的情况下，作为透明电极的阳极21能够用作相对电极，阴极22能够用作设置于每个单位电路11的像素电极。该情况下，阳极21和阴极22的配置相反，因此，在阴极22上依次形成电子注入层28、电子输送层27、发光层26、空穴输入层25和空穴注入层24。

在上述实施方式中，有机层23从阳极21侧向阴极22侧去依次具有空穴注入层24、空穴输入层25、发光层26、电子输送层27、电子注入层28，但至少具有发光层26即可。有机层23不限于图3所示的结构。

另外，在图10～图12中，虽然左端的红色发光区域261r的面积表现出小于其它的红色发光区域261r的面积，但是优选左端的红色发光区域261r的面积与其它的红色发光区域261r的面积相同。