用于制造多功能层的方法、电泳衬底、转换小板和光电子器件的制作方法

文档序号:9932995阅读:398来源:国知局
用于制造多功能层的方法、电泳衬底、转换小板和光电子器件的制作方法
【技术领域】
[0001]提出一种用于制造多功能层的方法。此外,提出一种电泳衬底、一种转换小板和一种光电子器件。

【发明内容】

[0002]待实现的目的在于:提供一种用于制造多功能层的节约材料的方法。另一待实现的目的在于:提出一种有效的转换小板。另一待实现的目的在于:针对所述方法提出一种电泳衬底。另一待实现的目的在于:提出一种有效的光电子器件。
[0003]根据用于制造多功能层的方法的至少一个实施方式,在步骤A中提供具有载体的电泳衬底。电泳衬底能够自承地构成。电泳衬底例如不需要任何其它进行机械支持的或进行稳定的部件。电泳衬底的载体例如能够包括电绝缘材料或由这种材料构成。
[0004]此外,载体能够包括能导电的材料,其中载体的外面能够电绝缘地构成。载体的外面例如能够具有连续的介电钝化部。可以考虑的是:载体包括能导电的芯(例如能传导的硅),并且能导电的核心由电绝缘材料、例如塑料包围。
[0005 ]载体优选能够包含下述材料中的一种或由这些材料中的一种构成:玻璃、GaN、金属、PTFE(聚四氟乙烯)、特氟龙覆层的材料、塑料、如聚烯烃(例如高密度或低密度的聚乙烯(PE)或者聚丙烯(PP))、聚氯乙烯(PVC)、聚苯乙烯(PS)、聚酯、聚碳酸酯(PC)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚酰亚胺(PI)、聚醚醚酮(PEEK)、聚酰胺(例如酞酰胺(PPA))、聚对苯二甲酸环己烷二甲醇酯(PCT)、硅酮、环氧化物。
[0006]根据所述方法的至少一个实施方式,载体具有前侧和背离前侧的后侧。前侧和后侧优选在制造公差的范围内平坦地构成。前侧尤其能够平行于后侧伸展。
[0007]根据所述方法的至少一个实施方式,第一能导电的层和第二能导电的层施加在载体的前侧上并且局部地在横向方向上彼此间隔开地设置。在本文中将“横向方向”理解为如下方向:所述方向平行于在此所描述的电泳衬底的主延伸方向伸展。第一能导电的层和第二能导电的层例如不直接接触并且例如能够通过气相沉积或溅射施加。此外,第一能导电的层能够包含与第二能导电的层相同的材料。特别地,第一和第二能导电的层能够由相同的材料通过结构化形成。还可以考虑的是:第一能导电的材料包括与第二能导电的层的材料不同的材料。第一能导电的层和第二能导电的层构成为,使得它们适合于电泳沉积不同的材料。载体的不应施加能导电的层的区域例如能够具有光刻胶层。
[0008]根据所述方法的至少一个实施方式,在步骤B中,将第一材料电泳沉积到第一能导电的层上。在此,给第一能导电的层加载电压,使得例如能够位于电泳池中的第一材料沉积在第一能导电的层上。优选地,第二能导电的层是无电势的或加载有另一电势,使得仅在第一能导电的层上或至少以提高的程度在第一能导电的层上沉积第一材料。借助第一材料也能够同时电泳沉积扩散材料,以便实现在第一材料中的光学散射。优选地,散射在第一材料的区域中是均匀的并且尤其是各向同性的。扩散材料例如能够包含Si02、Al203和/或T12或者由这些材料中的一种构成。扩散材料具有优选在10nm和500nm之间的平均的颗粒大小(d50值),其中包括边界值。扩散材料还能够在另一电泳沉积步骤中在电泳沉积第一材料之后单独地沉积。
[0009]电泳沉积在第一能导电的层上的第一材料的厚度尤其能够通过电压加载的持续时间来控制或者确定。在本文中将“厚度”理解为横向于、优选垂直于横向方向的扩展。将第一材料电泳沉积到第一能导电的层上能够通过切断电压来结束。
[0010]根据所述方法的至少一个实施方式,在步骤C中,将第二材料电泳沉积到第二能导电的层上。对此,第二能导电的层能够加载有电压。优选地,在此,第一能导电的层是无电势的或加载有另一电势,使得仅在第二能导电的层上或至少以提高的程度在第二能导电的层上沉积第二材料。电泳沉积第二材料能够在另一电泳池中进行,所述另一电泳池包含第二材料。将第二材料电泳沉积到第二能导电的层上能够如在此已经描述的那样通过电压加载的持续时间来控制或者通过切断电压来结束。
[0011 ]特别地,第一材料和第二材料是不同的材料。优选地,步骤B和C在此彼此不相关地并且依次执行。
[0012]如果载体例如包含能导电的材料,那么载体的不期望进行电泳沉积的区域能够具有电绝缘材料(例如Si02、Al203)。此外,载体的这些区域尤其能够借助于光刻胶层覆盖。
[0013]根据所述方法的至少一个实施方式,第一材料能够包含转换材料和/或第二材料能够包含散射光的和/或吸收光的材料。转换材料和散射光的和/或吸收光的材料满足不同的功能。第一材料能够改变射到其上的光的波长。在本文中尤其将“改变”理解为在光学上可感知的波长变化。相反,第二材料不改变射到其上的光的波长,而是将其散射和/或吸收。
[0014]根据所述方法的至少一个实施方式,在步骤D中,将填充材料设置在第一材料和第二材料之间。填充材料例如能够是透光的。
[0015]根据所述方法的至少一个实施方式,填充材料与第一材料和第二材料构成共同的边界面。共同的边界面例如平行于载体的前侧伸展并且能够背离载体的后侧。共同的边界面优选在制造公差的范围内平坦地构成。
[0016]根据所述方法的至少一个实施方式,通过填充材料在第一材料和第二材料之间填充在横向方向上的间距,使得构成连续的多功能层。在本文中将“横向方向”理解为平行于在此所描述的电泳衬底的主延伸方向伸展的方向。如在此已经描述的那样,第一能导电的层和第二能导电的层彼此间隔开地设置。相应的间距也存在于在电泳沉积之后的第一材料和第二材料之间。这些间距能够借助填充材料填充。在此,填充材料例如能够与第一材料和第二材料交联。特别地,填充材料能够与第一材料和第二材料进入材料配合的连接,使得构成连续的多功能层。连续的多功能层尤其能够是一件式的。
[0017]根据所述方法的至少一个实施方式,在步骤E中将多功能层与电泳衬底分离。连续的多功能层例如能够在填充材料硬化之后通过揭下或脱层(Umlaminieren)从电泳衬底剥离。此外,为了剥离多功能层尤其能够使用吸引镊子(Saugpinzette)。
[0018]根据所述方法的至少一个实施方式,以在此所提出的顺序A至E执行所述方法。
[0019]根据用于制造多功能层的方法的至少一个实施方式,在步骤A中提供具有载体的电泳衬底,所述载体具有前侧和背离前侧的后侧,其中第一能导电的层和第二能导电的层施加在前侧上并且局部地彼此间隔开地设置。在步骤B中将第一材料电泳沉积到第一能导电的层上。在步骤C中将第二材料电泳沉积到第二能导电的层上。在步骤D中将填充材料设置在第一材料和第二材料之间,其中填充材料与第一材料和第二材料构成共同的边界面并且通过填充材料在第一材料和第二材料之间填充在横向方向上的间距,使得构成连续的多功能层。随后在步骤E中使多功能层与电泳衬底分离。
[0020]为了提出用于制造多功能层的方法,在此所描述的方法还采用如下思想:将具有不同功能和/或特性的材料单独地电泳沉积到电泳衬底的能导电的层的预定区域上,其中能导电的层彼此电绝缘并且可彼此不相关加载有电压。通过在此所描述的方法在使用在此所描述的电泳衬底的条件下例如能够制造转换小板。转换小板具有转换光区域和散射光和/或吸收光区域,所述转换光区域和所述散射光和/或吸收光区域在转换小板之内在横向方向上相邻。由此,能够借助于所述方法尤其制造低串扰的转换小板,因为尤其优选光不能够穿过散射光和/或吸收光区域透射。此外在电泳沉积中有利的是:材料或颗粒能够尤其紧密地、即以尤其高的浓度沉积。此外,
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