有技术中，当玻璃托盘随着周转装置上升离开传送装置之后，生产线上的传感器无法监测到玻璃托盘时，会判断该玻璃托盘发生异常，从而将该玻璃托盘的参数信息清零或丢失，而当玻璃托盘完成布片又重新回到传送装置上时，由于该玻璃托盘的参数信息已被清零或丢失，使得需要人为重新再赋予该玻璃托盘新的参数信息，同一玻璃托盘的参数信息的丢失和重置降低了生产线的生产效率，而本发明提供的周转设备中，控制装置在玻璃托盘随着周转装置上升离开传送装置之前，控制装置通过程序将自身中记录的玻璃托盘的参数信息进行存储，玻璃托盘随着周转装置上升离开传送装置之后，生产线上的传感器无法监测到玻璃托盘时，会判断该玻璃托盘发生异常，从而将该玻璃托盘的参数信息清零或丢失，但是当玻璃托盘完成布片又重新回到传送装置上时，控制装置只需读取保存的玻璃托盘的参数信息即可获得玻璃托盘的参数信息，虽然在周转过程中玻璃托盘的参数信息会被清零，但是通过存储并读取玻璃托盘的参数信息的方式，不需要人为重新赋予玻璃托盘的参数信息，且保证整个工序信息的一致性和连续性，提高生产线的生产效率。
[0049]具体实施时，控制装置包括可编程逻辑控制器PLC单元；且PLC单元包括:控制单元，用于控制传送装置和周转装置的运行和停止;存储单元，用于存储待周转物的参数信息，具体来说，控制单元接收信号采集装置发送的周转装置的工作面所在的位置，若确定周转装置的工作面高于传送装置的工作面，则将周转装置的工作面降低至传送装置的工作面之下，启动传送装置;若确定周转装置的工作面低于传送装置的工作面，则直接启动传送装置，启动传送装置之后，控制单元接收信号采集装置发送的待周转物的运行位置，当确定待周转物的运行位置与传送装置上指定位置重合时，控制单元停止传送装置的运行，并将该待周转物的参数信息存储在存储单元中，然后控制单元发送指令或信号启动周转装置，将待周转物在传送装置与布片装置之间周转，在布片之后的待周转物周转到传送装置上的指定位置时，控制单元读取存储单元中存储的待周转物的参数信息，并根据读取到的待周转物的参数信息中的运行逻辑信息控制传送装置将待周转物传送到生产线中的下一生产设备。
[0050]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，周转装置包括提升平台，控制装置启动周转装置，将待周转物在传送装置与布片装置之间进行周转，包括:提升平台在控制装置的控制下沿垂直于传送装置的传送方向上升至待周转物的底部，将待周转物从指定位置升高至与布片装置的工作面处于同一水平高度，并将待周转物传送至布片装置；以及在布片之后的待周转物从布片装置传送至提升平台之后，提升平台在控制装置的控制下沿垂直于传送装置的传送方向降低，将待周转物降低至传送装置上的指定位置，其中，布片装置的工作面的高度高于传送装置的工作面的高度。
[0051]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，提升平台包括:提升气缸、支撑机构以及第一万向轮组件;提升气缸，设置在支撑机构之下，用于升高或降低支撑机构;支撑机构，设置于提升汽缸的上方，用于承载待周转物并进行升高或降低;第一万向轮组件，包括多个万向轮，设置于支撑机构之上，用于沿着与传送装置的传送方向相互垂直的方向传送待周转物。其中，周转装置包括提升平台时，周转装置的工作面是指提升平台的工作面，而提升平台的工作面是指第一万向轮组件所在的水平面。
[0052]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，支撑机构包括多组与传送装置的间隙平行设置的第一支撑组件，第一支撑组件包括多个第一水平支撑杆和多个第一垂直支撑杆。
[0053]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，第一支撑组件包括以下结构中的任意一种:升降式结构支撑组件、伸缩式结构支撑组件。
[0054]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，第一万向轮组件设置于支撑机构之上，包括:第一万向轮组件中的多个万向轮均设置于支撑机构的第一水平支撑杆上。
[0055]在实际生产过程中，若周转装置中的提升平台与布片装置未相邻设置，也即提升平台与布片装置中间有一定距离，则本发明实施例提供的周转设备中，周转装置还包括:周转平台，周转平台位于提升平台与布片装置之间，用于将待周转物从提升平台传送至布片装置，并将布片之后的待周转物从布片装置传送至提升平台，其中，周转平台的工作面的高度与布片装置的工作面的高度一致。
[0056]值得说明的是，当周转装置包括提升平台和周转平台时，本发明实施例中所提到的传送装置上的指定位置是指提升平台在传送装置上垂直投影所在的位置，而周转平台设置在提升平台和布片装置之间，周转平台在传送装置上无垂直投影。
[0057]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，周转平台包括:支撑平台以及第二万向轮组件;支撑平台包括:多个第二水平支撑杆和多个第二垂直支撑杆，用于承载待周转物并在提升平台与布片装置之间进行传送;第二万向轮组件，包括多个万向轮，设置于第二水平支撑杆上，用于沿着与传送装置的传送方向相互垂直的方向传送待周转物。其中，第二支撑组件不同于第一支撑组件，第二万向轮组件也不同于第一万向轮组件，第二支撑组件和第二万向轮组件均设置于周转平台中，而第一支撑组件和第一万向轮组件均设置于提升平台中，同理，第一水平支撑杆和第二水平支撑杆，第一垂直支撑杆和第二垂直支撑杆也不相同。
[0058]值得说明的是，周转装置包括提升平台和周转平台时，本发明实施例中所提到的周转装置的工作面均是指提升平台的工作面，提升平台的工作面能够伴随着提升气缸的升高而升高，伴随着提升气缸的降低而降低，也即提升平台的工作面能够高于传送装置的工作面，也能够低于传送装置的工作面，而周转平台的工作面是指周转平台中第二万向轮组件所在的水平面，周转平台的工作面的高度与布片装置的工作面的高度一致，且二者均与提升平台的工作面升高后的高度一致。
[0059]在一种可能的实施方式中，本发明实施例提供的周转设备中，周转平台中第二垂直支撑杆的高度与布片装置的高度相同。
[0060]具体实施时，本发明实施例提供的周转设备，如图1所示，包括:传送装置102、信号采集装置、PLC单元、提升平台104、周转平台106以及布片装置108，其中，提升平台104和周转平台106组成周转装置，该周转装置可以实现待周转物在传送装置102与布片装置108之间的自动周转，使得经布片装置108完成布片后的待周转物能够自动周转到传送装置102上，并由传送装置102将待周转物运输到PECVD设备腔室内进行镀膜，其中，传送装置102可以是传送带。下面对周转装置中的各个部分进行详细说明，具体来说:
[0061]信号采集装置，可以设置在生产线的各个生产设备中，例如设置在传送装置上监测待周转物的运行位置，设置在提升平台上，获取提升平台工作面所在的位置。信号采集装置，包括:多个传感器，例如:图像采集传感器、位置传感器等，传感器的作用是采集生产线上待周转物的运行位置信息、提升平台的工作面所在的位置、并将采集到的提升平台的工作面所在的位置、待周转物的运行位置发送至PLC单元，由PLC单元根据提升平台的工作面所在的位置、待周转物的运行位置控制传送装置102和提升平台104的启动和停止。
[0062]PLC单元，包括:CPU主控制模块、数字信息输入输出模块等;该PLC单元与提升平台104、周转平台106通过信号相连，作用是当待周转物的运行位置与传送装置102上的指定位置重合时，控制停止传送装置102的运行，并存储待周转物的参数信息，并在待周转物完成布片并传送回指定位置后，读取存储的待周转物的参数信息，并根据待周转物的参数信息控制传送装置102将待周转物流入下一工序。其中CPU主控制模块为控制的核心元件，通过在模块内编写程序来对各个生产设备进行控制;数字信息输入输出模块为信号采集和发送命令的模块，用来采集各个生产设备的参数信息并向各个生产设备发送指令或信号。
[0063]提升平台104，如图2所示，包括:提升气缸1042、支撑机构1044、第一万向轮组件1046，该提升平台104的作用是升高或降低位于传送装置102上的待周转物，且上升后的高度为周转平台106的工作面的高度，周转平台106的工作面的高度与布片装置108的工作面的高度相同。其中，提升气缸1042为任何一种能够升高和降低的气缸结构，其主要作用是为支撑机构1044、第一万向轮组件1046以及位于传送装置102上的待周转物提供升高和降低的动力。支撑机构1044包括位于提升气缸1042上方的多组第一支撑组件，第一支撑组件包括伸缩式结构支撑组件、升降式结构支撑组件，每组第一支撑组件均包括第一水平支撑杆和第一垂直支撑杆，第一水平支撑杆的长度小于或等于传送装置102的宽度，每组第一支撑组件可穿过传送装置102之间的间隙进行升高或降低，且多组第一支撑组件彼此相互平行，第一万向轮组件1046，包括多个万向轮，设置于每组第一支撑组件中的第一水平支撑杆上，且万向轮用于沿着与传送装置102的传送方向相互垂直的方向传送待周转物，将升起的待周转物运送到周转平台106上。