阵列基板、其制造方法以及有机发光二极管显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施例涉及一种阵列基板、其制造方法以及有机发光二极管显示装置。
【背景技术】
[0002]有机电致发光显示器(OLED)具有主动发光、对比度高、响应速度快、轻薄等诸多优点，成为主要的新一代显示器之一。其工作原理是通过向阳极和阴极施加适当的电压，而使得位于阳极和阴极之间的有机发光层发光，从而显示图像。
[0003]太阳能电池是将太阳光能直接转换成电能的半导体器件。例如，太阳能电池可以主要分为基于硅的薄膜太阳能电池、基于化合物的薄膜太阳能电池和基于有机物的太阳能电池，其中基于硅的太阳能电池可主要分为单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池和非晶硅太阳能电池。示例性地，图1示出了多晶硅太阳能电池的截面图，如图1所示，由N型半导体2和P型半导体3形成的PN结被光照后，被束缚的高能级状态下的电子被激发而成为自由电子，自由电子在晶体内向各方向移动，当通过第一电极I和第二电极4连接到外部闭合环路，电流便产生。
[0004]随着显示技术的不断发展如何将有机电致发光显示器和太阳能电池整合在一起，成为当下高技术的主要研宄方向。
【发明内容】
[0005]本发明的实施例提供一种阵列基板、其制造方法以及有机发光二极管显示装置，将太阳能电池单元制作在阵列基板中，由此能够降低制作成本、提高良率且使得产品易于实现。
[0006]一方面，本发明的实施例提供一种阵列基板，包括衬底基板，该衬底基板包括显示区域，包括:彼此交叉的多条数据线和多条栅线，多个像素区域，形成为矩阵且由形成在所述衬底基板上的彼此交叉的多条数据线和多条栅线限定，其中所述多个像素区域的每个中形成有薄膜晶体管；周边区域，围绕所述显示区域，进一步地，该阵列基板还包括至少一个太阳能电池单元，与所述薄膜晶体管位于所述衬底基板的同一侧且形成在所述多个像素区域和所述周边区域至少之一中。
[0007]另一方面，本发明的实施例还提供一种上述阵列基板的制造方法，包括:准备衬底基板，该衬底基板包括:显示区域以及围绕显示区域的周边区域；在衬底基板的同一侧形成多条栅线、多条数据线、由多条栅线和数据线限定的多个像素区域、每个像素区域中的薄膜晶体管以及位于多个像素区域和周边区域至少之一中的至少一个太阳能电池单元。
[0008]再一方面，本发明的实施例还提供一种有机发光二极管显示装置，包括:如上所述的阵列基板以及与阵列基板对置的相对基板。
【附图说明】
[0009]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
[0010]图1是太阳能电池的示意性工作原理图；
[0011]图2是根据本发明实施例的衬底基板的平面图；
[0012]图3是根据本发明实施例的像素区域设置有太阳能电池单元的阵列基板的示例性平面图；
[0013]图4是根据本发明实施例的太阳能电池单元的第一掺杂半导体层和薄膜晶体管的第二掺杂半导体层在同一层中的阵列基板的示意性截面图；
[0014]图5是根据本发明实施例的包括底栅型薄膜晶体管的阵列基板的示意性截面图；
[0015]图6是根据本发明实施例的PIN结构的太阳能电池单元的示意性截面图；
[0016]图7(a)_7(j)示出了根据本发明实施例的阵列基板的示例性制造方法的各步骤的截面图。
【具体实施方式】
[0017]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0018]除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0019]本发明的实施例提供一种阵列基板、其制造方法以及有机发光二极管显示装置。
[0020]根据本发明实施例的阵列基板包括衬底基板，该衬底基板包括显示区域和围绕该显示区域的周边区域，其中该显示区域包括由彼此交叉的多条数据线和多条栅线限定的成矩阵分布的多个像素区域，且每个像素区域中形成有薄膜晶体管。进一步地，该阵列基板还包括至少一个太阳能电池单元，该至少一个太阳能电池单元与所述薄膜晶体管位于所述衬底基板的同一侧且形成在所述多个像素区域和所述周边区域至少之一中。由于太阳能电池设置在阵列基板中，所以太阳能电池单元可以采用光刻工艺形成，进一步地，太阳能电池与薄膜晶体管形成在衬底基板的同一侧，这样，其可以与薄膜晶体管采用相同的工艺形成，从而可以在不增加工艺流程和制作材料的前提下，通过利用光刻工艺精细化的特点，将太阳能电池单元制作在薄膜晶体管阵列基板中，由此能够降低制作成本、提高良率且使得产品易于实现。
[0021]进一步地，当阵列基板采用柔性衬底基板时，该阵列基板可以用于柔性显示装置，从而可以实现厚度薄、重量轻、可弯折甚至可卷曲的柔性显示，使其能够应用于手表、服装、背包等穿戴产品中。尤其是，当该阵列基板应用于有机电致发光显示装置时，能够获得集成有太阳能电池的有机电致发光显示装置。
[0022]以下将结合附图对本发明实施例提供的阵列基板、其制造方法以及有机发光二极管显示装置进行详细说明，以使得本发明的技术方案更加清楚。
[0023]第一实施例
[0024]如图2所示，阵列基板10包括衬底基板100，衬底基板100包括显示区域102和围绕显示区域102的周边区域101，其中如图3所示，显示区域102包括彼此交叉的多条数据线12和多条栅线11，将显示区域102划分为多个像素区域21，在每个像素区域21中设置有薄膜晶体管32。进一步地，衬底基板100上还形成有至少一个太阳能电池单元，该至少一个太阳能电池单元与薄膜晶体管32位于衬底基板100的同一侧，且形成在多个像素区域21和周边区域101至少之一中。
[0025]在本实施例中，至少一个太阳能电池单元可以设置在像素区域21中或者周边区域101中，或者可以设置在像素区域21和周边区域101 二者中。例如，如果有一个太阳能电池单元，则其可以设置在一个像素区域21或周边区域101中；如果阵列基板10包括两个或两个以上的太阳能电池单元，则太阳能电池单元可以全部设置在像素区域21中或者全部设置在周边区域101中，或者一部分设置在像素区域中而剩余部分设置在周边区域101中。
[0026]进一步地，每个像素区域中可以仅设置有一个太阳能电池单元，也可以设置两个或更多太阳能电池单元，本领域的技术人员可以在兼顾开口率等其他产品特征的前提下适当选择，本发明的实施例不做具体限定。
[0027]图3示出了根据本发明实施例的像素区域设置有太阳能电池单元的阵列基板的示例性平面图，其中仅示出了三个像素区域，每个像素区域中设置有一个太阳能电池单元31，为了图示方便，太阳能电池单元31和薄膜晶体管32由带阴影的方框表示，但是这并非是指二者就是方框形状的，方框仅表示的是二者的设置区域。由图可见，太阳电池单元31和薄膜晶体管32设置在不同的区域，示例性地，为了不减小有效显示区域，太阳能电