分析装置的制造方法_3

文档序号:9732195阅读:来源:国知局
位置)可变的可编程的检测单元50。
[0044]探测器控制单元80还包括定期地对按图案88激活的元件51的检测结果(离子电流)进行采样的采样单元81以及将所采样的全部元件的值数字化的模拟-数字转换器(ADC)82。采样单元81也可以对144个全部元件51的检测结果进行采样,将全部元件51中的包含在由配置驱动器83选择的图案88中的元件51的检测值累积而作为检测结果(离子电流)输出。通过ADC 82数字化得到的检测结果被输出到系统控制器90的分析仪92。检测结果也可以经由系统控制器90通过有线或无线的方式输出到对数据进行合计的外部的服务器等,或者从ADC 82直接通过有线或无线的方式输出到对数据进行合计的外部的服务器等。
[0045]重构单元83例如当将电离器控制单元61切换至新的离子源11的情形作为信息而获取时,首先选择面积最小的图案88A(5X5),当经过规定的时间时,接着选择面积较大的图案88B(7X7),当再经过时间时,选择面积更大的图案88C(12X12),将这些图案中所包含的元件51的累积值作为检测结果(离子电流)输出。可以代替时间而根据对离子源11的特性值进行监视的结果、按各图案88获得的离子电流的值来判断对图案88进行切换的定时,或者根据时间以及对离子源11的特性值进行监视的结果、按各图案88获得的离子电流的值来判断对图案88进行切换的定时。
[0046]另外,重构单元83也可以根据调谐单元95实施的自动调谐的结果来切换图案88。作为对分析装置1的各种参数进行监视的结果,还可以根据来自外部的指示或因素定期地进行自动调谐。另外,也可以在进行校准时自动地进行调谐。
[0047]在调谐中,代替测定气体9而通过分析装置1定期地对成分和浓度已明确的校准用的气体(调谐用的气体)8进行测量,判断离子化单元10的特性和检测单元50的特性,对离子化单元10的各种参数进行调谐。调谐包含使气流最佳化、或者使过滤器单元20的条件最佳化的情况,也可以包含将离子化单元10和检测单元50分别重构的情况。
[0048]图5中通过流程图示出了自动调谐处理的概要。此外,虽然在流程图中没有记载,但是在调谐过程中随时进行调谐用的气体8的测定。当在步骤101中判断为是实施自动调谐的定时时,首先,调谐单元95在步骤102中使离子化单元10的结构最佳化。调谐单元95能够基于预先储存在数据库89中的离子源11的特性信息推测从被选择的离子源11的工作时间起的离子源11的特性变化、剩余的寿命等。调谐单元95从工作中的监视器63的监视结果中也能够获得离子源11的特性变化。调谐单元95也能够基于成分和浓度已确定的调谐用的气体8的测定结果验证被选择的离子源11的特性变化。
[0049]调谐单元95根据离子源11的特性变化,为了将离子化性能维持在规定的范围内、尽可能地延长离子源11的寿命等,而将离子化单元10的结构、即将多个离子源的选择、连接、离子化电流等工作条件变更为最佳的结构。调谐单元95借由电离器控制单元61的驱动控制单元65对离子化单元10进行重构。
[0050]在步骤103中,如果调谐单元95判断为能够通过最佳化得到的离子化单元10获得期望的灵敏度(测定灵敏度)、或者调谐用气体8的测定结果良好,则结束调谐而在步骤107中再次开始测定。
[0051]当在步骤103中判断为无法获得期望的灵敏度时,在步骤104中将检测单元50重构、或者对在检测单元50的测定中重构的程序进行变更。通过改变检测单元50的检测灵敏度,由此对于离子化单元10的重构无法覆盖的范围也能够获得线性的测定结果。例如在通过将离子化单元10重构而能够根据离子源11的寿命将离子化电流的变动收敛于±20%左右的范围内的情况下,调谐单元95选择对由于该离子化电流的变化所产生的离子化强度的变动进行补偿的图案88来将检测单元50重构。通过使离子化单元10和检测单元50随时通过调谐进行最佳化,由此能够提供一种长时间输出就整体而言线性的检测结果的分析装置1。因此,能够提供一种长寿命、测定精度高的分析装置(测定装置)1。
[0052]在步骤104中对检测单元50的重构程序进行调谐的情况下,调谐单元95首先使用驱动控制单元(离子驱动器)65对离子化单元10进行设置,使得按探测器控制单元80的重构单元83所设置的中程度的面积的检测图案88对调谐用的气体8中所包含的标准浓度的离子(分子、成分)进行检测。并且,调谐单元95对重构单元83以与过滤器单元20选择离子的条件联动地、在选择浓度高的离子时选择面积小的检测图案88、在选择浓度低的离子时选择面积大的检测图案88的方式进行编程,通过面积各不相同的检测图案88来验证是否能够以适当的灵敏度对检测对象的离子进行检测。重构检测图案88的程序86能够事先保存在调谐数据库89中。
[0053]调谐用气体8是以可推测的浓度包含被推测为测定对象的气体9中一般包含的成分的气体,通过利用调谐用气体8预先对各成分(离子)的检测图案88进行编程,能够降低样本气体9的测定灵敏度对浓度的依赖性。即,在可编程的检测单元50中,浓度高的成分能够以相对低的灵敏度进行测定,浓度低的成分能够以相对高的灵敏度进行测定,因此能够抑制各成分的测定精度的偏差。
[0054]在步骤105中,如果调谐单元95判断为能够以适当的灵敏度测定调谐用气体8的各成分、或者调谐用气体8的各成分的测定结果良好,则结束调谐,而在步骤107中使用通过调谐获得的程序86再次开始测定。
[0055]对于调谐气体8的各成分的浓度变动,在将离子化单元10的条件固定的状态下,有可能在能够切换并调整检测图案88的检测单元50的测定范围(调节比)不能充分地追随。当在步骤105中判断为仅通过检测单元50的编程无法应对检测单元50的灵敏度调整时,在步骤106中,调谐单元95进一步对与检测单元50的重构协调地进行离子化单元10的重构的协调控制进行设定。在协调控制中,调谐单元95生成对检测单元50的重构和离子化单元10的重构进行协调控制的程序(电离器与探测器协调控制程序)85。
[0056]当在步骤106中生成协调控制程序85并被确认时,结束调谐,而在步骤107中使用通过调谐获得的程序85再次开始测定。在协调控制程序85中,探测器控制单元80的重构单元(第一重构单元)83与过滤器单元20的选择离子的条件联动地选择或切换检测图案88来动态地将检测单元50进行重构。与此同时,电离器控制单元61的驱动控制单元(第二重构单元)65也与过滤器单元20的选择离子的条件联动地控制离子化单元10的连接或驱动电流来动态地将离子化单元10进行重构。
[0057]自动调谐的一系列的处理能够作为内置于分析装置1的存储器99中的固件98而提供。另外,也能够作为对分析装置1进行控制的主机、例如个人计算机所运行的程序(程序产品)而提供,如果分析装置1连接于网络,则也能够作为经由网络对分析装置1进行控制的程序而提供。
[0058]调谐程序98可以与包含过滤器单元20的磁场的调整的校准程序97—同执行,也可以定期地执行,还可以在检测单元5 0的测定结果的时间变动超过规定的范围时自动执行。另外,也可以在经过了与离子源11的寿命关联的适当的运行时间时,改变离子电流值等来验证性能的劣化,或者为了对分析装置1的性能进行校准而执行校准程序97。
[0059]图6中示出了其它的检测单元50的可选择的检测图案的几个例子。在图6中画有斜线的元件51是被激活的元件51。针对灵敏度低的成分,有时期望如图案88D那样的集中于中央的图案,为了平均地调整强度,有时期望如图案88E那样的网眼图案。另外,针对灵敏度过高的成分,有时如图案88F那样将灵敏度低的区域的结果累积会提高精度。也存在如图案88G那样适当地间隔剔除后的图案有效的情形。可对检测单元50编程出的检测图案88不限定于这些。
[0060]检测图案88不限定于离子化单元10的调谐的
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