接触的部 位形成上述的溶剂接受层2。
[0080] 在本发明中，例如如图1(a)和图1(b)中所示，可W在娃基板1的单方的表面作为 连续层来形成溶剂接受层2、在该溶剂接受层2之上涂布导电性糊3而形成导电性图案。
[0081] 需要说明的是，就溶剂接受层2而言，没有必要在涂布导电性糊的全部区域没有 遗漏地形成。例如，如图1(a)所示，即使为涂布导电性糊3'的区域，也可W在娃基板1存 在不形成溶剂接受层2的部分。该样，作为不与溶剂接受层2接触地涂布导电性糊3'的部 分，典型地可W列举作为太阳能电池单元的集电极（所谓的汇流排电极（八乂八一電極）） 而利用的导电性部分。
[0082] 并且，在本发明中，例如如图2和图3中所示，可W在娃基板1的单方的表面断续 地设置溶剂接受层2。在该图2和图3中，溶剂接受层2可W从被涂布了的导电性糊3吸 收溶剂、同时该溶剂接受层2的存在作为抑制导电性糊在横向进行扩展的阻挡层而发挥功 能。根据该样的具体例，可W更容易地形成更高精细的导电性图案。
[0083] 需要说明的是，溶剂接受层在同一娃基板中形成多个的情况下，该些多个溶剂接 受层的厚度没有必要相同，可W不同。另外，在溶剂接受层连续的情况下，该连续的溶剂接 受层的厚度可W局部不同。
[0084] 作为本发明的优选的其他具体例，可W列举在娃基板上W点状配置了多个溶剂接 受层的例子、W筛网状配置了溶剂接受层的例子等。
[0085] 就本发明中的溶剂接受层的厚度而言，例如如图1 (a)和图1化）中所示，在溶剂接 受层2介于娃基板1和导电性糊3之间的情况下，优选为0. 01~5. 0ym，尤其优选0. 1~ 2. 0ym，更优选为0. 1~1. 0ym。在溶剂接受层的厚度不到0. 01ym的情况下，有时不能充 分抑制流挂，另一方面，在超过5. 0ym的情况下，从电极的断线等的观点来看不优选。在本 发明中，例如可W对被涂布的导电性糊中的溶剂量、涂布后的导电性糊的流挂的程度、与导 电性糊的接触面积等进行考虑来在上述范围内适宜确定最佳厚度。
[0086] 为了使期望的厚度的溶剂接受层稳定地形成于娃基板，着眼于"形成溶剂接受层 前的娃基板的重量"、"形成了溶剂接受层后的娃基板的重量"、"在娃基板形成了的溶剂接 受层的面积"、"在溶剂接受层的形成中使用的涂布液的量"的关系，W形成期望的厚度的溶 剂接受层地控制形成的溶剂接受层的每单位面积的溶剂接受层形成材料的涂布量，由此可 W容易地进行。形成的溶剂接受层的每单位面积的溶剂接受层形成材料的涂布量优选为 0. 5 ~10yg/mm2,特别优选为 0. 8 ~2. 1yg/mm2。
[0087] <工序炬)〉
[008引工序炬）是与上述的溶剂接受层相接地涂布含有导电性金属粒子和溶剂的导电 性糊而在上述的娃基板形成导电性图案的工序。
[0089] 在该工序炬）中，通过该样W与上述的溶剂接受层相接地涂布导电性糊，该导电 性糊中的溶剂的至少一部分被溶剂接受层吸收。
[0090] 就导电性糊中的溶剂而言，由于与溶剂接受层接触后通常立即被溶剂接受层吸 收，因此涂布了的导电性糊从与溶剂接受层的接触部位附近其粘度上升，同时涂布了的导 电性糊的体积减少。
[0091] 与此相对，根据W往技术，在娃基板不形成溶剂接受层的情况下，不发生基于该溶 剂接受层的导电性糊的粘度上升和体积减少。该样的情况下，产生娃基板上的导电性糊面 积的扩大及娃基板上的导电性糊膜厚的降低乃至不均匀化（导电性糊的流挂），不能得到 细的并且高精细、良好的纵横比的导电性图案。
[0092] 在工序炬）中进行的导电性糊的涂布，优选丝网印刷法。作为导电性糊，优选可适 用于那样的丝网印刷用的含有导电性金属粒子及溶剂的导电性糊。
[0093] 作为导电性金属粒子，在本发明中也可W使用在W往的该种的导电性糊中采用的 粒子。作为优选的导电性金属粒子，例如可W列举包含铜、侣、镶、铁、银、金、钢、钻、锋等的 粒子。其中，特别优选铜、侣、镶、银。上述的导电性金属粒子可W并用二种W上。导电性金 属粒子可W使用球状、薄片状等的任意形状。
[0094] 就导电性金属粒子的粒径而言，可W例如考虑丝网印刷性等来适当确定。优选的 粒径是W平均粒径计为0. 05~20ym，特别优选0. 1~5. 0ym。
[0095] 就导电性糊中导电性金属粒子的存在量而言，可W例如考虑丝网印刷性等来适当 确定。导电性金属粒子的存在量，相对于导电性糊100重量％，优选为60~95重量％，特 别优选为70~90重量％。
[0096] 导电性糊的溶剂在本发明中也可W使用在W往的该种的导电性糊中采用的溶剂。 作为优选的溶剂，例如可W列举从了基卡必醇醋酸醋炬CA)、己基溶纤剂醋酸醋巧CA)、了 基卡必醇炬C)、松油醇中选择的有机溶剂等。其中，特别优选了基卡必醇醋酸醋炬CA)、己 基溶纤剂醋酸醋巧CA)、了基卡必醇炬C)。上述的溶剂可W并用两二种W上。
[0097] 就导电性糊中的溶剂的存在量而言，可W例如考虑丝网印刷性等来适当确定。溶 剂的存在量，相对于导电性金属粒子100重量份，优选为0. 5~30重量份，特别优选10~ 20重量份。
[009引本发明的制造方法中使用的导电性糊，在上述的导电性金属粒子和溶剂之外，根 据需要可化含有其他的成分。作为该样的成分，例如可W列举玻璃料（方号乂7yッh)、 粘结剂成分、金属化合物、其他的成分（例如稳定剂、增塑剂、消泡剂、分散剂、粘度调整剂 等）。
[0099] 本发明中的导电性糊的涂布宽度，优选为50ymW下，特别优选为45ymW下，更 优选为40ymW下。因为在导电性糊的涂布宽度超过50ym的情况下，糊的涂布量变多，得 到充分的效果变的困难。
[0100] 就导电性糊的涂布厚度而言，例如可W考虑被涂布的导电性糊中的溶剂量、涂布 后的导电性糊的流挂程度等来适当确定最佳厚度。
[0101] 在此，导电性糊的涂布宽度是涂布了导电性糊后、在约150°c下静置了约1分钟后 评价了的宽度。
[0102] 需要说明的是，导电性糊的涂布部在同一娃基板中存在多个的情况下，该些导电 性糊的涂布部的厚度没有必要相同，可W不同。另外，在导电性糊的涂布部连续的情况下， 该连续的导电性糊的涂布部的厚度可W局部地不同。
[0103] < 工序（二）〉
[0104] 工序（二）是对形成了通过上述的工序炬）而得到了的导电性图案的娃基板进行 热处理的工序。
[01化]该热处理优选在溶剂接受层进行热分解的条件下进行。作为该热处理，可W列举 优选在200°CW上、600°cW下，特别优选250°cW上、500°cW下的温度下，优选保持5~60 秒、特别优选10~30秒的热处理。予W说明的是，就具体的热处理温度和热处理时间而言， 例如可W考虑与形成溶剂接受层的材料的种类、溶剂接受层的厚度、导电性糊的构成材料、 导电性糊的涂布量、溶剂量等的组合等而在上述范围内适当确定。
[0106] 在该工序（二）的热处理中，优选将娃基板上存在的溶剂接受层的多的部分（例 如娃基板上的溶剂接受层的总量的优选70重量％ ^上，特别是90重量％ ^上，特别优选溶 剂接受层的基本上全部的量）进行热分解。但是，在本发明中，由于在工序（二）W后进行 的工序（C)中