分割槽形成装置及分割槽形成方法与流程

文档序号:11630655阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种可以以一定深度高精确度地形成分割槽的分割槽形成装置及分割槽形成方法。该分割槽形成装置(10)具备:第1刀具(20),具有多片第1旋转刃(32);第2刀具(22),具有多片第2旋转刃(52);第1旋转驱动手段(72),用以旋转驱动第1刀具(20);第2旋转驱动手段(74),用以旋转驱动第2刀具(22);刀具支持手段(76),以使旋转轴彼此间形成平行且径向相对的方式支持第1刀具(20)及第2刀具(22);相位调整手段(104),用以调整第1刀具(20)及第2刀具(22)至少一个的相位,使第1旋转刃(32)和第2旋转刃(52)在第1刀具(20)与第2刀具(22)相对的相向区域形成相向。

技术研发人员:岛村哲也;百鬼和广
受保护的技术使用者:庄田德古透隆股份有限公司
技术研发日:2015.11.26
技术公布日:2017.08.01
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