专利名称：一种可排除清洗残留水的石英晶片清洗夹具的设计的制作方法
技术领域：
本发明涉及的是一种可排除清洗残留水的石英晶片清洗夹具的设计。属于石英电子元器件制作的生产技术领域。
背景技术：
随着电子信息技术的飞速发展，人们对频率元件的要求越来越高。作为频率元件， 石英晶体谐振器和振荡器也面临更高的可靠性、稳定性等要求。要进一步提高晶体的电器性能和稳定性，就需对石英晶片表面的洁净度有更高的要求。晶片表面光洁度越好，成膜时银层与晶片表面结合越牢固，成膜过程形成的银层越致密，稳定性就越好，同时晶片与银层之间无异物和污染，可以极大的改善石英晶体的激励电平依赖性和阻抗，从而提高石英晶体的电气性能和可靠性。为提高石英晶片表面洁净度，人们开始寻找更好的清洗方法。在这些方法中，将石英晶片置于夹具中一起超声清洗逐渐成为一种趋势。这种清洗方法可以避免传统石英晶片超声清洗过程中因晶片碰撞造成的划伤、崩裂和因其重叠造成的污染，也可以减少晶片在清洗过程中的损耗。同时由于每一石英晶片清洗外部环境相同，清洗后的一致性也将得到提高。但在石英晶片置于夹具中清洗这一方法一直存在这样的问题夹具底板限位孔等工装部位会残留有水，对石英晶片造成二次污染，进而影响石英晶体的电气性能和可靠性。
发明内容
本发明提出的是一种可排除清洗残留水的石英晶体清洗夹具的设计，其目的在于排除清洗后底板限位孔中残留的水，避免其内残留的水对石英晶片产生二次污染。本发明的技术解决方案可进行清洗残留水排除的石英晶体清洗夹具，其特征是自上而上依次叠装电极板、中间定位板、下电极板、底框装磁铁层、底框下护板，在夹具底框上阵列分布着较磁铁尺寸大于限位孔的内孔径，上电极板和中间定位板对应的限位孔的四个角的部位各设有一个导流槽；导流槽贯穿底框装磁铁层、下电极板、中间定位板和上电极板，与限位孔四个角相交。本发明的优点弥补了传统石英晶片同工装一起清洗过程后底板磁铁限位孔内残留的水不易排出、污染晶片的缺陷，可以使得清洗后工装及限位孔内残留的水顺着导流槽排出，避免了残留水对石英晶片的二次污染，提高了成膜前石英晶片表面洁净度。
附图1是本发明的磁铁工位局部放大图。图中的1是上电极板、2是中间定位板、3是下电极板、4是底框装磁铁层、5是底框下护板、6是磁铁、7是导流槽。
具体实施方式
对照附图，其结构是自上而上依次叠装电极板1、中间定位板2、下电极板3、底框装磁铁层4、底框下护板5，在夹具底框上阵列分布着磁铁6，磁铁6的尺寸大于的限位孔的内孔径，上电极板1和中间定位板2对应的限位孔的四个角的部位各设有一个导流槽7，导流槽7贯穿底框装磁铁层4、下电极板3、中间定位板2和上电极板1，与限位孔四个角相交， 能将清洗过程中残留在底板限位孔内的水导出。在原有的夹具磁铁工位设计中，磁铁被密封在一个与外界完全隔绝的空间内部， 不利于残留水渍的排除，而本发明的夹具磁铁工位在设计过程中增加了导流槽的设计，在排除残留水渍的同时又可以保证成膜过程中不会导致有银蒸镀到磁铁上面，可以延长磁铁的使用寿命。
权利要求
1.可进行清洗残留水排除的石英晶体清洗夹具，其特征是自上而上依次叠装电极板、 中间定位板、下电极板、底框装磁铁层、底框下护板，在夹具底框上阵列分布着较磁铁尺寸大于限位孔的内孔径，上电极板和中间定位板对应的限位孔的四个角的部位各设有一个导流槽；导流槽贯穿底框装磁铁层、下电极板、中间定位板和上电极板，与限位孔四个角相交。
全文摘要
本发明涉及的是可进行清洗残留水排除的石英晶体清洗夹具，其特征是自上而上依次叠装电极板、中间定位板、下电极板、底框装磁铁层、底框下护板，在夹具底框上阵列分布着较磁铁尺寸大于限位孔的内孔径，上电极板和中间定位板对应的限位孔的四个角的部位各设有一个导流槽；导流槽贯穿底框装磁铁层、下电极板、中间定位板和上电极板，与限位孔四个角相交。优点弥补了传统夹具和晶片一起清洗时在限位孔内残留有水的缺陷，可以在清洗后将限位孔内残留的水排除，避免了晶片和夹具一起清洗过程后残留水渍对晶片的污染。
文档编号B08B13/00GK102489485SQ20111042584
公开日2012年6月13日 申请日期2011年12月19日 优先权日2011年12月19日
发明者李坡, 高志祥 申请人:南京中电熊猫晶体科技有限公司