一种基于定向碳纳米管薄膜的高性能散热器及制备方法与流程

文档序号:11962484阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于定向碳纳米管薄膜的高性能散热器,其特征在于:包括定向碳纳米管薄膜(4)和紫铜板(5),紫铜板上切割微槽(7),定向碳纳米管薄膜(4)沿垂直于微槽的方向铺在紫铜板(5)上,定向碳纳米管薄膜(4)与微槽(7)的侧壁顶端紧密接触。

2.根据权利要求1所述的散热器,其特征在于:所述的定向碳纳米管薄膜(4)厚度小于1微米。

3.根据权利要求2所述的散热器,其特征在于:所述的定向碳纳米管薄膜(4)厚度20-50nm。

4.根据权利要求1所述的散热器,其特征在于:所述的微槽(7)尺度为50-200微米宽,200-500微米深,微槽间隔100-200微米。

5.一种基于定向碳纳米管薄膜的高性能散热器制备方法,其特征在于通过下列方式实现:

在单晶硅片基底(1)上制备定向碳纳米管阵列(2);

在上述碳纳米管阵列(2)的基础上直接进行抽取,获得定向碳纳米管薄膜(3);

在碳纳米管薄膜(3)上切割获得碳纳米管薄膜方形薄片(4);

在紫铜板(5)上激光切割互相平行的微米尺度的槽道;

将碳纳米管薄膜(4)沿着垂直于微槽(7)的方向铺到紫铜板(5)上并使碳纳米管薄膜(4)与微槽(7)的侧壁顶端紧密接触。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:在激光切割槽道之后,对切割后的紫铜板分别采用盐酸浸泡、丙酮清洗以及去离子水冲洗的方式去除紫铜板表面的氧化层。

7.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:在激光切割槽道之后,对切割后的紫铜板在氢气环境下,在大于400℃的温度下加热,去除表面氧化层。

8.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:将甲醇或者乙醇或者丙酮有机溶剂均匀喷涂到碳纳米管薄膜(4)和微槽(7)上,有机溶剂自然挥发后,通过分子的表面张力,使碳纳米管薄膜(4)与微槽(7)的侧壁顶端紧密接触。

9.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:在铺好的碳纳米管薄膜(4)和紫铜板(5)微槽(7)上滴加甲醇或者乙醇或者丙酮有机溶剂微液滴(8),有机溶剂自然挥发后,通过分子的表面张力,使碳纳米管薄膜(4)与微槽(7)的侧壁顶端紧密接触。

10.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:微槽尺度为50-200微米宽,200-500微米深,微槽间隔100-200微米。

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