玻璃基板蚀刻槽的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种玻璃基板蚀刻槽。该玻璃基板蚀刻槽包括壳体，该壳体包括侧壁及底部，该底部及侧壁配合围成顶部具有开口的收容腔用以承载蚀刻液。该收容腔内还铺设有进液管道，该进液管道邻近壳体底部铺设，该进液管道面向开口的一侧设置有第一喷口，蚀刻液经由进液管道的第一喷口进入收容腔，玻璃基板由该开口进入收容腔，并限位在进液管道面向开口的一侧以进行蚀刻。
【专利说明】玻璃基板蚀刻槽
【技术领域】
[0001]本案涉及一种玻璃基板蚀刻槽。
【背景技术】
[0002]玻璃基板是制造平板显示器的主要材料，广泛应用于液晶显示器、等离子显示屏、触控屏、有机发光显示器等领域。随着当今世界高新技术产品飞速发展，对平板显示器的轻薄化要求越来越高，因而玻璃基板的减薄工艺成了终端显示产品能否实现薄型化的核心问题之一。
[0003]所谓减薄就是用化学药液将玻璃基板均匀蚀刻至目标厚度。目前常见的减薄工艺包括有浸泡式和喷淋式。在浸泡式减薄工艺中，通常会用到承载有药液(蚀刻液)的蚀刻槽，并把玻璃基板浸泡在蚀刻液中，以完成玻璃基板的减薄。在浸泡式减薄工艺中，蚀刻槽的设计对其内承载的蚀刻液的流向及蚀刻液对玻璃基板的蚀刻效果起着较为重要的作用。蚀刻槽设计不当，会导致玻璃基板蚀刻效果不佳。
实用新型内容
[0004]为解决现有技术中因蚀刻槽设计不当导致玻璃基板蚀刻效果不佳的问题，有必要提供一种可维持玻璃基板蚀刻效果的玻璃基板蚀刻槽。
[0005]一种玻璃基板蚀刻槽，其包括包括壳体，该壳体包括侧壁及底部，该底部及侧壁配合围成顶部具有开口的收容腔用以承载蚀刻液。该收容腔内还铺设有进液管道，该进液管道邻近壳体底部铺设，该进液管道面向开口的一侧设置有第一喷口，蚀刻液经由进液管道的第一喷口进入收容腔，玻璃基板由该开口进入收容腔，并限位在进液管道面向开口的一侧以进行蚀刻。
[0006]在一实施方式中，该收容腔内还铺设有曝气管道，该曝气管道铺设在该进液管道面向开口的一侧，该曝气管道面向该开口的一侧设置有第二喷口，玻璃基板蚀刻槽通过曝气管道的第二喷口向收容腔内通入气体，玻璃基板限位在曝气管道面向开口的一侧以进行蚀刻。
[0007]在一实施方式中，玻璃基板夹持限位在一玻璃基板承载装置内，并通过该玻璃基板承载装置的夹持限位并竖立在曝气管道面向开口的一侧。
[0008]在一实施方式中，该玻璃基板承载装置包括相对设置的二第一侧板及二相对设置的第二侧板，该第二侧板与第一侧板垂直相连围成一收容空间，该玻璃基板限位并竖立在该收容空间内，该进液管道和曝气管道对应该收容空间铺设并向该玻璃基板承载装置的收容空间喷入蚀刻液和气体。
[0009]在一实施方式中，该壳体的收容腔内还设置有一底板封板，该底板封板架设固定在壳体的底板并位于该进液管道面向壳体底板的一侧，且位于该进液管道和曝气管道下方的底板封板对应该玻璃基板承载装置的收容空间设置。
[0010]在一实施方式中，该进液管道和曝气管道的延伸方向互相垂直。
[0011]在一实施方式中，该壳体侧壁邻近该开口一侧设置有溢流口，用以使得过多之蚀刻液可由该溢流口排出。
[0012]在一实施方式中，该壳体的底部设置有排液口，用以使得在蚀刻完成后可由该排液口抽出蚀刻液。
[0013]在一实施方式中，该壳体的底部为倒椎体状，该排液口设置在底部之椎体的尖端处。
[0014]由于本案的玻璃基板蚀刻槽的进液管道邻近壳体底部铺设，曝气管道铺设在该进液管道面向开口的一侧，因此，其可合理实现蚀刻液的流向控制，使得蚀刻液的向玻璃基板一侧流动，以实现更好的蚀刻效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是本案浸泡式减薄工艺中采用的玻璃基板蚀刻槽及承载着玻璃基板的玻璃基板承载装置的一较佳实施方式的立体示意图。
[0016]图2是图1所示的玻璃基板蚀刻槽省略一部分侧壁的立体示意图。
[0017]图3是图2 所示的玻璃基板蚀刻槽与玻璃基板承载装置的分解示意图。
[0018]图4是图2所示的玻璃基板承载装置的示意图。
[0019]图5是图4所示的玻璃基板承载装置省略一部分侧板的示意图。
[0020]图6是图2所示的玻璃基板蚀刻槽的示意图。
[0021]图7是图5所示的玻璃基板蚀刻槽VI部分的放大示意图。
[0022]主要元件符号说明
[0023]玻璃基板蚀刻槽 10
[0024]壳体12
[0025]收容腔120
[0026]开口122
[0027]排液口128
[0028]溢出口127
[0029]侧壁13
[0030]底部15
[0031]进液管道16
[0032]第一喷口162
[0033]进液口164
[0034]曝气管道17
[0035]第二喷口172
[0036]进气口174
[0037]底部封板18
[0038]玻璃基板承载装置 20
[0039]收容空间210
[0040]第一侧板212
[0041]第二侧板213
[0042]第二限位槽219
[0043]压杆23
[0044]支撑杆25
[0045]限位臂26
[0046]玻璃基板30
[0047]如下【具体实施方式】将结合上述附图进一步说明本实用新型。
【具体实施方式】
[0048]请参阅图1-3，图1是本实用新型浸泡式减薄工艺中采用的玻璃基板蚀刻槽10及承载着玻璃基板30的玻璃基板承载装置20的一较佳实施方式的立体示意图，图2是省略图1所示的玻璃基板蚀刻槽10的一部分侧壁的立体示意图，图3是图2所示的玻璃基板蚀刻槽10与玻璃基板承载装置20的分解示意图。在玻璃基板30的减薄工艺中，该玻璃基板蚀刻槽10用以承载蚀刻液，该玻璃基板承载装置20用以夹持玻璃基板30，夹持着玻璃基板30的玻璃基板承载装置20置入玻璃基板蚀刻槽10内以对玻璃基板30进行蚀刻。
[0049]请一并参阅图4-5，该玻璃基板承载装置20包括二第一侧板212以及相对设置的二第二侧板213。该二第二侧板213设置在该第一侧板212之间并与该第一侧板212垂直相连。该二第一侧板212以及二第二侧板213配合形成的收容空间210用于收容玻璃基板30。多个支撑杆25位于该收容空间210的底部，每一支撑杆25的两端分别与该二第一侧板212相连,优选地,每一支撑杆25与二第一侧板212垂直相连。二压杆23位于该收容空间210的顶部，该二压杆23的两端以可拆卸的方式安装在二第一侧板212顶部，且该二压杆的两端与该二第一侧板212滑动连接以使得该二压杆23相对该二第一侧板212滑动，优选地，该二压杆23与该二第一侧板212垂直。多个限位臂26位于该二第一侧板212之间，分别固定在该二第二侧板213上，优选地，该多个限位臂26与该二第一侧板212垂直。该支撑杆25、压杆23及限位臂26上均设置有限位槽219，该限位槽219的开口面向玻璃基板30的边缘，该玻璃基板30的边缘插入该支撑杆25、压杆23及限位臂26的限位槽219内，限位在该支撑杆25、压杆23及限位臂26之间，从而将玻璃基板30竖立在玻璃基板承载装置20的收容空间210内。该限位槽219个数可根据需要变更设计，数量为一个或一个以上。其开设的数量决定了一个玻璃基板承载装置20在一次减薄工艺时所能承载夹持的玻璃基板30的数量。
[0050]请一并参阅图6-7，该玻璃基板蚀刻槽10包括壳体12，该壳体12包括侧壁13及底部15。该底部15及侧壁13配合围成顶部具有开口 122的收容腔120用以承载蚀刻液。收容腔120经由该开口 122与玻璃基板蚀刻槽10的外部相连通。该壳体12的侧壁13邻近该开口 122 —侧设置有贯通该侧壁13的溢流口 127，用以使得输入的过多的蚀刻液可由该溢流口 127排出至蚀刻液回收桶内以便于蚀刻液的回收利用。该壳体12的底部15设置有排液口 128，用以使得在蚀刻步骤完成后可经由该排液口 128将蚀刻液抽出。优选地，该壳体12的底部15可设计为倒锥体状，该排液口 128设置在底部15的锥体的尖端处。
[0051]该壳体12的收容腔120内还设置有一底板封板18,该底板封板18架设固定在壳体12的底部15，优选地，该底板封板18架设在该倒锥体状的锥面上。
[0052]该收容腔120内还铺设有进液管道16和曝气管道17。该进液管道16邻近壳体12的底部15铺设,位于该底板封板18上方，即位于该底板封板18面向该开口 122的一侧。该进液管道16面向开口 122的一侧设置有第一喷口 162, —进液口 164位于该进液管道16的一端，并伸出该壳体12外,用于向收容腔120输入蚀刻液。输入进液管道16的蚀刻液经由第一喷口 162喷入玻璃基板蚀刻槽10的收容腔120。优选地，该进液管道16由多个首尾相连通的U型管排列而成，首端的U型管的一直管部分延伸出该壳体12外作为该进液口164,优选地，自该底部15上的一开口(未标不)伸出该壳体12外。
[0053]该曝气管道17铺设在该进液管道16上方，即铺设在该进液管道16面向开口 122的一侧，该曝气管道17面向该开口 122的一侧设置有第二喷口 172。玻璃基板蚀刻槽10通过曝气管道17的第二喷口 172向收容腔120内通入气体。一进气口 174位于该曝气管道17的一端,并伸出该壳体12外,用于向收容腔120输入气体。优选地,该进液管道16和曝气管道17的延伸方向互相垂直。优选地，该曝气管道17由多个首尾相连通的U型管排列而成，首端的U型管的一直管部延伸出该壳体12外以作为该进气口 174，优选地，自该底部15上的一开口(未标不)伸出该壳体12外。
[0054]请再次参阅图2，采用本案的玻璃基板蚀刻槽10对玻璃基板进行蚀刻时，可将承载有玻璃基板30的玻璃基板承载装置20由该开口 122置入该玻璃基板蚀刻槽10的收容腔120内。并将承载有玻璃基板30的玻璃基板承载装置20架设在该曝气管道17上方，即将其架设在曝气管道17面向开口 122的一侧，将该玻璃基板竖立在曝气管道17的上方。且该底板封板18、进液管道16及曝气管道17是对应该玻璃基板承载装置20的收容空间210设置的。
[0055]蚀刻液经由进液管道16的第一喷口 162通入该玻璃基板蚀刻槽10的收容腔120内。并通过曝气管道17的第二喷口 172向玻璃基板蚀刻槽10的收容腔120内通入气体。
[0056]由于本案的玻璃基板蚀刻槽10的进液管道16邻近壳体12底部15铺设，且进液管道16的第一喷口 162面向开口 122，从而控制蚀刻液喷出方向，使得蚀刻液由玻璃基板下侧向玻璃基板的上侧流动，同时，由于曝气管道17的第二喷口 172亦面向开口 122设置，因此，由第二喷口 172喷出的气体可进一步控制蚀刻液的流向，使得蚀刻液由玻璃基板下侧向玻璃基板的上侧流动，从而使得本案的玻璃基板蚀刻槽10合理实现蚀刻液的流向控制，以实现更好的蚀刻效果。
[0057]进一步地，由于底板封板18、进液管道16及曝气管道17是对应该玻璃基板承载装置20的收容空间210设置的，因此，在通入蚀刻液的时候，蚀刻液会先流入玻璃基板承载装置20的收容空间210，并由该收容空间210慢慢向玻璃基板蚀刻槽10的收容腔120的其他部位蔓延。蚀刻液由第一喷口 162输入时，蚀刻液喷至曝气管道17后可受到曝气管道17的作用分流，且底板封板18对应玻璃基板承载装置20的收容空间210设置，则底板封板18和玻璃基板承载装置20的第一、第二侧板对蚀刻液起到汇聚的作用，从而进一步控制蚀刻液的流向，即蚀刻液喷入玻璃基板承载装置20的收容空间210，并有该收容空间向玻璃基板蚀刻槽10的其他部位蔓延。从而更好地，更为合理地实现蚀刻液的流向控制，使得蚀刻液的向玻璃基板承载装置20的玻璃基板30 —侧流动，以实现更好的蚀刻效果。
[0058]本案采用蚀刻液的汇聚引导和分流设计，在玻璃基板蚀刻槽10的收容腔120的底部15进行蚀刻液的供应和补充新的蚀刻液，并且在蚀刻液补充后将多余的蚀刻液由收容腔120顶部溢流口 127排除至回收桶内回收利用，避免浪费。
[0059]本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本案各实施例技术方案的精神和范围。例如，第二侧板也可省略，在第二侧板省略的情况下，该限位臂的两端与第一侧板相连即可。
【权利要求】
1.一种玻璃基板蚀刻槽，其包括壳体，该壳体包括侧壁及底部，该底部及侧壁配合围成顶部具有开口的收容腔用以承载蚀刻液，其特征在于:该收容腔内还铺设有进液管道，该进液管道邻近壳体底部铺设，该进液管道面向开口的一侧设置有第一喷口，蚀刻液经由进液管道的第一喷口进入收容腔，玻璃基板由该开口进入收容腔，并限位在进液管道面向开口的一侧以进行蚀刻。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该收容腔内还铺设有曝气管道，该曝气管道铺设在该进液管道面向开口的一侧，该曝气管道面向该开口的一侧设置有第二喷口，玻璃基板蚀刻槽通过曝气管道的第二喷口向收容腔内通入气体，玻璃基板限位在曝气管道面向开口的一侧以进行蚀刻。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:玻璃基板夹持限位在一玻璃基板承载装置内，并通过该玻璃基板承载装置的夹持限位并竖立在曝气管道面向开口的一侧。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该玻璃基板承载装置包括相对设置的二第一侧板及二相对设置的第二侧板，该第二侧板与第一侧板垂直相连围成一收容空间，该玻璃基板限位并竖立在该收容空间内，该进液管道和曝气管道对应该收容空间铺设并向该玻璃基板承载装置的收容空间喷入蚀刻液和气体。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该壳体的收容腔内还设置有一底板封板，该底板封板架设固定在壳体的底板并位于该进液管道面向壳体底板的一侧，且位于该进液管道和曝气管道下方的底板封板对应该玻璃基板承载装置的收容空间设置。
6.根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该进液管道和曝气管道的延伸方向互相垂直。
7.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该壳体侧壁邻近该开口一侧设置有溢流口，用以使得过多之蚀刻液可由该溢流口排出。
8.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该壳体的底部设置有排液口，用以使得在蚀刻完成后可由该排液口抽出蚀刻液。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于:该壳体的底部为倒椎体状,该排液口设置在底部之椎体的尖端处。
【文档编号】C03C15/00GK203960050SQ201320721166
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2013年11月13日 优先权日:2013年11月13日
【发明者】林瑞钦, 黄兆畅, 陈泓邑, 李沅达, 张欣华, 叶容凯, 黄慧清, 张世群, 罗中育, 陈钦典, 简文鸿 申请人:睿志达光电(深圳)有限公司, 正达国际光电股份有限公司