从而使喷淋盒4保持同等的速度滴液。在实际应用中，可根据不同的工艺需求调整流量阀8的开度。
[0022]喷淋盒4的漏液孔呈锥形，漏液孔的孔径由上至下逐渐加大.或者，喷淋盒4的漏液孔呈直筒形，直筒的底面设有一圈锥形凹环，该锥形凹环的孔径由直筒孔向下逐渐加大。喷淋盒4通过漏液孔控制药液呈水滴状滴下。药液呈直线型从喷淋盒流下时药液刚接触硅片即被后续的药液冲走，流速快且冲击力较大，不利于硅片反应，水滴状落下可保证药液与硅片3能有较长的反应时间，保证硅片反应充分均匀。
[0023]该设备还包括补液系统，补液系统内设有:位于运送组件的上料口的计数传感器、与计数传感器连接的控制器、以及与控制器连接的补液装置，计数传感器对硅片3计数，达到预设数量后发送信号给控制器，控制器控制补液装置向副槽7内补充新药液，新液补充完成后，计数传感器重新计数。其中，控制器可采用PLC控制器或PC端。
[0024]补液系统包括:设于副槽7上方的补液罐9，联通该补液罐9底部的带有进液控制的输液管道10，补液罐的底部还联通补液管11，该补液管11中并接有粗补阀12和精补阀13，补液罐9的顶部设有一用于补液罐9液位检测的超声波液位仪14，该超声波液位仪14与控制器连接。超声波液位仪14用作距离传感器，检测补液罐9内的液面高度来控制补液量，由于超声波液位仪14本身精度非常高，配合大小双阀门补液管路，可提高补液量的准确性。
[0025]基于上述的设备结构，在一实施例中，该设备还包括在副槽7内顶部设有一用于副槽7内液位检测的液位检测器，该液位检测器与控制器连接。在设备运行时，计数感应器对硅片计数，达到预设数量时，计数传感器触发补液系统补液，液位检测器对副槽7液面高度进行检测，并将液面高度反馈到控制器，控制器换算出需要补液的实时体积，打开补液管中的粗补阀12进行补液，超声波液位仪14检测补液罐9内液面下降的高度，并反馈给控制器，控制器换算对比快要到达设定的补液量时，关闭粗补阀12，然后精补阀13开启，对副槽7进行精细补液。
[0026]在另一实施例中，该设备还包括副槽7内设有药液浓度检测仪，计数器达到设定数量时，对副槽7内的药液浓度进行检测，并反馈给控制器，控制器根据检测结果按照比例计算出补液量，在通过补液系统对副槽7进行补液。
[0027]当然在实际应用中，接液槽I下方也可不设置副槽，药液进入接液槽I后直接由循环泵6抽回喷淋盒4内。当循环泵6的出口设有两路管道时，第一路管道接入喷淋盒4内，第二路管道接回接液槽7内，使药液混合的更均匀。同时，补液系统补液时将新液直接向接液槽I内添加。
[0028]在一较优实施例中，运送组件的运送速度为1.8-2.5M/Min，硅片之间的间隔距离约为20mm，当计数感应器计数到200片后，触发补液系统向副槽补充新液，保证循环药液的动态平衡。
[0029]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种太阳能硅片的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于包括: 运送组件，包括纵向均匀排列的滚筒、驱动滚筒的电动元件，运送组件用于向前运送硅片; 喷淋组件，包括位于滚筒上方、纵向间隔设置的喷淋盒，喷淋盒底面均匀设有漏液孔； 供液组件，包括设于运送组件下方的接液槽，位于接液槽下方并与接液槽连通的副槽，与所述副槽和喷淋组件连接的循环管道，以及位于副槽出口与循环管道连接的循环泵。
2.如权利要求1所述的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于，所述循环泵的出口设有两路管道，第一路管道接入喷淋盒内，第二路管道接回副槽内。
3.如权利要求2所述的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于，所述喷淋盒的进口处设有流量阀，第一路管道经过流量阀再接入喷淋盒，循环泵连接有变频器，通过变频器控制循环泵的转速。
4.如权利要求1所述的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于，所述喷淋盒的漏液孔呈锥形，漏液孔的孔径由上至下逐渐加大；或者，喷淋盒的漏液孔呈直筒形，直筒的底面设有一圈锥形凹环，该锥形凹环的孔径由直筒孔向下逐渐加大。
5.如权利要求1所述的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于，该设备还包括补液系统，补液系统内设有:位于运送组件的上料口的计数传感器、与计数传感器连接的控制器、以及与控制器连接的补液装置，计数传感器对硅片计数，达到设定数量后发送信号给控制器，控制器控制补液装置向副槽内补充新药液。
6.如权利要求5所述的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于，所述补液系统包括:设于副槽上方的补液罐，联通该补液罐底部的带有进液控制的输液管道，所述补液罐的底部还联通一补液管，该补液管中并接有粗补阀和精补阀，补液罐的顶部设有一用于补液罐液位检测的超声波液位仪，该超声波液位仪与控制器连接。
7.如权利要求6所述的淋浴式湿法制绒设备，其特征在于，所述副槽内顶部设有一用于副槽内液位检测的液位检测器，该液位检测器与控制器连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种太阳能硅片的淋浴式湿法制绒设备，包括：用于向前运送硅片的运送组件，设于运送组件上方的喷淋组件，设于运送组件下方的供液组件。间隔向运送组件上放置硅片，运送组件向前运送硅片，喷淋盒向下喷淋药液；运送组件上流下的药液在接液槽内聚合。本实用新型淋浴的方式将腐蚀液喷洒或滴到硅片上，多余药液及反应生成物流到接液槽，从而保证硅片的腐蚀均匀性。
【IPC分类】H01L31-18, H01L21-67
【公开号】CN204361118
【申请号】CN201520034205
【发明人】左国军
【申请人】常州捷佳创精密机械有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2015年1月19日