专利名称：洗净液组成物及基板的洗净方法
技术领域：
本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法，特别是提供一种针对玻璃基板，具生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物，以及一种使用该洗净液组成物的基板的洗净方法。
背景技术：
液晶显示器的制备中，不论是彩色滤光片基板或是薄膜晶体管数组基板，于光阻(photoresist)成膜之前，皆须先以洗净液进行清洗，故洗净技术将影响到后续的光微影制程(photoI ithography)的质量,其中，为达到良好的洗净效果,可增加洗净液对基板的湿润性，一般而言，业界常藉由界面活性剂的添加以改善湿润性，如日本特开2004-094241专利文献揭露炔二醇(acetylene diol)系界面活性剂的使用，其除了可提高对基板表面的湿润性，亦可抑制发泡的产生。前述习知洗净液虽可有效增加对基板表面的湿润性，却存在着生物分解性不佳及高温安定性不佳的问题。有鉴于此，本申请发明人投注心力不断潜心研究，而终有创新并极富产业价值的本发明产生。
发明内容
本发明主要目的在于提供一种洗净液组成物，特别是用于洗净玻璃基板，生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物。为满足预期目的，本发明提供一种洗净液组成物，包含碱性化合物(A)、化合物
(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D);其中，化合物(B)是具有下记结构式(I)或结构式
(2)的化合物；
权利要求
1.一种洗净液组成物，其特征在于，包含 碱性化合物(A)； 化合物⑶； 支链型界面活性剂(C);以及 水(D);其中 化合物(B)是具有下述结构式(I)或结构式(2)的化合物；
2.根据权利要求I所述的洗净液组成物，其特征在于，基于碱性化合物(A)100重量份，化合物(B)的使用量为10 500重量份，支链型界面活性剂(C)的使用量为10 500重量份，水(D)的使用量为500 30，000重量份。
3.根据权利要求I所述的洗净液组成物，其特征在于，还含有结构式(4)所表示的直链型界面活性剂(E)； R4-O-(EO)c(PO)d-H 结构式(4) 结构式⑷中，R4表示碳数8 18的含直链的烷基、烯基或酰基，或碳数14 18的含直链烷基取代的苯基；E0表示乙氧基；P0表示丙氧基；c表示I 20的整数；d表示O 20的整数。
4.根据权利要求3所述的洗净液组成物，其特征在于，基于碱性化合物(A)100重量份，直链型界面活性剂(E)的使用量为I 300重量份。
5.根据权利要求I所述的洗净液组成物，其特征在于，所述洗净液组成物在25°C的浊点介于40 55°C。
6.一种基板的洗净方法，该方法使用权利要求I 5任一所述的洗净液组成物进行洗净。
全文摘要
本发明涉及一种洗净液组成物及基板的洗净方法，特别是提供一种针对玻璃基板，具有生物分解性佳、高温安定性佳的洗净液组成物，包含碱性化合物(A)、化合物(B)、支链型界面活性剂(C)以及水(D)；其中，化合物(B)是具有下述结构式(1)或结构式(2)的化合物； 。
其中，R1表示氢原子、碳数1～6的含直链、支链或环状的烷基；R2表示碳数1～12的含直链、支链或环状的烷基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；(m+n)的平均值为1～30；(p+q)的平均值为0.5～10。支链型界面活性剂(C)的结构式为R3-O-(EO)a(PO)b-H，其中，R3表示碳数6～20的含支链的烷基、烯基或酰基，或碳数12～20的含支链烷基取代的苯基；EO表示乙氧基；PO表示丙氧基；a表示1～20的整数；b表示0～20的整数。
文档编号C11D10/02GK102787035SQ201210145258
公开日2012年11月21日 申请日期2012年5月11日 优先权日2011年5月18日
发明者蔡宇杰, 谢依纯 申请人:奇美实业股份有限公司