具有预先排向功能的晶粒进料装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种具有预先排向功能的晶粒进料装置，主要包括供料盘、进料模块以及回料模块。其中，供料盘用于供给多个待测晶粒，回料模块用于回收自进料模块所落下的待测晶粒至供料盘；而进料模块通过设置于进料轨道与供料盘之间的预先排向单元，可预先进行筛选和排向，当待测晶粒的设定面经过预先排向单元时可顺利通过，而非设定面经过预先排向单元时将被筛选落下，故可达到预先排向的功效。此外，预先排向单元还可适当调节待测晶粒的供给量，当出现过量供给的情况时，多余的待测晶粒亦将被预先排向单元筛选落下。
【专利说明】
具有预先排向功能的晶粒进料装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种具有预先排向功能的晶粒进料装置，特别涉及一种适用于晶粒检测设备的进料装置。【背景技术】
[0002]公知的晶粒检测设备的进料装置主要用于将待测晶粒移至取放装置可取放的位置或检测装置上。而公知的晶粒检测设备请参阅图1以及图2,图1为公知的晶粒检测设备的进料模块的俯视图，图2为公知的晶粒检测设备的进料模块和取放装置的局部放大图。如图 1所示，晶粒检测设备的进料模块主要包括震动供料盘5、进料直震模块6、回料直震模块7、 以及吸料机构8。
[0003]其中，震动供料盘5用于存放待测晶粒C和供给待测晶粒C，待测晶粒C会从震动供料盘5的供料口 51送至进料直震模块6的进料轨道61上。由于待测晶粒C通常不是会有规律地依照顺序进给，故进料轨道61上设有落料口 62，以使进给位置不正确的待测晶粒C从该落料口 62落入回料直震模块7的回料轨道71上，使待测晶粒C回到震动供料盘5中重新进给。
[0004]然而，为了提升检测效率，震动供料盘5的供给量将大幅提高，而待测晶粒C将大量地堆积于进料轨道61上。因此，一方面为了顺利地对大量的待测晶粒C实行进料，而另一方面又必须加快进料的速度，故进料直震模块6的输出功率势必大幅提高。
[0005]换言之，进料轨道61下方的震荡器须提高震动频率来加强推力以带动待测晶粒C 往如并加速。而当震动频率提尚时，待测晶粒C跳动变大，此时便容易发生待测晶粒C堆置的情形，即导致待测晶粒C一端会翘起而跨在另一待测晶粒C上，即如图2所示。
[0006]然而，当发生待测晶粒C堆叠的情形时，一旦吸料机构8进行取放，堆叠的待测晶粒 C因整体高度的改变，会直接受到吸料机构8的冲击，导致待测晶粒C破裂毁损、击碎，或造成吸料机构8毁损。
[0007]综上所述，如何达成一种在高速进料的情形下，无需过度地调高震荡器的振幅推力，而待测晶粒即可平顺地循序地进给，使吸料机构可以容易地吸取待测晶粒并进行测试， 实为目前产业所需突破的问题。【实用新型内容】
[0008]本实用新型的主要目的在于提供一种具有预先排向功能的晶粒进料装置，其能提高进料速度，无需过度的推力，故无需大幅调高震荡器的振幅推力，可提升设备的可靠度和稳走度。
[0009]为达成上述目的，本实用新型的一种具有预先排向功能的晶粒进料装置，主要包括供料盘、进料模块以及回料模块。供料盘包括出料口，且供料盘在出料口供给多个待测晶粒;而每个待测晶粒的每个立面侧壁在厚度方向上包括一平面以及一斜面。进料模块接续于供料盘的出料口，进料模块包括进料轨道、预先排向单元以及进料驱动器;而预先排向单元设置于出料口与进料轨道之间；且进料驱动器将多个待测晶粒从供料盘的出料口推进经过预先排向单元至进料轨道;又，预先排向单元包括落料面以及排向轨道，排向轨道设置于落料面上，排向轨道包括彼此邻接的底面和筛选壁;每个待测晶粒行经排向轨道的底面时， 如待测晶粒以立面侧壁的斜面抵接于筛选壁，待测晶粒将自筛选壁脱落而从落料面滑落。 回料模块包括回料轨道以及回料驱动器，而回料轨道用于承接自落料面滑落的待测晶粒， 且回料驱动器用于驱使待测晶粒回流至供料盘。
[0010]整体而言，本实用新型通过在进料模块设置预先排向单元，其可先进行筛选和排向，当待测晶粒的设定面经过该预先排向单元时可顺利通过，而非设定面经过该预先排向单元时将被筛选落下，故可达到预先排向的功效。此外，又通过预先排向单元的设置，可适当调节待测晶粒的供给量，当出现过量供给的情况时，多余的待测晶粒亦将被该预先排向单元筛选落下。
[0011]较优选的是，本实用新型的每个待测晶粒的每个立面侧壁的平面的高度大于斜面的高度，而斜面的高度大于或等于排向轨道的筛选壁的高度。据此，本实用新型的预先排向功能即是利用当待测晶粒的立面侧壁的斜面抵靠排向轨道的筛选壁时，因筛选壁的高度等于或较低于斜面的高度，待测晶粒将受到自身重力的影响，斜面无法支撑而滑落。另一方面，如果是当待测晶粒的立面侧壁的平面抵靠排向轨道的筛选壁时，平面可稳固地抵靠于筛选壁，故可顺利通过预先排向单元。
[0012]再者，本实用新型的排向轨道的筛选壁包括第一区段以及第二区段，第一区段的高度和第二区段的高度不同；其中，若第一区段的高度大于第二区段的高度，将可先于第一区段进行进给量的调节，后再于第二区段进行排向筛选;其中，若第二区段的高度大于第一区段的高度，则于第一区段同时进行进给量的调节和排向筛选，而第二区段则仅是平顺进给。
[0013]又，本实用新型的进料模块还可包括上层轨道，其连接于供料盘的出料口并位于进料轨道上方，预先排向单元位于上层轨道。而且，上层轨道还可包括进料滑槽，其介于进料轨道与预先排向单元之间；而多个待测晶粒经过预先排向单元后经由进料滑槽进入进料轨道。换言之，本实用新型的预先排向单元可设置于进料轨道的上方，当待测晶粒经过排向筛选后，再通过进料滑槽进入下方的进料轨道。
[0014]此外，本实用新型的预先排向单元还可包括承接斜面，其位于落料面的下方;待测晶粒从落料面滑落至承接斜面，并自承接斜面落到该回料轨道。换言之，因预先排向单元与回料轨道间离开有相当高度，故待测晶粒自预先排向单元直接落到回料轨道时，有可能会弹出轨道，且亦有可能造成待测晶粒毁损。【附图说明】
[0015]图1为公知的晶粒检测设备的进料模块的俯视图。
[0016]图2为公知的晶粒检测设备的进料模块和取放装置的局部放大图。
[0017]图3为本实用新型第一实施例所实施测试的待测晶粒的立体图。
[0018]图4为本实用新型第一实施例的俯视图。
[0019]图5为本实用新型第一实施例的预先排向单元的局部放大立体图。
[0020]图6A为本实用新型第一实施例的局部放大侧视图，其显示待测晶粒接点面朝上时排向轨道与待测晶粒的状态。
[0021]图6B为本实用新型第一实施例的局部放大侧视图，其显示待测晶粒接点面朝下时排向轨道与待测晶粒的状态。
[0022]图7A为本实用新型第二实施例的预先排向单元的局部放大立体图。[〇〇23]图7B为本实用新型第三实施例的预先排向单元的局部放大立体图。【具体实施方式】
[0024]本实用新型的具有预先排向功能的晶粒进料装置在本实施例中被详细描述之前， 要特别注意的是，以下的说明中，类似的组件将以相同的组件符号来表示。再者，本实用新型的图式仅作为示意说明，其未必按比例绘制，且所有细节也未必全部呈现于图式中。
[0025]请先参考图3,图3为本实用新型第一实施例所实施测试的待测晶粒的立体图。首先说明，本实施例所实施测试的待测晶粒C的每一立面侧壁CW包括平面CW1以及斜面CW2，而平面CW1所环绕的表面为接点面Cf，其为测试接点(图中未示)所处的表面。而且，在本实施例中，接点面Cf应朝下以供下方接触探针(图中未示)电性接触来进行测试。
[0026]再请同时参考图4以及图5,图4为本实用新型第一实施例的俯视图，图5为本实用新型第一实施例的预先排向单元的局部放大立体图。如图中所示，本实施例的晶粒进料装置主要包括供料盘1、进料模块2以及回料模块3;其中，供料盘1以震动的方式驱动待测晶粒 C的移动、进给，且供料盘1包括用于供给多个待测晶粒C的出料口 11。[〇〇27]再者，本实施例的进料模块2主要包括上层轨道20、进料轨道21、预先排向单元22 以及进料驱动器23;其中，上层轨道20位于进料轨道21的上方，上层轨道20的一端连接于供料盘1的出料口 11，上层轨道20的另一端设有进料滑槽24，而预先排向单元22设置于上层轨道20上，并位于供料盘1的出料口 11与进料滑槽24之间。再者，本实施例的进料驱动器23为震动驱动模块，其同样以震动的方式驱动待测晶粒C的移动、进给。也就是说，进料驱动器23 将多个待测晶粒C自供料盘1的出料口 11推进经过预先排向单元22至进料轨道21。另外，关于预先排向单元22,其包括落料面221以及排向轨道222,排向轨道222设置于落料面221上， 落料面221为一斜面。[〇〇28]请一并参考图6A以及图6B，图6A为本实用新型第一实施例的局部放大侧视图，其显示待测晶粒C接点面Cf朝上时排向轨道222与待测晶粒C的状态；图6B为本实用新型第一实施例的局部放大侧视图，其显示待测晶粒C接点面C f朝下时排向轨道2 2 2与待测晶粒C的状态。
[0029]如图中所示，排向轨道222包括彼此邻接的底面223及筛选壁224,而待测晶粒C的每个立面侧壁CW的平面CW1的高度H 1大于斜面CW2的高度H2,而斜面CW2的高度H2又大于排向轨道222的筛选壁224的高度h。据此，当每个待测晶粒C行经排向轨道222的底面223时，若待测晶粒C接点面Cf朝上，即如图6A中所示，即待测晶粒C的立面侧壁CW的斜面CW2抵靠排向轨道222的筛选壁224时，因筛选壁224的高度较低于斜面CW2的高度，故待测晶粒C将受到自身重力的影响，导致斜面CW2将无法支撑而滑落。
[0030]另一方面，若待测晶粒C接点面Cf朝下，即如图6B中所示，即当待测晶粒C的立面侧壁CW的平面CW1抵靠排向轨道222的筛选壁224时，因平面CW1可稳固地抵靠于筛选壁224,故筛选壁224可支撑待测晶粒C，而待测晶粒C可顺利通过预先排向单元22,以此达到筛选、排向功能。
[0031]请再参考图4,图中显示有回料模块3,其包括回料轨道31以及回料驱动器32,该回料轨道31用于承接自落料面221滑落的待测晶粒C，而回料驱动器32用于驱使待测晶粒C回流至供料盘1。同样地，本实施例的回料驱动器32为震动驱动模块，其同样以震动的方式驱动待测晶粒C的移动、回流。[0032 ]此外，在本实施例中，预先排向单元22还包括承接斜面227，其位于落料面221的下方。其中，待测晶粒C从落料面221滑落至承接斜面227,并自承接斜面227落至回料轨道31。 换言之，因预先排向单元22与回料轨道31间离开有相当高度，故待测晶粒C自预先排向单元 22直接落到回料轨道31时，有可能会弹出轨道，另一方面也有可能因掉落时的重力加速度造成待测晶粒C毁损，故设置承接斜面227来缓冲待测晶粒C直接落下所造成的影响与伤害。
[0033]请参考图7A，图7A为本实用新型第二实施例的预先排向单元的局部放大立体图。 本实施例与第一实施例的主要差异在于，本实施例的预先排向单元22的筛选壁224包括第一区段225以及第二区段226,且第一区段225的高度hi与第二区段226的高度h2不同。在本实施例中，第一区段225的高度hi大于第二区段226的高度h2;而第一区段225的高度hi又大于待测晶粒C的斜面CW2的高度H2,且第二区段226的高度h2则小于待测晶粒C的斜面CW2的高度H2。[〇〇34]据此，因第一区段225的高度hi大于待测晶粒C的斜面CW2的高度H2,故即便是待测晶粒C接点面Cf?朝上的情况，仍有部分的平面CW1会抵靠在筛选壁224上；因此，不论待测晶粒C接点面Cf是朝下或朝上都会顺利通过第一区段225;当待测晶粒C进入第二区段226后， 才会由第二区段226的筛选壁224来进行筛选、排向。然而，本实施例设置所述两个区段的目的在于，当有大量的待测晶粒C进入预先排向单元22时，将可通过第一区段225来调节进给量，因第一区段225每次仅能让待测晶粒C排列依序通行，故多余的进给量将直接滑落。 [〇〇35]请参考图7B，图7B为本实用新型第三实施例的预先排向单元的局部放大立体图。 本实施例与前述第二实施例的主要差异在于，本实施例的第二区段226的高度h2大于第一区段225的高度hi。据此，在本实施例中，第一区段225将同时进行进给量的调节和排向筛选，而第二区段226则仅是平顺进给。
[0036]上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以权利要求所述为准，而非仅限于上述实施例。[〇〇37] 符号说明 [〇〇38]〔公知〕[〇〇39]5震动供料盘
[0040]51供料口[〇〇4116进料直震模块
[0042]61进料轨道
[0043]62落料口
[0044]7回料直震模块
[0045]8吸料机构[〇〇46]〔本实用新型〕[〇〇47]1供料盘
[0048]11出料口
[0049]2进料模块
[0050]20上层轨道[0051 ]21进料轨道[〇〇52]22预先排向单元
[0053]221落料面
[0054]222排向轨道
[0055]223底面
[0056]224筛选壁
[0057]225第一区段
[0058]226第二区段
[0059]227承接斜面
[0060]23进料驱动器[0061 ]24进料滑槽
[0062]3回料模块
[0063]31回料轨道
[0064]32回料驱动器
[0065]C待测晶粒
[0066]Cf接点面
[0067]CW立面侧壁
[0068]CW1平面
[0069]CW2斜面[〇〇7〇]H1平面的高度[〇〇71]H2斜面的高度
[0072]h筛选壁的高度[〇〇73]hi第一区段的高度
[0074]h2第二区段的高度。
【主权项】
1.一种具有预先排向功能的晶粒进料装置，包括:供料盘，其包括出料口，该供料盘自该出料口供给多个待测晶粒;每个待测晶粒的每个 立面侧壁于厚度方向上包括一平面以及一斜面；进料模块，其接续于该供料盘的该出料口，该进料模块包括进料轨道、预先排向单元以 及进料驱动器;该预先排向单元设置于该出料口与该进料轨道之间；该进料驱动器将所述 多个待测晶粒自该供料盘的该出料口推进经过该预先排向单元至该进料轨道;该预先排向 单元包括落料面以及排向轨道，该排向轨道设置于该落料面上，该排向轨道包括彼此邻接 的一底面以及一筛选壁;每个待测晶粒行经该排向轨道的该底面时，如该待测晶粒以该立 面侧壁的该斜面抵接于该筛选壁，该待测晶粒将自该筛选壁脱落而从该落料面滑落;以及回料模块，其包括回料轨道以及回料驱动器，该回料轨道用于承接自该落料面滑落的 该待测晶粒，该回料驱动器用于驱使该待测晶粒回流至该供料盘。2.如权利要求1所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，每个待测晶粒的每个 立面侧壁的该平面的高度大于该斜面的高度，该斜面的高度大于或等于该排向轨道的该筛 选壁的高度。3.如权利要求1所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，该排向轨道的该筛选 壁包括第一区段以及第二区段，该第一区段的高度和该第二区段的高度不同。4.如权利要求3所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，该第一区段的高度大 于该第二区段的高度。5.如权利要求3所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，该第二区段的高度大 于该第一区段的高度。6.如权利要求1所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，该进料模块还包括上 层轨道，其连接于该供料盘的该出料口并位于该进料轨道上方，该预先排向单元位于该上 层轨道。7.如权利要求6所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，该上层轨道还包括进 料滑槽，其介于该进料轨道与该预先排向单元之间；所述多个待测晶粒经过该预先排向单 元后经由该进料滑槽进入该进料轨道。8.如权利要求1所述的具有预先排向功能的晶粒进料装置，其中，该预先排向单元还包 括承接斜面，其位于该落料面下方;所述待测晶粒从该落料面滑落至该承接斜面，并自该承 接斜面落至该回料轨道。
【文档编号】H01L21/677GK205582902SQ201620211172
【公开日】2016年9月14日
【申请日】2016年3月18日
【发明人】黄德崑
【申请人】台北歆科科技有限公司