一种自动开盖式金属晶圆盒的制作方法

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种自动开盖式金属晶圆盒。

背景技术：

金属晶圆盒用于承载晶圆，进入烤箱进行高温烘烤的设备，并可以在生产设备上与塑料晶圆盒上的晶圆自行转换，主要应用于半导体、电子、led等行业。

目前企业在将晶圆放入烤箱烘烤时，其作业方式为：一是手动取放，作业人员从塑料的晶圆盒里，手动取出晶圆并放入到金属晶圆盒里，然后再讲金属晶圆盒放进烤箱里进行烘烤，但由于人工手动取放晶圆，如果操作不当，容易导致晶圆在取放时触碰到晶圆盒的周边而使其破片，存在风险；二是晶圆转换，由于现有的金属晶圆盒都没有盖子，在晶圆转换过程中以及人工搬运过程中，容易撒料或碰撞，从而导致晶圆破片或品质异常，造成极大损失。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种自动开盖式金属晶圆盒，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子、盖框，所述盖子盖设与盖框上，所述盖框的下端设有对称布置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和第二支撑板靠近盖框端连接有对称布置的侧板，所述第一支撑板和第二支撑板远离盖框端连接有对称布置的加强筋和连接板，所述加强筋设置于连接板的内侧，所述侧板的内侧连接有定位卡槽板。

进一步优选，所述侧板的外侧设有把手。

进一步优选，所述第二支撑板上设有三个定位垫块，三个所述定位垫块呈三角形结构排列。

进一步优选，所述第二支撑板的中间位置设有设备连接块。

进一步优选，所述第二支撑板的侧边设有挡板。

进一步优选，所述加强筋上设有与定位卡槽板相对应的卡槽位。

进一步优选，所述盖子的上表面设有定位孔，所述盖子的下表面设有卡槽及压条。

进一步优选，所述盖框的侧边设有与盖子相配合的卡扣位。

有益效果

本实用新型的自动开盖式金属晶圆盒，通过盖子上设置定位孔，可实现自动开盖，通过定位垫块、挡板可与设备精确定位，通过盖设盖子和提取把手，可随意移动晶圆盒，且晶圆固定稳固，不会出现晃动；整个晶圆盒采用耐高温金属材料制成，可直接烤箱烘烤；结构简单，便于拆装，使用方便，去人工化，减少破片风险，提高晶圆的安全性及品质。

附图说明

图1为本实用新型实施例所公开的一种自动开盖式金属晶圆盒的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所公开的金属晶圆盒无盖子的结构示意图。

附图标记

1-盖子，2-盖框，3-侧板，4-把手，5-第一支撑板，6-加强筋，7-连接板，8-第二支撑板，9-定位垫块，10-挡板，11-定位卡槽板，12-设备连接块。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

实施例

如图1-2所示，一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子1、盖框2，所述盖子1盖设与盖框2上，所述盖框2的下端设有对称布置的第一支撑板5和第二支撑板8，所述第一支撑板5和第二支撑板8靠近盖框2端连接有对称布置的侧板3，所述第一支撑板5和第二支撑板8远离盖框2端连接有对称布置的加强筋6和连接板7，所述加强筋6设置于连接板7的内侧，所述侧板3的内侧连接有定位卡槽板11。

优选的，所述侧板3的外侧设有把手4，便于人工提取晶圆盒。

优选的，所述第二支撑板8上设有三个定位垫块9，三个所述定位垫块9呈三角形结构排列，所述定位垫块9用于对晶圆盒的定位和支撑。

优选的，所述第二支撑板8的中间位置设有设备连接块12，用于在将晶圆盒锁住，固定在设备上。

优选的，所述第二支撑板8的侧边设有挡板10，所述挡板10用于设备触发感应器。

优选的，所述加强筋6上设有与定位卡槽板11相对应的卡槽位，对放入的晶圆起固定作用，防止晶圆晃动，同时，所述加强筋6可加固晶圆盒，给晶圆提供支持。

优选的，所述盖子1的上表面设有定位孔，所述盖子1的下表面设有卡槽及压条，所述定位孔用于开盖用机械手的定位并实现自动开盖，所述盖子1上的卡槽和定位卡槽板11上的卡槽位相配合，保证每片晶圆能够对应到其相应的槽位，然后通过压条压实固定。

优选的，所述盖框2的侧边设有与盖子1相配合的卡扣位，用于盖子1的锁紧。

优选的，所述晶圆盒采用耐高温金属材料制成，可直接长时间烘烤，并实现晶圆放置好即可直接进入烤箱烘烤。

优选的，所述晶圆盒采用定位卡槽板11、加强筋6和盖子1可实现放入的晶圆以相同的间距叠放，不会发生碰撞，且固定牢固。

本实施例的自动开盖式金属晶圆盒，用于自动化生产线设备上，其实施过程如下：

1）将盖子1通过手动方式盖在盖框2上并锁住，然后将晶圆盒放到设备的进料区，晶圆盒的的第二支撑板8向下，定位垫块9将晶圆盒支撑在设备上，设备自动定位，当挡板10触发设备感应器时，设备连接块12被锁住，晶圆盒固定到位；

2）设备与晶圆盒的盖子1自动对接，通过机械手将盖子1解锁并取下，然后机械手进行放入晶圆，当晶圆装满后，机械手将盖子1盖上并锁紧；

3）设备连接块12与设备解锁，设备将晶圆盒退出设备，然后人工提取把手4，将放满晶圆的晶圆盒直接送至烤箱进行烘烤。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型性的保护范围之内的实用新型内容。

技术特征：

1.一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子（1）、盖框（2），所述盖子（1）盖设与盖框（2）上，其特征在于：所述盖框（2）的下端设有对称布置的第一支撑板（5）和第二支撑板（8），所述第一支撑板（5）和第二支撑板（8）靠近盖框（2）端连接有对称布置的侧板（3），所述第一支撑板（5）和第二支撑板（8）远离盖框（2）端连接有对称布置的加强筋（6）和连接板（7），所述加强筋（6）设置于连接板（7）的内侧，所述侧板（3）的内侧连接有定位卡槽板（11）。

2.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述侧板（3）的外侧设有把手（4）。

3.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述第二支撑板（8）上设有三个定位垫块（9），三个所述定位垫块（9）呈三角形结构排列。

4.根据权利要求3所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述第二支撑板（8）的中间位置设有设备连接块（12）。

5.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述第二支撑板（8）的侧边设有挡板（10）。

6.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述加强筋（6）上设有与定位卡槽板（11）相对应的卡槽位。

7.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述盖子（1）的上表面设有定位孔，所述盖子（1）的下表面设有卡槽及压条。

8.根据权利要求1所述的一种自动开盖式金属晶圆盒，其特征在于：所述盖框（2）的侧边设有与盖子（1）相配合的卡扣位。

技术总结
本实用新型公开了一种自动开盖式金属晶圆盒，包括盖子、盖框，盖子盖设与盖框上，盖框的下端设有对称布置的第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板靠近盖框端连接有对称布置的侧板，第一支撑板和第二支撑板远离盖框端连接有对称布置的加强筋和连接板，加强筋设置于连接板的内侧，侧板的内侧连接有定位卡槽板。本实用新型的有益效果是：通过盖子上设置定位孔，可实现自动开盖，通过定位垫块、挡板可与设备精确定位，通过盖设盖子和提取把手，可随意移动晶圆盒，且晶圆固定稳固，不会出现晃动；整个晶圆盒采用耐高温金属材料制成，可直接烤箱烘烤；结构简单，便于拆装，使用方便，去人工化，减少破片风险，提高晶圆的安全性及品质。

技术研发人员：荣国青;门蒙;张健星
受保护的技术使用者：苏州辉垦电子科技有限公司
技术研发日：2021.01.25
技术公布日：2021.07.30