搬送装置及使用该搬送装置的真空处理装置的制作方法

专利名称：搬送装置及使用该搬送装置的真空处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如搬送半导体晶圆等的处理对象基板的搬送装置，尤其涉及适于在
对处理对象基板进行各种加工处理的具备1个或多个制程室的真空处理装置中，进行处理 对象基板的进出的搬送装置。
背景技术：
以往，作为此种搬送装置，例如公开于日本特开2005-125479号公报的现有例。
图8(a) (c)显示现有技术的基本构成。 如图8(a) (c)所示，在该搬送装置200中，在可沿水平方向旋转的旋转台201 上固定有长条状的引导部件202。而且，第1臂203的一端部，在能够以贯通引导部件202 的基部202a和旋转台201的支轴203a为中心进行旋转的状态下，安装在驱动马达(图中 未显示)上。 在引导部件202的延长部202b上设有直线导轨(linear guide) 204，构成为移动 部件205沿着该直线导轨204向箭头X方向或其反方向移动。而且，在移动部件205的前 端，例如安装有用于载置晶圆或玻璃基板的搬送物300的搬送台206。 而且，在上述第1臂203的另一端部，轴支有第2臂207的一端部，并且其另一端 部轴支在移动部件205上，经由该第1和第2臂203、207将引导部件202的基部202a和移 动部件205联接。 在具有此种构成的现有技术的情况下，如果利用伸縮动作使第1臂203旋转，则第 2臂207随着该动作而旋转，由此，移动部件205沿着直线导轨204的延长部202b直线移动。 另一方面，在第1和第2臂203、207处于其收縮位置的状态下，使图中未显示的驱 动马达进行动作，旋转旋转台201，由此进行旋转动作。 由于在该现有技术中，其构成为由直线导轨204和引导部件202来支撑包括旋转 台201的搬送物300的重量和移动部件205的重量，因而第1和第2臂203、207采用能够 使移动部件205在直线导轨204上移动的程度的刚性的部件，不能仅以第1和第2臂203、 207来支撑搬送物300等的重量。 结果，在现有技术中，在搬送物300的重量增大的情况下，直线导轨部(第1和第 2臂203、207以及移动部件205)并不会顺利地移动，存在着搬送物300无法搬送到正确位 置的问题。 针对此种问题，在现有的装置中，通过增加直线导轨部的滑动部分的润滑剂(润 滑脂)的填充量，或者采用更大尺寸的直线导轨来克服。但是，如果增加润滑剂的填充量， 则尤其在真空装置内使用搬送装置的情况下，真空装置内或搬送物被多余的润滑脂污染。 另外，如果直线导轨成为较大的尺寸，则装置整体的重量变大，必须加大该部份驱动的马达 的功率，因而装置整体变大。 而且，在图8(a) (c)所示的现有的搬送装置200中，引导部件202的延长部202b及其上方的直线导轨204为突出至旋转台201的前方的形状，因而，例如即使移动部件205 为位于旋转台201的正上方的状态，也无法使装置的旋转半径小于延长部202b的前端位 置。所以，装置的设置面积(轨迹覆盖区(footprint))不变小。其它的现有技术，例如公开于日本特开2001-185596、特开2002-362738、特开
2003-209155、特开2004_323165、特开2004_130459、特开2005-12139等。 在这些现有装置中，通过使用直线导轨将平行连杆臂机构的"上腕臂"的动作传达
至IJ"下腕臂"，从而控制平行连杆臂的"肘部〃 的动作。但是，由于在对搬送臂施加较大的力
的情况下或在搬送物的重量变大的情况下，直线导轨部不会顺利地移动，因而搬送臂不会
顺利地移动，所以存在着搬送物无法搬送到正确位置的问题。 针对此种问题，在现有的装置中，也与上述现有技术相同，通过增加直线导轨部的 滑动部分的润滑剂(润滑脂)的填充量，或者采用更大尺寸的直线导轨来克服。但是，如果 增加润滑剂的填充量，则尤其在真空装置内使用搬送装置的情况下，真空装置内或搬送物 被多余的润滑脂污染。另外，如果直线导轨成为较大的尺寸，则装置整体的重量变大，必须 加大该部份驱动的马达的功率，因而装置整体变大。 有时候在腐蚀性气体氛围内使用上述现有技术以及其它现有技术的装置。在此种 情况下，虽然对部件表面进行耐蚀处理，以使装置的构成部件不腐蚀，但用于对直线导轨进 行耐蚀处理的技术在现阶段未必确立，结果，存在着用于处理的费用增加，装置的制作成本 也提高的问题。 专利文献1 :日本特开2005-125479号公报
专利文献2 :日本特开2001-185596号公报
专利文献3 :日本特开2002-362738号公报
专利文献4 :日本特开2003-209155号公报
专利文献5 :日本特开2004-323165号公报
专利文献6 :日本特开2004-130459号公报
专利文献7 :日本特开2005-12139号公报

发明内容
本发明是为了解决此种现有技术的课题而提出的，其目的在于，提供一种不产生 真空装置等被润滑脂等污染的问题的搬送装置。 另外，本发明的其它目的在于，提供一种装置整体也不大且尤其是装置的设置面 积(轨迹覆盖区)小的搬送装置。 而且，本发明的其它目的在于，提供一种能够以现存的技术容易地对旋转部件 (轴承等)实施耐蚀处理的搬送装置。 为了达成上述目的而提出的本发明，具有搬送部，支撑并搬送搬送物；动力传达 机构，用于将来自装置本体部的动力传达至上述搬送部，使该搬送部向相对于基准方向交 叉的方向移动；以及引导机构，配设在上述装置本体部和上述搬送部之间，用于引导上述搬 送部的移动方向，其中，上述引导机构构成为，具有轴支联接的多个引导臂，该各引导臂沿 包括上述基准方向的成分的方向进行旋转。 在上述发明中，本发明的上述引导机构的引导臂中，该引导机构的一端部侧的引
4导臂安装在上述装置本体部，并且，另一端部侧的引导臂安装在上述搬送部。 在上述发明中，本发明的上述引导机构具有第1引导臂和第2引导臂，上述第1引
导臂的一端部以可沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支在上述装置本体部，并且，上述第2
引导臂的一端部以可沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支在上述第1引导臂的另一端部，
而且，上述第2引导臂的另一端部以可沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支在上述搬送部。 在上述发明中，本发明的上述动力传达机构具有驱动臂和从动臂，上述驱动臂的
一端部以可沿水平面方向进行旋转的状态固定在上述装置本体部的驱动轴，并且，在该驱
动臂的另一端部，上述从动臂的一端部以可沿水平面方向进行旋转的状态被轴支，而且，上
述从动臂的另一端部以可沿水平面方向进行旋转的状态被轴支在上述搬送部。 在上述发明中，本发明的上述动力传达机构具备驱动侧平行四边形连杆机构，具
有上述驱动臂；以及从动侧平行四边形连杆机构，使用该驱动侧平行四边形连杆机构的规
定的连杆而构成。 在上述发明中，本发明的上述引导机构构成为，联接在上述动力传达机构，限制上
述驱动侧平行四边形连杆机构和上述从动侧平行四边形连杆机构的相对动作。 在上述发明中，本发明的上述动力传达机构的装置本体部侧端部安装于设置在上
述装置本体部的旋转部。 本发明是一种真空处理装置，具备搬送室，具有上述任一搬送装置，以及真空处 理室，构成为与上述搬送室连通，使用上述搬送装置来交接处理对象物。 在本发明的情况下，具备引导机构以取代现有技术的直线导轨，该引导机构具有 轴支联接的多个引导臂，且构成为各引导臂沿包括基准方向的成分(例如铅直方向的成 分)的方向进行旋转，因而装置整体也不变大，尤其是装置的设置面积变小，另外，能够以 现存的技术容易地实施耐蚀处理。另外，能够沿基准方向，尤其是铅直方向对弓I导机构施加 力。 除此之外，依照本发明，由于不存在如现有技术的因直线导轨的滑动部分的摩擦 而产生的阻力，因而由臂等构成的动力传达机构顺利地移动，搬送物被搬送到正确位置。
另外，由于不必像现有技术那样使用大尺寸的直线导轨，因而尤其能提供旋转用 驱动马达不大且制作成本也不高的搬送装置。 而且，在真空装置内使用本发明的搬送装置的情况下，有时候不能使用润滑脂 (油)作为润滑油，在该情况下，使用干式的润滑剂(固体润滑剂)。虽然现在使用固体润 滑剂作为直线导轨的润滑剂，但耐荷重小且寿命也短。 但是，使用固体润滑剂的轴承的技术远比直线导轨的技术确立，耐荷重大且寿命 也长。 由于本发明的搬送装置仅由旋转要素(以轴承来轴支的构造)构成，因而在必须 使用干式润滑剂(固体润滑剂)的情况下，能够使用技术上确立的干式轴承，能够提供不污 染搬送物或真空环境，耐荷重大且寿命也长的搬送装置。 在本发明中，关于引导机构，该引导机构的一端部侧的引导臂安装在装置本体部， 并且，另一端部侧的引导臂安装在搬送部的情况下，尤其是在引导机构具有第1引导臂和 第2引导臂，上述第1引导臂的一端部以可沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支在上述装置本体部，并且，上述第2引导臂的一端部以可沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支在上 述第1引导臂的另一端部，而且，上述第2引导臂的另一端部以可沿铅直面方向进行旋转的 状态被轴支在上述搬送部，在这种情况下，由于能够进一步减小沿引导机构的铅直方向施 加的力，并且，能够简化引导机构的构成，因而能够提供可更圆滑地搬送搬送物的小型的搬
送装置。 在本发明中，动力传达机构具有驱动臂和从动臂，上述驱动臂的一端部以可沿水 平面方向进行旋转的状态固定在上述装置本体部的驱动轴，并且，上述从动臂的一端部以 可沿水平面方向进行旋转的状态被轴支在上述驱动臂的另一端部，而且，上述从动臂的另 一端部是以可沿水平面方向进行旋转的状态被轴支在上述搬送部，在这种情况下，例如虽 然在蛙腿(frogleg)型臂机构的搬送装置中，在搬送部使用齿轮作为限制机构，但在本发 明中，能够提供一种不需要搬送部的齿轮且不存在因来自齿轮的灰尘而产生的搬连物(例 如晶圆或玻璃基板)的污染的搬送装置。 在本发明中，上述动力传达机构，具备驱动侧平行四边形连杆机构，具有上述驱 动臂；以及从动侧平行四边形连杆机构，使用该驱动侧平行四边形连杆机构的规定的连杆 而构成，在这种情况下，能够利用4根臂来支撑搬送物和搬送部的重量，因而能够提供不增 加臂的厚度且紧凑的搬送装置。除此之外，由于利用4根臂来支撑搬送物和搬送部的重量， 因而能够减小施加在臂联接部(关节部)的力，能够提供联接部(关节部)的移动流畅的 搬送装置。 这种情况下，如果上述引导机构构成为联接在上述动力传达机构，限制上述驱动 侧平行四边形连杆机构和上述从动侧平行四边形连杆机构的相对动作，那么，例如，在现有 的平行四边形连杆机构型臂(日本专利2531261号等)的搬送装置中，构成为由直线导轨 或齿轮来限制驱动侧平行四边形连杆机构和从动侧平行四边形连杆机构的相对动作，但在 本发明中，并不需要限制用的直线导轨或齿轮。所以，能够提供不存在因来自直线导轨的滑 动部分的润滑剂(润滑脂)的油或来自齿轮的灰尘而产生的搬送物(例如晶圆或玻璃基 板)的污染的搬送装置。 在本发明中，在上述动力传达机构的装置本体部侧端部安装于设在上述装置本体 部的旋转部的情况下，除了上述的效果之外，在能够提供旋转来变更搬送物的搬送方向的 搬送装置中，由于不需要用于支撑固定现有直线导轨的引导部件，因而能够使旋转用的驱 动马达小型化，结果能够提供小型且制造成本低的搬送装置。 另一方面，依照真空处理装置，其中该真空处理装置具备搬送室，具有本发明的 搬送装置；以及真空处理室，构成为连通在上述搬送室，使用上述搬送装置来交接处理对象 物，从而能够提供小型且不易被灰尘或油等污染的真空处理装置。 依照本发明，能够提供不产生因润滑脂或灰尘等而导致的真空装置等的污染的问 题的搬送装置。 另外，依照本发明，能够提供一种本装置整体也不变大，尤其是装置的设置面积减 小，且能够以现存的技术容易地实施耐蚀处理的搬送装置。除此之外，能够提供一种可由驱 动力小的马达来驱动的搬送装置。 结果，依照本发明，能够提供小型且不易被灰尘或油污染，设置面积小的真空处理装置。


图1 (a) (c)显示本发明的搬送装置的实施方式的概略构成，图1 (a)是俯视图， 图1(b)是侧视图，图1(c)是内部构成图。 图2是显示同一搬送装置中的引导机构的安装位置的俯视说明图。
图3(a) (c)是显示本实施方式的动作的说明图。 图4(a) (b)显示本发明的搬送装置的其他实施方式的概略构成，图4(a)是俯视 图，图4(b)是正视图。 图5是显示同一搬送装置的主要部份的俯视图。 图6是显示本发明的搬送装置的其它实施方式的概略构成的俯视图。 图7是概略地显示具备本发明的搬送装置的真空处理装置的实施方式的构成的
俯视图。 图8(a) (c)显示现有技术的搬送装置的概略构成，图8 (a)是俯视图，图8 (b) 是正视圈，图8(c)是内部构成图。部件列表1 :搬送装置2 :装置本体部3 :机壳4 :旋转台4a :上面6 :驱动马达9 :驱动马达10 :旋转轴13 :第1臂14 :第2臂16:连杆(动力传达机构)17 :移动部件19 :搬送台20 :搬送物30:引导机构31:第1引导臂32(32a、32b):第2引导臂34、35、37 :支轴36 :支柱
具体实施例方式
以下，参照附图，详细地说明本发明的优选实施方式。 图1 (a) (c)显示本发明的搬送装置的实施方式的概略构成，图1 (a)是俯视图， 图l(b)是侧视图，图l(c)是内部构成图。另外，图2是显示同一搬送装置中的引导机构的安装位置的俯视说明图。 如图1 (a) (c)所示，本实施方式的搬送装置1构成为具有成为装置本体部2的圆筒形状的机壳3，在该机壳3内收容有旋转台4。 旋转台4形成为圆筒形状，经由轴承5以可旋转的状态安装在机壳3的内壁。
在机壳3的底面配设有驱动马达6，设在该驱动马达6的上部的旋转轴7的前端固定在旋转台4上。而且，构成为通过使驱动马达6进行动作，从而使旋转台4在机壳3内以铅直方向的旋转轴7为中心(顺时针方向或逆时针方向)进行旋转。 此外，旋转台4和机壳3内壁之间的空间由轴封8以保持真空状态的方式间隔开。
在旋转台4的内部设有驱动马达9，该驱动马达9的旋转轴10由轴承11支撑，并且其前端构成为从旋转台4的上面4a突出至铅直上方。 另外，驱动马达9的旋转轴10和旋转台4内壁之间的空间轴封12以保持真空状态的方式间隔开。 而且，在该驱动马达9的旋转轴10的前端，固定有具有规定长度的直线状的第1臂(驱动臂)13的一端部，通过使驱动马达9进行动作，从而使第1臂13在该旋转轴10的周围沿水平面方向进行旋转。 在第1臂13的另一端部，轴支有与第1臂13相同的第2臂(从动臂)14，该第2臂能够以支轴15为中心沿水平面方向进行旋转，构成为可通过该第1和第2臂13、14进行伸縮的连杆(动力传达机构)16。 在第2臂14的另一端部，轴支有例如平板状的移动部件17，该移动部件能够以支
轴18为中心沿水平面方向进行旋转。在该移动部件17的臂伸长方向(图中箭头X方向)
前方侧缘部，安装有用于载置例如晶圆或玻璃基板等的搬送物20的搬送台19。于是，构成
了通过该移动部件17及搬送台19可平行(水平)移动的搬送部21。 而且，在本实施方式中，旋转台4的上面4a与移动部件17由引导机构30联接。 该引导机构30具有轴支联接的多个直线状的引导臂(在本实施方式的情况下，为
两个第1和第2引导臂31、32)。 在此，第1引导臂31构成为其一端部被轴支于设在旋转台4的上面4a的支撑部件33，以支轴34为中心，沿铅直面方向进行旋转。 在第1引导臂31的另一端部，轴支有相对配置成夹着第1引导臂31的一对相同的第2引导臂32(32a、32b)，该第2引导臂能够以支轴35为中心沿铅直面方向进行旋转。
而且，第2引导臂32a、32b的另一端部以夹着安装在移动部件17的臂伸长方向后方侧缘部的支柱36的方式被轴支，并能够以支轴37为中心沿铅直面方向进行旋转。
该3个支轴34、35、37分别由轴承构成，各旋转中心轴配设成与移动部件17的移动方向(图中箭头X方向或相反方向)成直角且水平。 由此，本实施方式中的引导机构30的第1和第2引导臂31、32的可移动的范围(方向)仅限于平行于X轴方向的方向。 此外，虽然在本发明中未特别限定，但从动作的稳定性的观点来看，如图2所示，在旋转台4的上面4a，可以相对于旋转用的驱动马达9的旋转轴IO，夹着旋转中心轴0而将第2引导臂32的支轴34的位置配置在通过旋转中心轴0的直线A上。
另外，在本实施方式中，第1弓|导臂13和第2引导臂14采用能够支撑包括搬送物20的搬送台19的重量和移动部件17的重量的刚性的部件。由此，力就不会施加到引导机 构30的铅直方向上。 图3(a) (c)是显示本实施方式的动作的说明图。 在具有此种构成的本实施方式的情况下，在伸縮动作中，如果使上述驱动马达9 进行动作，则第1引导臂13绕着旋转轴10沿水平面方向进行旋转，第2引导臂14随着该 动作以支轴15、18为中心沿水平面方向进行旋转，由此将动力传达至移动部件17。
在此，在本实施方式中，如上所述，由于引导机构30的第1和第2弓|导臂31、32的 可动范围仅限于平行于X轴方向的方向，因而如图3(a) (c)所示，移动部件17沿着X轴 方向(或相反方向)平行移动。 此外，图3(a)显示收縮位置，图3(b)显示中间位置，图3(c)显示伸长位置。
另一方面，通过在移动部件17处于该收縮位置的状态(图3(a))下，对驱动马达 9进行驱动，使旋转台4旋转，从而进行旋转动作。 如以上所述，依照本实施方式，由于构成引导机构30的第1和第2引导臂31、32 以分别沿铅直方向进行旋转的方式被轴支，因而装置整体也不变大，尤其是装置的设置面 积变小，并能够以现存的技术容易地实施耐蚀处理。另外，力不施加到引导机构30的铅直 方向上。除此之外，由于没有如现有技术的因直线导轨的滑动部分的摩擦而产生的阻力，因 而由第1和第2臂13、 14构成的连杆16顺利地移动，搬送物20被搬送至正确位置。
另外，由于不必像现有技术那样使用大尺寸的直线导轨，因而尤其能够提供旋转 用的驱动马达9不大且制作成本也不高的搬送装置1。 而且，本实施方式的搬送装置由于仅由旋转要素(以轴承来轴支的构成)构成，因
而在必须使用干式润滑剂(固体润滑剂)的情况下，能够使用技术上已确立的干式轴承，不
污染搬送物20或真空环境，能够提供耐荷重大且寿命也长的搬送装置1。 图4(a) (b)显示本发明的搬送装置的其他实施方式的概略构成，图4(a)是俯视
图，图4(b)是正视图。另外，图5是显示同一搬送装置的主要部分的俯视圈。 以下，对与上述实施方式相对应的部分附上相同的符号，省略其详细的说明。 如图4(a) (b)所示，本实施方式的搬送装置50构成为具有成为上述相同的装置本
体部2的圆筒形状的机壳3，在该机壳3内收容有旋转台4。 旋转台4形成为圆筒形状，经由图中未显示的轴承以可旋转的状态安装在机壳3 的内壁。 在旋转台4内设有图中未显示的驱动马达，该驱动马达的旋转轴51的前端构成为 从旋转台4的上面4a突出至铅直上方。 此外，在本实施方式的情况下，驱动马达的旋转轴51相对于旋转台4的旋转中心， 在相对于基板搬送方向(图中箭头Y方向)的后方侧设在离开规定距离的位置。
在该驱动轴51的前端，固定有具有规定长度的直线状的第1下臂61的一端部，由 此构成为第1下臂61沿水平面方向进行旋转。 另外，在旋转台4的上面4a，可沿水平面方向进行旋转的从动轴52以沿铅直方向 突出的方式设置。 在本实施方式的情况下，该从动轴52相对于上述的驱动轴51，在相对于基板搬送 方向(图中箭头Y方向)的前方侧设在离开规定距离的位置。此外，在本示例中，驱动轴51和从动轴52设在通过旋转台4的直径的直线上。 在从动轴52的前端，例如固定有具有与第1下臂61相同的支点间距离的直线状 的第2下臂的的一端部，由此第2下臂62可沿水平面方向旋转。 而且，第1下臂61的另一端部和第2下臂62的另一端部联接在例如板状的接合 连杆部件63上。 如图4(b)所示，在本实施方式中，以贯通接合连杆部件63的方式设有第1和第2
支轴64、65，在该第1支轴64的下侧的部位，第1下臂61的另一端部可旋转地被轴支，并
且，在第2支轴65的下侧的部位，第2下臂62的另一端部可旋转地被轴支。 而且，由该第1和第2下臂61、62，接合连杆部件63的第l和第2支轴64、65，旋
转台4的驱动轴51和从动轴52构成第1 (驱动侧)平行四边形连杆机构Rl。 而且，在接合连杆部件63的第1支轴64的上侧的部位，支点间距离比第1和第2
下臂61、62更长的直线状的第1上臂71在其中腹部被轴支，该第1上臂能够沿水平面方向
进行旋转。 该第1上臂71的一端部，例如可旋转地被轴支在板状的移动部件73上。
该移动部件73，在基板搬送方向前方侧的部位，安装有用于支撑搬送物20的搬送 台76，构成搬送部77，在本实施方式中，第1上臂71的一端部按照能够以设在移动部件73 的下面的支轴74为中心沿水平面方向进行旋转的方式被轴支。在此，第1上臂71的支轴 64和支轴74间的距离(支点间距离)构成为与上述的第1和第2下臂61、62的支点间距 离相同。 而且，该第1上臂71的一端部(延长部71a的前端部)联接在后述的引导机构80 上。 另一方面，在接合连杆部件63的第2支轴65的上侧的端部，轴支有直线状的第2 上臂72的一端部，该一端部能够沿水平面方向进行旋转。在本实施方式的情况下，该第2 上臂72具有与上述的第1和第2下臂61、62相同的支点间距离。 另外，第2上臂72的另一端部按照能够以设在上述移动部件73的下面的支轴75 为中心沿水平面方向进行旋转的方式被轴支。 而且，由该第1和第2下臂71、72，接合连杆部件63，移动部件73的支轴74、75构 成第2 (从动侧)平行四边形连杆机构R2。 在本实施方式中，第1和第2平行四边形连杆机构R1、R2具有相同的构成，由分别 共有的接合连杆部件63联接，进行动作。 而且，在本实施方式中，设有如下说明的引导机构80。 本实施方式的引导机构80由L字形状的基座部件81和引导连杆机构90构成。
在此，基座部件81的直线状的本体部82和在相对于该本体部82直交的方向上延 伸的联接部83形成为一体。 而且，基座部件81的联接部83的端部以相对于设在第2下臂62的下面的支轴84 能够沿水平面方向进行旋转的方式被轴支。 另一方面，基座部件81的本体部82的端部与具有以下构成的引导连杆机构90联接。 在此，引导连杆机构90分别由直线状的第1引导臂91、第2引导臂92、第3引导臂93构成。 第1引导臂91由棒状的部件制成，构成为其一端部在夹着设于基座部件81的本 体部82的端部上面的一对支撑部件85(85a、85b)的状态下，以支轴94为中心沿铅直面方 向进行旋转。 第2引导臂92由相对配置成夹着第1弓l导臂91的另一端部的一对相同的部件制 成，其一端部按照能够以支轴95为中心沿铅直面方向进行旋转的方式被轴支。
另一方面，第3引导臂93由棒状的部件制成，构成为其一端部在被第2引导臂92 夹着的状态下，以支轴96为中心沿铅直面方向进行旋转。 而且，第3引导臂93的另一端部按照能够以设在第1上臂71的延长部71a的端 部的下部的支轴97为中心沿水平面方向进行旋转的方式被轴支。 该引导连杆机构90的3个支轴94、95、96分别由轴承构成，以各旋转中心轴通常 与移动部件73的移动方向(图中箭头Y方向或相反方向)相同且水平的方式设定L字状 的基座部件81的形状和大小、支轴84的位置、第1上臂71的延长部71a的长度。
而且，通过此种构成，使得本实施方式中的引导连杆机构90的第1 第3引导臂 91、92、93的可移动的范围(方向)仅限于平行于X轴方向的方向。 而且，在本实施方式中，构成为第1平行四边形连杆机构Rl和第2平行四边形连 杆机构R2的旋转方向相反，并且，与Y方向所成的角度相等。 在具有此种构成的本实施方式的情况下，在伸縮动作中，如果使驱动轴51进行动 作，则第1下臂61绕着驱动轴51沿水平面方向例如顺时针方向旋转，第2下臂62随着该 动作绕着从动轴52沿水平面方向旋转，因而第1平行四边形连杆机构Rl的接合连杆部件 63 —边保持与Y方向平行的状态，一边沿水平方向移动。 在此，在本实施方式中，引导机构90的第1 第3引导臂91、92、93的可动范围仅 限于平行于X轴方向的方向，而第2平行四边形连杆机构R2相对于第1平行四边形连杆机 构Rl沿相反方向且以与Y方向所成的角度相等的方式进行旋转，因而通过使驱动轴51进 行动作，从而使移动部件73沿Y轴方向(或相反方向)平行移动。 另一方面，通过在移动部件73处于该收縮位置的状态下，使旋转台4旋转，从而进 行本实施方式中的旋转动作。 依照以上所述的本实施方式，与上述实施方式同样，能够提供小型且不易被润滑 脂或灰尘等污染的真空处理装置。 而且，依照本实施方式，尤其由于引导机构80的引导连杆机构90由多个引导臂 91 93构成，因而能够以现存的技术容易地实施耐蚀处理。 图6是显示本发明的搬送装置的其它实施方式的概略构成的俯视图，以下对与上 述实施方式相对应的部分附上相同的符号，省略其详细的说明。 如图6所示，本实施方式的搬送装置60将上述的引导连杆机构90组合于以下说 明的搬送机构100中。 首先，该搬送机构100其有第1平行四边形连杆组101和第2平行四边形连杆组 102。 第1平行四边形连杆组101具有支点A D，由连杆110、连杆111、连杆112、连杆 113构成。在此，连杆111和连杆113使用比连杆110和连杆112长的部件。
另一方面，第2平行四边形连杆组102使用在第1平行四边形连杆组的支点A、 D 共有的连杆110，由长度分别与连杆110相同的连杆114、连杆115、连杆116构成。
第1平行四边形连杆组101和第2平行四边形连杆组102共有的连杆110按照能 够以其两端的支点A和支点D为中心沿水平面方向进行旋转的方式安装，另外，在第1平行 四边形连杆组中与连杆110相对的连杆112按照能够以其两端的支点B和支点C为中心沿 水平面方向进行旋转的方式安装。 而且，在第1和第2平行四边形连杆组101、 102所共有的连杆110的一端的支点 A，构成第1平行四边形连杆组的连杆111和构成第2平行四边形连杆组的连杆114构成为 例如在被以90。的角度限制的状态下进行旋转。 即，该连杆111和连杆114被紧固，构成L型连杆，该紧固部按照能够以支点A为
中心沿水平面方向进行旋转的方式安装。 而且，构成为，例如在支点A对由该连杆111和连杆114构成的L型连杆赋予水平 方向的旋转驱动力。 另外，在第1和第2平行四边形连杆组101、102所共有的连杆110的另一端的支 点D，构成第1平行四边形连杆组的连杆113和构成第2平行四边形连杆组的连杆116构成 为例如在被以90。的角度限制的状态下进行旋转。 S卩，构成第1平行四边形连杆组101的连杆113和构成第2平行四边形连杆组102 的连杆116被紧固，构成L型连杆，该紧固部按照能够以支点D为中心沿水平面方向进行旋 转的方式安装。 另一方面，在第2平行四边形连杆组102中，与上述的连杆110相对的连杆115的 一端在位于连杆114的另一端的支点E以能够沿水平面方向进行旋转的方式安装。
另外，构成上述L型连杆的连杆116的端部在支点F以能够相对于上述连杆115 的另一端沿水平面方向进行旋转的方式安装。 在此，如下所述，支点F设在引导连杆机构90的第3引导臂93的前端部上。
在本实施方式的情况下，引导连杆机构90具有构成为分别沿铅直面方向进行旋 转的第1 第3引导臂91 93，配置成通过上述支点A并位于与X轴平行的搬送基准线 120上，并且，上述的支撑部件85 (85a、85b)固定在图中未显示的基座部件上。
另外，上述的支点A例如与引导连杆机构90相同，设在基座部件上，由此构成为引 导连杆机构90相对于支点A的相对位置关系不变化。 于是，通过此种构成，使得引导连杆机构90和第2平行四边形连杆组102伸縮，第 3引导臂93的前端部的支点F在搬送基准线120上沿X轴方向或相反方向移动。
另外，在上述的第1和第2平行四边形连杆组101、 102上联接有如下的平行连杆 型连杆机构126。 该平行连杆型连杆机构126具有上腕连杆组127和下腕连杆组128。 在此，上腕连杆组127共有上述的第1平行四边形连杆组101的连杆111，由分别
平行相对的连杆111和连杆117、连杆123和124构成。另一方面，下腕连杆组128由分别
平行相对的连杆118和119、连杆124和搬送台116 (支点I、 J)构成。 而且，在上述的连杆111的两端部的支点A、 B，安装有连杆123、124，该连杆123、
124能够分别沿水平面方向进行旋转，而且，在与连杆123U24的支点A、B相反的一侧的端部的支点G、H，安装有连杆117，该117能够分别沿水平面方向进行旋转。 在此，支点G配置在上述的搬送基准线120上。另外，支点G例如与支点A相同，
设在基座部件(图中未显示)上，构成为相对于支点A的相对位置关系不变化。 另一方面，下腕连杆组128的连杆118与上述连杆112以例如90°的角度被紧固，
构成L型连杆，该紧固部按照能够以支点B为中心沿水平面方向进行旋转的方式安装。 而且，与连杆118相对的连杆119以能够沿水平面方向进行旋转的方式安装在上
腕连杆组127的支点H，该连杆118U19的前端部以能够沿水平面方向进行旋转的方式安装
于设在搬送台116的支点I、J。 在本实施方式的情况下，连杆123U24的长度(支点间距离)和搬送台116的支 点间距离(支点I和J之间的距离)构成为分别相同。另外，连杆111、117，连杆118、119 的长度(支点间距离)也构成为分别相同。由此，搬送台116上的支点I、 J位于搬送基准 线120上。 此外，在搬送台116的一方的前端部上，安装有用于载置例如晶圆等的搬送物的 末端执行器(end effector) 125。 而且，在本实施方式中，设有用于通过不动点(死点)位置的如以下说明的死点通 过机构135。 在此，在由连杆112、118构成的L型臂的紧固部，安装有与连杆112成为一体并能 够以支点B为中心沿水平面方向进行旋转的连杆130，而且，安装有与连杆110成为一体并 能够以支点A为中心沿水平面方向进行旋转的连杆131。 另外，构成为，连杆131相对于连杆110的安装角度和连杆130相对于连杆112的 安装角度为相同大小。 而且，在与连杆130的支点B相反的一侧的端部的支点K和与连杆131的支点A 相反的一侧的端部的支点L，分别安装有连杆134，该连杆134能够沿水平面方向进行旋转。 该连杆134的长度与连杆111的长度相同(支点间的距离相同)。
而且，由该的连杆111、130、134、131构成死点通过机构135。 此外，在本实施方式的情况下，优选连杆131相对于连杆110的安装角度和连杆 130相对于连杆112的安装角度根据装置构成、可动范围等成为最佳的安装角度。从稳定地 通过死点位置的观点来看，优选该安装角度为约30。 约60° 。 在具有此种构成的本实施方式中，如果使L型连杆111U14以支点A为中心沿 CW(顺时针旋转)方向旋转角度9 ，则连杆114与连杆111一起以支点A为中心沿CW方向 旋转角度9 。 此时，支点F在连杆114和连杆116的动作的同时，由引导连杆机构90沿着搬送 基准线120向靠近支点A的方向直线地移动。 由此，第2平行四边形连杆组102 —边保持平行四边形的形状，一边改变形状，连 杆110以支点A为中心沿CCW(逆时针旋转)方向旋转角度9 。 在本实施方式的情况下，由于由连杆110、连杆111、连杆112、连杆113构成第1 平行四边形连杆组101，因而如果连杆110以支点A为中心沿CCW方向旋转角度e ，则连杆 112以支点B为中心沿CCW方向旋转角度9 ，由此连杆118与连杆112—起以支点B中心，
沿ccw方向旋转角度e 。
如果考虑以该一连串的动作以支点B为基准，则连杆111以支点B为中心沿CW方 向旋转角度9 ，同时，连杆118以支点B为中心沿CCW方向旋转角度e，因而连杆118相对
于连杆111以支点B为中心沿ccw方向旋转角度2 e 。 而且，在本实施方式中，由连杆111、117、123、124构成平行四边形的上腕连杆组 127，因而如果以支点A为中心沿CW方向将连杆111旋转角度e ，则连杆117也以支点G为 中心沿CW方向旋转角度e ，由此连杆124保持与连杆123平行的状态而移动。
与此同时，如上所述，连杆118相对于连杆111以支点B为中心沿CCW方向旋转角 度29 。 而且，如果连杆111以支点A为中心沿CW方向旋转角度e ，则决定连杆118和连 杆124的位置，就能唯一地决定下腕连杆组128的平行四边形的形状，因而搬送机构100进 行伸长动作。 结果，末端执行器125在搬送基准线120上向X轴方向移动。 此外，当末端执行器125在搬送基准线120上向与X轴相反的方向移动时，使连杆 111沿与上述的动作相反的方向(CCW方向)进行旋转。 如此，通过使连杆111旋转，进行搬送机构100的伸縮动作，从而能够使搬送台116 和末端执行器125在搬送基准线120上平行移动。 然而，在以支点A为中心沿CW方向使连杆111旋转的情况下，通过引导连杆机构
90的移动使连杆IIO沿CCW方向进行旋转，但并不能强制地决定连杆112的旋转方向，因而
无法决定连杆112以支点B为中心沿CW、 CCW方向的哪个方向进行旋转。 但是，在本实施方式的情况下，构成为设置死点通过机构135，连杆131与连杆110
的动作一体地以支点A为中心沿CCW方向进行旋转，因而连杆130以支点B为中心沿CCW
方向进行旋转。 结果，由于连杆112与连杆130 —体地以支点B为中心沿CCW方向进行旋转，因而 能够脱离不动点位置。 同样地，当构成死点通过机构135的连杆111、连杆134、连杆130、连杆131成为一 直线状(不动点位置)时，通过构成第1平行四边形连杆组101的连杆110 113的动作， 使得连杆130能够脱离不动点位置。 如此，依照本实施方式，连杆118的旋转方向在不动点位置不再不稳定，能够稳定 地绕着支点B进行旋转。 如以上所述，依照本实施方式，与上述实施方式相同，能够提供小型且不易被润滑 脂或灰尘等污染的真空处理装置。 另外，依照本实施方式，尤其是引导机构80的引导连杆机构90由多个引导臂 91 93构成，因而能够以现存的技术容易地实施耐蚀处理。 而且，依照本实施方式，由于共有构成第1平行四边形连杆组101的连杆lll，构成
死点通过机构135，因而连杆118的旋转在不动点位置不再不稳定，稳定地绕支点B进行旋
转，结果，能够使下腕连杆组128稳定地越过不动点位置而移动。 其它的构成及作用效果与上述实施方式相同，因而省略其详细的说明。 图7是概略地显示具备本发明的搬送装置的真空处理装置的实施方式的构成的
俯视图。
如图7所示，在本实施方式的真空处理装置40中，在配置有上述搬送装置1的搬 送室41的周围，经由图中未显示的闸阀而配设有并列进行成膜等的真空处理的制程室42、 43、44，和用于搬入作为搬送物的晶圆的搬入室45，以及用于搬出晶圆的搬出室46。
该制程室42 44、搬入室45、搬出室46连接在图中未显示的真空排气系统上。
在具有此种构成的真空处理装置40中，由搬送装置1取入收纳在搬入室45的未 处理晶圆47，搬送到例如制程室43。 而且，搬送装置1通过进行上述的动作，从制程室43接收已处理的晶圆48，将其搬 送至其他的例如制程室42。 以下同样地，使用搬送装置l，在制程室42 44、搬入室45、搬出室46之间，进行 未处理晶圆47及已处理晶圆48的交接。 此外，在使用上述的其它的搬送装置50或搬送装置60以取代搬送装置1的情况 下，也进行同样的动作。 依照具有此种构成的本实施方式，能够提供可圆滑地搬送搬送搬送物的小型且设 置面积小的真空处理装置。另外，能够提供不易被灰尘或油等污染的真空处理装置。
此外，本发明并不限于上述实施方式，可进行各种的变更。 例如，在上述实施方式中，由以能够沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支的臂构 成引导机构，但本发明并不限于此，臂的旋转方向不限于铅直面方向，也可以相对于铅直面 方向倾斜。 另外，引导机构的引导臂的数量不限于两个或三个，也能够由三个以上的引导臂 构成。这种情况下，引导臂的形状也不限于直线状。 另一方面，在上述实施方式中，动力传达机构虽然由以能够沿水平面方向进行旋 转的方式被轴支的连杆臂构成，但也可以使臂等的旋转方向相对于水平面方向倾斜任意的 角度。
权利要求
一种搬送装置，具有搬送部，支撑并搬送搬送物；动力传达机构，用于将来自装置本体部的动力传达至所述搬送部，使该搬送部向相对于基准方向交叉的方向移动；以及引导机构，配设在所述装置本体部和所述搬送部之间，用于引导所述搬送部的移动方向，其中，所述引导机构构成为，具有轴支联接的多个引导臂，该各引导臂沿包括所述基准方向的成分的方向进行旋转。
2. 如权利要求l所述的搬送装置，其特征在于，所述引导机构的引导臂中，该引导机构的一端部侧的引导臂安装在所述装置本体部， 并且，另一端部侧的弓I导臂安装在所述搬送部。
3. 如权利要求l所述的搬送装置，其特征在于，所述引导机构具有第1引导臂和第2引导臂，所述第1引导臂的一端部以可沿铅直面 方向进行旋转的状态被轴支在所述装置本体部，并且，所述第2引导臂的一端部以可沿铅 直面方向进行旋转的状态被轴支在所述第1引导臂的另一端部，而且，所述第2引导臂的另 一端部以可沿铅直面方向进行旋转的状态被轴支在所述搬送部。
4. 如权利要求l所述的搬送装置，其特征在于，所述动力传达机构具有驱动臂和从动臂，所述驱动臂的一端部以可沿水平面方向进行 旋转的状态固定在所述装置本体部的驱动轴，并且，在该驱动臂的另一端部，所述从动臂的 一端部以可沿水平面方向进行旋转的状态被轴支，而且，所述从动臂的另一端部以可沿水 平面方向进行旋转的状态被轴支在所述搬送部。
5. 如权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述动力传达机构，具备驱动侧平行四边形连杆机构，具有所述驱动臂；以及从动侧 平行四边形连杆机构，使用该驱动侧平行四边形连杆机构的规定的连杆而构成。
6. 如权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，所述引导机构构成为，联接在所述动力传达机构，限制所述驱动侧平行四边形连杆机 构和所述从动侧平行四边形连杆机构的相对动作。
7. 如权利要求l所述的搬送装置，其特征在于，所述动力传达机构的装置本体部侧端部安装于设在所述装置本体部的旋转部。
8. —种真空处理装置，其特征在于，其备 搬送室，具有如权利要求1所述的搬送装置；以及真空处理室，构成为与所述搬送室连通，使用所述搬送装置来交接处理对象物。
全文摘要
本发明提供一种不产生因润滑脂或灰尘等而导致的真空装置等的污染的问题的搬送装置，并提供一种装置的设置面积小且能够以现存的技术容易地进行耐腐蚀处理的搬送装置。本发明的搬送装置(1)具有搬送部(21)，支撑并搬送搬送物(20)；连杆(16)，用于将来自装置本体部(2)的动力传达至搬送部(21)，使该搬送部(21)向水平面方向移动；引导机构(30)，配设在装置本体部(2)与搬送部(21)之间，用于引导搬送部(21)的移动方向。引导机构(30)具有轴支联接的第1和第2引导臂(31、32)，该引导机构(30)的一端部侧的第1引导臂(31)安装在装置本体部(2)，并且，另一端部侧的第2引导臂(32)安装在搬送部(21)。第1和第2引导臂(31、32)构成为分别沿铅直面方向进行旋转。
文档编号B25J9/06GK101730613SQ200880016319
公开日2010年6月9日 申请日期2008年5月14日 优先权日2007年5月15日
发明者南展史, 藤村和广 申请人:株式会社爱发科