专利名称：一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平板显示领域，尤其涉及到一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备。
背景技术：
如图I所示加热器为现有技术中的结构示意图，图中由箱体I、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5构成。目前的镀膜设备采用双面镀膜的方式，设备有正反两面区分，设备两边同时装有 靶材，且装载玻璃的基片架也分正反两面，加热器装在真空室中心位置，上下为一个整体式，采用吊装方式悬空挂起，在镀膜过程中，在基片架的正反面分别装载玻璃，镀膜时装有玻璃的基片架在真空室内行走，基片架的正反面分别位于中间加热器的两侧，经过靶区通过磁控溅射的方式进行镀膜，这种方式一次只能镀玻璃的一面，如果玻璃的另外一面也需要镀膜，则必须镀完玻璃一面后，将镀完一面的玻璃重新经过清洗，然后再次经过真空室进行镀膜，即镀膜工序要重复两次才能完成，这样不但浪费人力、财力、产量低而且玻璃经过多次周转后其良率也会大大下降，而且由于加热器是整体式，如果基板受热不均匀时，无法进行局部温度调整。因此现有技术相比较本发明而言存在以下不足之处①加热器位于腔体中间位置，在基片架行走过程中，基片架两侧的玻璃分别位于加热器的两侧，这样每次只能完成玻璃基板一个表面的膜层制备；②每个腔体内的加热器上下为一整体式，对于玻璃基板出现的温度不均匀现象，无法采取分段式控制的方式来调节温度；③基片架的设计本身分正反两面，在镀膜过程中，玻璃基板分别装载在基片架的两侧，对于需要一次性完成玻璃基板两个表面的膜层制备工作时，该基片架无法调节，其功能比较单一。整个真空腔体的结构设计，一次只能完成玻璃基板单面的膜层制备，如果玻璃基板两个表面均需要制备膜层，现有技术的做法只能是制备完玻璃基板一个表面的膜层后，将玻璃基板再重复第一次镀膜的工序去完成第二面膜层的制备，这种工艺在第二次制备膜层的过程中，会对第一次膜层的性能有所影响，并且由于二次镀膜会造成良率的下降，总体生产成本较高。
发明内容本发明要解决的技术问题在于提供了一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备。为解决上述技术问题，本发明通过以下方案来实现一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、上横梁、下横梁构成，所述加热器位于箱体两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器，加热器的数量是常规设计的I. 5倍，且加热器采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。所述基片架分别卡在上横梁与下横梁两侧，实现单面镀膜。所述基片架改成位于上横梁与下横梁中间，用卡具卡住固定，实现双面镀膜。所述加热器采用上、中、下分段式加热。该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备的正反两面的靶位采用错位排布，可以避免两边同时溅射时，正对靶位之间的干扰。此发明可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备是一种产量高、可同时完成基板两面膜层的制备，适用于各种双面膜产品，其制造成本远低于现有技术，通过真空腔体内部结构的改善，采取多功能基片架，其所生产产品不仅含盖了现有技术，最主要的是解决了现有技术无法完成基板两面同时镀膜的缺陷，降低了双面膜产品的生产成本尺寸，提 高了生产效率和产品的良率，其设计思路具有领先地位。
以下结合附图
对本发明作详细说明图I为现有技术的结构示意图；图2为本发明单面镀膜结构示意图；图3为本发明双面镀膜结构示意图。
具体实施方式
如图2、图3所示可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备由箱体I、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5、上横梁6、下横梁7构成，所述加热器3位于箱体I两侧真空室壁上，如图2所示传动轮5与下横梁7连接，基片架2分别卡在上横梁6与下横梁7两侧，实现单面镀膜，如图3所示基片架2改成位于上横梁6与下横梁7中间，用卡具8卡住固定，实现双面镀膜，加热器3采用上、中、下分段式加热。针对现有技术的不足之处，本发明通过对设备和工艺的完善，采取了可调节式多功能基片架2，上、中、下分段式加热器3，且加热器3置于两侧的腔体室壁上等，能够实现玻璃两面同时镀膜，及双面都要求镀膜的产品可以一次性完成，节省了人力财力，大大提高了生产效率。加热器3位于两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器3，此种方式加热器3的数量是常规设计的I. 5倍，且加热器3采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。基片架2具备多种功能，根据不同产品的要求可以调整基片架2来满足，一方面该种基片架2可以实现设备两边同时上片镀膜，即可以实现现有技术的功能；另一方面通过对基片架2框架结构的调整，可以实现玻璃基板两面同时镀膜的功能，即单片玻璃的双面膜层的同步制备。正反两面的靶位采用错位排布，可以避免两边同时溅射时，正对靶位之间的干扰。该设备的夹具抛弃了传统的简单弹片式夹具，也不同于传统的镶嵌式夹具，对于超薄玻璃弹片式夹具会由于弹片弹性的不同影响玻璃的夹紧度，导致玻璃会出现由于夹不紧而掉片或者夹得过紧而有所弯曲的现象，最终都会导致玻璃破碎，传统镶嵌式夹具由于结构简单，无法调整，不适用不同厚度的玻璃，如果保证厚玻璃的夹紧效果，则无法保证薄玻璃的夹紧效果，导致薄玻璃由于夹不紧而在基片架2上晃动，容易使玻璃因晃动而破碎。新的夹具结合了以上两种夹具的优点，采用螺钉式弹簧夹具，与玻璃接触部位采用圆点式接触，对于不同厚度的玻璃利用弹簧的弹性来改善玻璃与夹具之间的距离，保证不管什么厚度的玻璃，夹具的圆点都能接触到玻璃表面，保证玻璃都能够夹紧。 此发明可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备提高了生产效率，降低了生产不良率与生产成本。
权利要求1.一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体(I)、基片架(2)、加热器(3)、导杆(4)、传动轮(5)、上横梁(6)、下横梁(7)构成，所述加热器(3)位于箱体(I)两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器(3)，加热器(3)的数量是常规设计的I. 5倍，且加热器(3)采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。
2.按照权利要求I或2所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，其特征在于所述基片架(2)分别卡在上横梁￠)与下横梁(7)两侧，实现单面镀膜。
3.按照权利要求I或2所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，其特征在于所述基片架(2)改成位于上横梁(6)与下横梁(7)中间，用卡具(8)卡住固定，实现双面镀膜。
4.按照权利要求I所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，其特征在于所述加热器(3)采用上、中、下分段式加热。
5.根据权利要求I所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备的正反两面的靶位采用错位排布，可以避免两边同时溅射时，正对靶位之间的干扰。
专利摘要本实用新型公开了一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、上横梁、下横梁构成，所述加热器位于箱体两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器，加热器的数量是常规设计的1.5倍，且加热器采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀，最主要的是解决了现有技术无法完成基板两面同时镀膜的缺陷，降低了双面膜产品的生产成本尺寸，提高了生产效率和产品的良率，其设计思路具有领先地位。
文档编号C03C17/00GK202671420SQ20122022042
公开日2013年1月16日 申请日期2012年5月16日 优先权日2012年5月16日
发明者姜翠宁 申请人:深圳市正星光电技术有限公司