具有附载体的金属箔的层压体的制作方法_4

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层压体切断的步骤。在该情况下,也可以进一步包括:将切断后的层压体的金属箔从金属载体剥离而分离的步骤。在所述的覆多层金属层压板的制造方法中,还可以包括:在俯视金属箔的表面时,在金属箔与金属载体的层压面的至少一个面上将所述层压体切断的步骤。
[0164]并且,还可以包括:在将金属箔从金属载体剥离而分离后,通过蚀刻而去除金属箔的一部分或全部的步骤。
[0165]第三,提供一种增层基板的制造方法,其包括:对所述层压体的至少一个金属箔的面方向,层压树脂、单面或者两面布线基板、单面或者两面覆金属层压板、本发明的层压体、即将图2或图10所示的层压体或图3?图7所示的被树脂覆盖的层压体切断而获得的层压体或者图11所示的在金属载体间介隔有无机基板和/或金属板的层压体、附树脂基板的金属层、布线、电路或金属层I次以上、例如I?10次。此外,该层压是进行所需次数,各次层压都可以从由树脂、单面或者两面布线基板、单面或者两面覆金属层压板、本发明的层压体、及金属层所组成的族群中任意地选择。另外,与所述同样地,作为附树脂基板的金属层,可适宜地使用现有的附载体的金属箔等。
[0166]第四,提供一种增层基板的制造方法,其包括:对所述层压体的至少一个金属箔的面方向层压一层以上的增层布线层的步骤。此时,增层布线层可以使用减成法或全加成法或半加成法的至少一种方法而形成。
[0167]此处,层压体的第四用途、即增层基板的制造方法中的所谓减成法,是指通过蚀刻等而选择性地去除覆金属层压板或布线基板(包括印刷布线板、印刷电路板)上的金属层的不需要部分,而形成导体图案的方法。所谓全加成法是不使用金属层作为导体层,且通过无电镀或/及电镀而形成导体图案的方法,半加成法是通过在例如包含金属层的晶种层上进行无电解金属析出,并进行电镀、蚀刻、或并用这两种而形成导体图案后,蚀刻去除不需要的晶种层而获得导体图案的方法。
[0168]在所述的增层基板的制造方法中,还可以包括:在单面或者两面布线基板、单面或者两面覆金属层压板、层压体的金属箔、层压体的金属载体、金属层、附树脂基板的金属层的树脂、附树脂基板的金属层的金属层、或树脂上开孔,并在该孔的侧面及底面进行导通镀敷的步骤。另外,还可以包括进行I次以上如下步骤:在构成所述单面或者两面布线基板的金属层、构成单面或者两面覆金属层压板的金属层、构成层压体的金属箔、附树脂基板的金属层的金属层、及金属层的至少一层上形成布线的步骤。
[0169]在所述的增层基板的制造方法中,还可以包括:在形成有布线的表面上,层压本发明的层压体、即将图2或图10所示的层压体或图3?图7所示的被树脂覆盖的层压体或者图11所示的在金属载体间介隔有无机基板和/或金属板的层压体切断而获得的层压体的步骤。
[0170]此外,所谓“形成有布线的表面”是指在进行增层的过程中每次出现的表面形成布线的部分,对于增层基板而言,包括最终制品,也包括其半成品。
[0171]在所述的增层基板的制造方法中,可以包括:在处于可剥离状态的金属箔的部分,将该金属箔从金属载体剥离而分离的步骤。此处,关于处于可剥离状态的金属箔的部分,设想的是图2所示的层压体的金属箔,而不是图3?图7所示的被树脂覆盖的层压体,但即便为图2所示的层压体,在例如冶金接合方法或机械接合方法等从金属箔上进行接合的方法中,通过经过如下所述的切断步骤,也可以将金属箔从金属载体剥离。
[0172]另外,可以包括:在俯视金属层的表面时,在金属箔与金属载体的层压面的至少一个面上、例如所述层压体的金属箔上将所述层压体切断的步骤。在该情况下,也可以进一步包括:将切断后的层压体的金属箔从金属载体剥离而分离的步骤。在所述的增层基板的制造方法中,还可以包括:在俯视金属箔的表面时,在金属箔与金属载体的层压面的至少一个面上将所述层压体切断的步骤。或者,在金属载体彼此接合或焊接或粘接的情况下,也可以在俯视该层压体时,在该接合、焊接或粘接的部分的内侧进行切断。另外,也可以通过切断、研削、机械研磨、蚀刻等化学研磨等而去除金属载体彼此的接合部。
[0173]并且,还可以包括:在将金属箔从金属载体剥离而分离后,通过蚀刻而去除金属箔的一部分或全部的步骤。
[0174]此外,在所述的覆多层金属层压板的制造方法及增层基板的制造方法中,各层彼此可以通过进行热压接而层压。该热压接可以在每次层压时进行,也可以在层压某程度后集中进行,还可以在最后一次性集中进行。
[0175]尤其是本发明提供所述的增层基板的制造方法,其包括进行至少I次如下步骤:在单面或者两面布线基板、单面或者两面覆铜箔层压板、本发明的层压体、即将图2或图10所示的层压体或图3?图7所示的被树脂覆盖的层压体切断而获得的层压体或者图11所示的在金属载体间介隔有无机基板和/或金属板的层压体的金属箔、该层压体的金属载体、金属层、附树脂基板的金属层的树脂、附树脂基板的金属层的金属层、或树脂上开孔,并在该孔的侧面及底面进行导通镀敷,继而在构成所述单面或者两面布线基板的金属箔及电路部分、构成单面或者两面覆铜箔层压板的金属箔、构成层压体的金属箔、附树脂基板的金属层的金属层、或金属层上形成电路的步骤。
[0176]以下,作为所述用途的具体例,对利用本发明的层压体的4层CCL的制造方法进行说明。此处所使用的层压体是使图2所示的金属载体Ilc及金属箔Ila隔着剥离层Ilb以可分离的方式接触而构成。在层压体上依序重叠所需片数的预浸体12、称为内层芯13的2层印刷电路基板或2层覆金属层压板、预浸体12、附树脂金属层,由此完成I组4层CCL组装单元。其次,重复该单元14 (通称“页”)10次左右,而构成加压组装物15 (通称“册”)(图8)。其后,可利用层压模具10夹着该册15并设置在热压机上,在规定的温度及压力下进行加压成型,由此同时制造多个4层CCL。作为层压模具10,例如可以使用不锈钢制平板。平板没有限定,例如可以使用I?1mm左右的厚板。关于4层以上的CCL,一般而言可通过增加内层芯的层数,以相同步骤进行生产。
[0177]以下,作为所述用途的具体例,以利用有如下层压体11的空心增层基板的制造方法为例进行说明,该层压体11是使用两片使金属箔Ila隔着脱模层Ilb以可分离的方式接触金属载体Ilc而构成的附载体的金属箔,使金属载体Ilc彼此接触而构成。在该方法中,在层压体11的两侧层压所需层数的增层层16,最终将两片金属箔I Ia从金属载体Ilc剥离(参照图9)。
[0178]另外,例如可以通过如下方式制造增层基板,S卩,在本发明的层压体上依序重叠作为绝缘层的树脂、2层电路基板、作为绝缘层的树脂,在其上依序重叠本发明的层压体而获得最终层压体,并在该最终层压体的金属箔与金属载体的层压面上进行切割。
[0179]另外,作为别的方法,在本发明的层压体上依序层压作为绝缘层的树脂、作为导体层的金属层。其次,根据需要也可以包括:对金属层的整个面进行半蚀刻而调整厚度的步骤。其次,在所层压的金属层的规定位置实施激光加工,形成贯穿金属层与树脂的导孔,并实施去除导孔中的胶渣的除胶渣处理后,对导孔底部、侧面及金属层的整个面或一部分实施无电镀而形成层间连接,根据需要进一步进行电镀。对于金属层上的不需要无电镀或电镀的部分,也可以在进行各自镀敷之前预先形成抗镀敷层。另外,在无电镀层、电镀层、抗镀敷层与金属层的密接性不充分的情况下,也可以预先将金属层的表面进行化学粗化。在使用抗镀敷层的情况下,在镀敷后去除抗镀敷层。其次,通过蚀刻而去除金属层及无电镀部、电镀部的不需要部分,从而形成电路。其后,可以通过在层压体的金属箔与金属载体的层压面上进行切割,而制造增层基板。也可以重复进行从树脂、铜箔的层压到电路形成为止的步骤,而制成更多层的增层基板。
[0180]并且,在该增层基板的最表面,也可以使本发明的层压体、即将图2或图10所示的层压体或图3?图7所示的被树脂覆盖的层压体或者图11所示的在金属载体间介隔有无机基板和/或金属板的层压体切断而获得的层压体与之接触并进行层压。此外,在最后使层压体密接的情况下,可以在到其前段为止,在所重叠的层压体的金属箔与金属载体的层压面上预先进行切割,也可以到最后的层压体的密接为止不进行切割,而在最后以全部层压体的金属箔与金属载体的层压面包含切断面的方式进行切割,而一次性切割。
[0181]此处,作为用于制作增层基板的树脂基板,可适宜地使用含有热硬化性树脂的预浸体。
[0182]另外,作为别的方法,在覆盖本发明的层压体的树脂上设置开口部,并在所露出的金属箔的露出表面层压作为绝缘层的树脂、例如预浸体或感光性树脂。其后,在树脂的规定位置形成导孔。在使用例如预浸体作为树脂的情况下,导孔可以通过激光加工而形成。在激光加工后,可以实施去除该导孔中的胶渣的除胶渣处理。另外,在使用感光性树脂作为树脂的情况下,可通过光刻法而去除导孔的形成部的树脂。其次,对导孔底部、侧面及树脂的整个面或一部分实施无电镀,而形成层间连接,根据需要进一步进行电镀。对于树脂上的不需要无电镀或电镀的部分,也可以在进行各自镀敷之前预先形成抗镀敷层。另外,在无电镀层、电镀层、抗镀敷层与树脂的密接性不充分的情况下,也可以预先将树脂的表面进行化学粗化。在使用抗镀敷层的情况下,在镀敷后去除抗镀敷层。其次,通过蚀刻而去除无电镀部或电镀部的不需要部分,从而形成电路。其后,可以通过在层压体的金属箔与金属载体的层压面上进行切割,而制造增层基板。也可以重复进行从树脂的层压到电路形成为止的步骤,而制成更多层的增层基板。
[0183]并且,在该增层基板的最表面,也可以使本发明的层压体、即将图2或图10所示的层压体或图3?图7所示的被树脂覆盖的层压体或者图11所示的在金属载体间介隔有无机基板和/或金属板的层压体切断而获得的层压体与之接触并进行层压。此外,在最后使层压体进行密接的情况下,可以在到其前段为止,在所重叠的层压体的金属箔与金属载体的层压面上预先进行切割,也可以到最后的层压体的密接为止不进行切割,而在最后以全部层压体的金属箔与金属载体的层压面包含切断面的方式进行切割,而一次性切割。
[0184]另外,作为别的方法,可列举图13?图15所示的增层方法。
[0185]S卩,在图13中,在将图12所示的附载体的金属箔彼此以金属载体侧进行重叠而成的层压体的各金属箔23上层压预浸体115、116,继而层压电路形成用的金属层117、118。在层压后,沿着切割线B进行切割。在进行该一系列操作时,孔114是作为定位孔而发挥功能,即便在孔114的上面层压预浸体、金属层,也可以通过照射超声波、放射线(电磁放射线(X射线及γ射线)或粒子放射线U射线、β射线、中子射线、电子束、介子束、质子束等))或电磁波而检测位置。此外,如果考虑到装置的普及程度或易使用性,则优选使用X射线或γ射线,更优选使用X射线。
[0186]继而,在图14中,在图13中所获得的层压体的孔114的内侧开出沿着层压方向贯穿的孔124。由此,人也可以观察到孔。另外,通过在孔114的内侧开出孔124,可以防止化学药液渗入到层压物的金属层与金属层之间。
[0187]而且,在图15中,在图14中所获得的层压体的最外层的金属层117、118上形成电路,设置电路区域122、123而获得增层基板121。其后,也可以如图16所示,在图15中所获得的增层基板121上进一步形成增层层132,并且根据需要继续形成增层层,最后在俯视时沿着孔124的内侧所设定的规定切割线B进行切割,沿着箭头D,在金属层的界面上分成两个基板133、134。另外,也可以如图15所示,在俯视时沿着孔124的内侧所设定的规定切割线B进行切割,在金属载体23彼此的界面分离而获得两个增层基板,并如图17所示,对各增层基板141的两面继续形成增层层142,也可以仅在单面形成增层层。
[0188]针对如此而制作的空心增层基板,经过镀敷步骤和/或蚀刻步骤而在表面形成布线,并使金属箔与金属载体之间进行剥离分离,而完成增层布线板。在剥离分离后,对于剥离面,可以形成布线,也可以通过蚀刻而去除金属箔从而制成多层增层布线板。并且,通过在增层布线板上搭载电子零件类,而完成印刷电路板。另外,可以在剥离前的空心增层基板上直接搭载电子零件,也可以获得印刷电路板。
[0189][实施例]
[0190]以下,一并揭示本发明的实施例和比较例,但这些实施例是为了更好地理解本发明及其优点而提供的例子,并非意在对发明加以限定。
[0191]<实验例I >
[0192]根据以下顺序,制作图2所示的构造的具有两片附载体的极薄铜箔的层压体。
[0193]作为载体,准备厚度为35 μπι的长条状的电解铜箔(JX日矿日石金属公司制造的JTC)。针对该铜箔的光泽面(shiny surface),在以下的条件下利用卷对卷型的连续镀敷流水线进行电镀,由此形成4000 μ m/dm2的附着量的Ni层。
[0194]⑴Ni层(含Ni层、剥离层:基底镀层I)
[0195]针对铜箔载体的S面,在以下的条件下利用卷对卷型的连续镀敷流水线进行电镀,由此形成1000 μ g/dm2的附着量的Ni层。具体的镀敷条件记载如下。
[0196]硫酸镍:270?280g/L
[0197]氯化镍:35?45g/L
[0198]乙酸镍:10?20g/L
[0199]硼酸:30?40g/L
[0200]光泽剂:糖精、丁炔二醇等
[0201]十二
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